-
公开(公告)号：CN111524781A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010070264.X
申请日：2020-01-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 一例示性实施方式所涉及的高频电源具备构成为产生高频电力的发电机。高频电力包含多个电力成分。多个电力成分分别具有以指定频率的间隔相对于基本频率对称设定的多个频率。高频电力的包络线具有以指定频率或以该指定频率的2倍以上倍数的频率且按规定的时间间隔周期性出现的峰值。高频电力的功率级设定成在除了峰值的每一个出现时刻紧前的包络线的零交叉区域与该出现时刻紧后的包络线的零交叉区域之间的期间以外的期间为零。
Search Results
41
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
