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公开(公告)号：CN103424057A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310399725.8
申请日：2013-09-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01B5/24
Abstract: 本发明公开了一种用于测量微机电结构偏转角度的游标尺结构，该结构既可以测量顺时针偏转角，也可以测量逆时针偏转角。微机电结构偏转角测量游标尺由一维移动测量游标尺；偏转指针板；相对型电热执行器；连接一维移动测量游标尺和相对型电热执行器的水平直梁，以及连接偏转指针板和相对型电热执行器的水平直梁组成。通过电热执行器推动角度测量指针偏转并同时带动游标尺结构水平直线移动。根据游标尺的水平移动量和设计参数并由简单地数学计算得到指针所发生的角度偏转量。通过该游标尺可以测量微机电器件受驱动所产生的偏转角，也可以测量结构释放时因残余应力而产生的偏转角。
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公开(公告)号：CN103411516A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310399655.6
申请日：2013-09-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明提出了一种微机电双层薄膜单元离面弯曲曲率测试结构，测量单元由左右两个相对放置的双层薄膜门型结构和测差游标组成，测差游标由左右两部分组成，双层薄膜门型结构由锚区和两根直梁组成，双层薄膜门型结构由上下两层薄膜材料叠合而成；直梁的一端与锚区连接，左边的双层薄膜门型结构的直梁另一端连接测差游标左半部分的直梁，右边的双层薄膜门型结构的直梁另一端连接测差游标右半部分的直梁。利用简单双层薄膜门型结构并配合测差游标，可以获得MEMS常用薄膜材料所构成的双层薄膜离面弯曲的曲率，并且可以推广到更多层薄膜材料情况下的测试，测量方法和参数提取的计算方法非常简单。
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公开(公告)号：CN112495409A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011277517.7
申请日：2020-11-16
Applicant: 东南大学
IPC: B01J27/19 , B01J27/185 , C07C17/25 , C07C21/08
Abstract: 本发明公开了一种评价过渡金属磷化物中磷氧键与加氢脱氯活性关联的方法，属于加氢脱氯技术领域，以过渡金属磷化物为研究基础，根据分析测试证明其中磷氧价键的存在，随后将其装入固定床反应器中，在固定温度下选择氯化物进行加氢脱氯的反应。其中，反应温度为300‑700℃，反应时间为0.1‑10h。本发明提出了一种将加氢脱氯反应活性与过渡金属磷化物中磷氧键相关联的方法，证明了过渡金属磷化物中的磷氧键对加氢脱氯反应活性有促进作用，实现了对化合物内部价键研究的可能性，有利于进一步研究过渡金属磷化物在催化过程中本征的影响因素。
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公开(公告)号：CN109660154B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201910103309.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种伺服柔性负载的速度控制方法，涉及伺服控制的技术领域。具体步骤如下：步骤一、摩擦模型建立步骤：通过泰勒级数展开工具，将伺服柔性负载的摩擦模型基于速度分段，并按照四段进行处理；步骤二、时变模型建立步骤：考虑伺服柔性负载的转动惯量变化和负载转矩变化，建立伺服柔性负载的时变模型；步骤三、摩擦时变估算步骤：利用步骤二得到的伺服柔性负载的时变模型，建立摩擦时变估算方程，用来估算包含“摩擦”和“时变”两个因素的综合时变项；步骤四、速度预测控制步骤：利用步骤三得到的综合时变项估算值，建立新的速度预测控制方程，用以计算所需要的速度控制律。本发明提高了伺服柔性负载速度控制的稳态精度和动态性能。
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公开(公告)号：CN109660154A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910103309.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种伺服柔性负载的速度控制方法，涉及伺服控制的技术领域。具体步骤如下：步骤一、摩擦模型建立步骤：通过泰勒级数展开工具，将伺服柔性负载的摩擦模型基于速度分段，并按照四段进行处理；步骤二、时变模型建立步骤：考虑伺服柔性负载的转动惯量变化和负载转矩变化，建立伺服柔性负载的时变模型；步骤三、摩擦时变估算步骤：利用步骤二得到的伺服柔性负载的时变模型，建立摩擦时变估算方程，用来估算包含“摩擦”和“时变”两个因素的综合时变项；步骤四、速度预测控制步骤：利用步骤三得到的综合时变项估算值，建立新的速度预测控制方程，用以计算所需要的速度控制律。本发明提高了伺服柔性负载速度控制的稳态精度和动态性能。
