一种二氟乙酸乙酯的合成方法

    公开(公告)号:CN105461560A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201511033926.1

    申请日:2015-12-31

    CPC classification number: C07C51/58 C07C67/08 C07C53/48 C07C69/63

    Abstract: 一种二氟乙酸乙酯的合成方法,它涉及一种合成方法,具体涉及一种二氟乙酸乙酯的合成方法。本发明为了解决现有二氟乙酸乙酯合成方法工艺过程复杂、安全性低、制备成本较高的问题。本发明的步骤为:步骤一、催化剂的制备:向管状反应器中填充粒度一定目数的Al2O3粉末,确保Al2O3粉末的高度在管式炉的加热区域,在氮气保护下,加热到250-300℃并保持12h,然后继续缓慢通入CHaFbClc气体进行反应,反应温度为250-300℃,反应时间为12h。步骤二:以1,1,2,2-四氟乙基乙基醚为原料,在一定温度和催化剂的条件下反应,无需分离中间体,通过冷凝器直接收集中间体并转化为乙酯,属于化工领域。

    蚀刻气体
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102648171A

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201080054665.0

    申请日:2010-11-19

    Abstract: 本发明公开一种含有CHF2COF而成的蚀刻气体。该蚀刻气体可以含有选自O2、O3、CO、CO2、F2、NF3、Cl2、Br2、I2、XFn(式中,X表示Cl、I或Br、n为1≤n≤7的整数)、CH4、CH3F、CH2F2、CHF3、N2、He、Ar、Ne、Kr等、或选自CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H4、C3H6、C3H8、HI、HBr、HCl、CO、NO、NH3、H2等、或选自CH4、CH3F、CH2F2、CHF3中的至少1种气体作为添加物。该蚀刻气体不仅对抗蚀剂的选择比、加工形状等蚀刻性能优异,且容易获得,实质上不副产对环境有负担的CF4。

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