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公开(公告)号:CN114556216A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202080071401.X
申请日:2020-10-08
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其包含一种或多种不同于传统苯并三唑类可交联反应的酚式羟基化合物、具有特定结构的两种反应性硅烷化合物的硅氧烷共聚物,以及具有烷氧基的UV吸收剂;此正型感光性树脂组合物可最大限度地降低残留杂质如未反应单体和催化剂,进而确保优异的面板可靠性,不仅敏感度、分辨率和平坦度等性能优异,且耐候性、紫外线吸收率也优异。
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公开(公告)号:CN112241107A
公开(公告)日:2021-01-19
申请号:CN202010692823.0
申请日:2020-07-17
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物、感光性树脂膜及使用它的显示装置。根据本发明的正型感光性树脂组合物,不仅具有优异的敏感度、耐化学性、耐热性等性能,还特别大大改善了分辨率、穿透度、耐热变色性等,可以制作高亮度、高分辨率的面板。由此,在显示器中,不仅可以有效地应用于层间绝缘膜、钝化绝缘膜、闸极绝缘膜,还可以应用于平坦化膜、挡墙(Bank)、像素界定层等。
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公开(公告)号:CN105785721B
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201610020971.1
申请日:2016-01-13
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明涉及正型感光性硅氧烷树脂组合物,包含聚苯乙烯换算重均分子量为1000至20000的硅氧烷类共聚物,其中所述硅氧烷类共聚物在催化条件下,通过使ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ⅱ)四氯硅烷进行水解及缩聚,并除去未反应单体及催化剂来获得;化学式1:(R1)nSi(R2)4‑n。本发明的正型感光性硅氧烷树脂组合物不仅具有优秀的灵敏度、分辨率、粘结力、透过率及耐热变色性等性能,尤其因具有卓越的耐热性而可以实现低释气,并维持低的水分吸收率,从而可以确保优秀的面板可靠性。
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公开(公告)号:CN111123644A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201911054758.2
申请日:2019-10-31
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法,该感光性树脂组合物包含:a)通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、含环氧基不饱和化合物和烯属不饱和化合物共聚而得的丙烯酸共聚物;b)共聚物以a、b和c的摩尔比包含化学式1至3所示的重复单元;c)1,2-醌二叠氮化合物;及d)溶剂。本发明感光性树脂组合物具有优异的分辨率、光刻工艺裕度和耐热性,且敏感度和穿透性优异,提高粘结力等。化学式1至3中,a、b和c表示各单体间的摩尔比,a为1至10的整数,b和c各自独立地或同时为0至9的整数,a+b+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。
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公开(公告)号:CN105785721A
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201610020971.1
申请日:2016-01-13
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明涉及正型感光性硅氧烷树脂组合物,包含在催化条件下对ⅰ)由以下化学式1表示的反应性硅烷及ⅱ)四氯硅烷进行水解及缩聚,并除去未反应单体及催化剂来获得的聚苯乙烯换算重均分子量为1000至20000的硅氧烷类共聚物。本发明的正型感光性硅氧烷树脂组合物不仅具有优秀的灵敏度、分辨率、粘结力、透过率及耐热变色性等性能,尤其因具有卓越的耐热性而可以实现低释气,并维持低的水分吸收率,从而可以确保优秀的面板可靠性。
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公开(公告)号:CN105190782A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201480020441.6
申请日:2014-04-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,根据本发明的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其能够实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象。此外,由于以优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing),因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性。由此,在多种多样的显示器中不仅能够有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜,还能够用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN104011594A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201280061667.1
申请日:2012-12-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更为详细地讲,涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物,其常温稳定性优良、变色少且透射率优良,从而即便省略HMDS工序,也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失,或者在执行后工序时产生图案变形的危险。
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公开(公告)号:CN103052916A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201180037435.8
申请日:2011-07-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物,尤其涉及一种包含a)i)丙烯酸类共聚物、ii)聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物;b)光引发剂;c)特定结构的吖啶类光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物,其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀,尤其在405nm~435nm的UV长波长中敏感度优秀,因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
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公开(公告)号:CN101319092B
公开(公告)日:2013-01-09
申请号:CN200810110107.6
申请日:2008-06-10
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: C08L101/14 , C08L29/04 , C08K5/00 , H01L51/00 , H01L51/05 , H01L51/30 , H01L51/40 , H01L51/50 , H01L51/54 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供遮光型水溶性树脂组合物,其可以有效用作位于有机半导体膜和层间绝缘膜之间的遮光性保护膜,该遮光性保护膜用于防止有机电气元件的有机半导体膜在以与层间绝缘膜相接触的形式来形成的情况下结晶性降低的问题,以及防止对层间绝缘膜照射光时发生光氧化的问题。本发明涉及遮光型水溶性树脂组合物,特别是涉及其特征为含有a)水溶性树脂、b)水溶性染料化合物、c)溶剂的用于有机半导体保护膜的遮光型水溶性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101334587A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200810127247.4
申请日:2008-06-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物,该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用了有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时,能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少,同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。本发明涉及的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的特征在于,所述组合物含有:a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃~140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂;b)1,2-醌二叠氮化合物;和c)溶剂,该溶剂的沸点为90℃~150℃,且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定设为1时,该溶剂的蒸发速率为0.3~1.0。
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