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公开(公告)号：CN104568586B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201510010385.4
申请日：2015-01-08
Applicant: 东南大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料断裂强度的测试结构，可以用于导电薄膜材料和绝缘薄膜材料的断裂强度测试。本发明将力的加载驱动部分和由待测薄膜材料制作的断裂强度测试结构分层，并通过结合区进行叠层连接。通过游标结构测量拉伸的长度。为防止测试结构被拉断时无法测量实际的拉伸长度，采用了平行缓冲梁和阻尼弹簧防止出现过冲。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的方法极其简单，可以用于导体/绝缘体等多种薄膜材料的断裂强度的测试。
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公开(公告)号：CN103424057B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201310399725.8
申请日：2013-09-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01B5/24
Abstract: 本发明公开了一种用于测量微机电结构偏转角度的游标尺结构，该结构既可以测量顺时针偏转角，也可以测量逆时针偏转角。微机电结构偏转角测量游标尺由一维移动测量游标尺；偏转指针板；相对型电热执行器；连接一维移动测量游标尺和相对型电热执行器的水平直梁，以及连接偏转指针板和相对型电热执行器的水平直梁组成。通过电热执行器推动角度测量指针偏转并同时带动游标尺结构水平直线移动。根据游标尺的水平移动量和设计参数并由简单地数学计算得到指针所发生的角度偏转量。通过该游标尺可以测量微机电器件受驱动所产生的偏转角，也可以测量结构释放时因残余应力而产生的偏转角。
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公开(公告)号：CN104034604A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410243543.6
申请日：2014-06-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种绝缘衬底上薄膜硅材料残余应力的测试结构及方法，其测试结构由两组结构构成。其中第一组由一个多晶硅悬臂梁、一个薄膜硅双端固支梁、一个由薄膜硅制作的垫板组成；第二组由一个多晶硅悬臂梁和一个由薄膜硅制作的垫板组成。实际测量薄膜硅残余应力的单元是薄膜硅双端固支梁，而两组结构的差别仅在于是否包括薄膜硅双端固支梁，两组结构中其他对应单元结构和几何尺寸完全相同。施加静电力使多晶硅悬臂梁下弯并进而下压薄膜硅双端固支梁和垫板接触衬底。通过两组测试结构的测试提取出单独驱动薄膜硅双端固支梁达到测试挠度所需要的力，由力、测试挠度、杨氏模量和几何尺寸可以计算得到绝缘衬底上薄膜硅材料的残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的方法极其简单。
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公开(公告)号：CN103424064A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310399640.X
申请日：2013-09-05
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种用于测量微机电结构微小几何尺寸变化量和（或）移动量的高分辨率测微游标尺结构，该高分辨率测微游标尺结构包括：一维移动测量游标尺、用于移动量放大的杠杆机构和相对型电热执行器。该装置利用电流产生热驱动方式移动测试探头，利用杠杆结构增强灵敏度，利用特殊的游标尺测量等效移动量，由杠杆的放大倍率设计可以有效且简单地提高测微分辨率。
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公开(公告)号：CN101718774A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910185421.5
申请日：2009-11-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01N33/18
Abstract: 本发明公开了一种无人值守水质监测站在线采集水质数据有效性的诊断方法。本发明通过对众多水质监测站原水主要水质参数历史监测数据的统计分析，利用线性回归模型拟合每两种不同水质参数之间的回归曲线，并分别求出它们之间的线性相关系数，并把相关系数最大的(必须满足≥0.7)另一水质参数定义为该水质参数的互相关水质参数。本发明对无人值守远程原水水质监测站采集的水质参数的有效性诊断方法具有良好的实用和推广价值，对无人值守远程原水水质监测站水质参数测量仪器的故障诊断和维护有辅助作用。
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