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公开(公告)号:CN107073516A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201580048538.2
申请日:2015-09-08
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种具有凹图案的构造体的制造方法、树脂组合物、导电膜的形成方法、电子电路及电子器件,所述构造体的制造方法包括下述步骤(i)及(ii),所述构造体具有相对于下述步骤(i)中获得的涂膜的膜厚而薄5%以上且小于90%的膜厚的凹图案。(i)使用包含具有酸解离性基的聚合体及酸产生剂的树脂组合物,在构造体的非平坦面上形成涂膜的步骤;以及(ii)通过对所述涂膜的一部分的既定部分进行放射线照射而形成凹部的步骤。
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公开(公告)号:CN105573053A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201510713106.0
申请日:2015-10-28
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于抑制液状的膜形成材料的濡湿扩散、洇渗而形成高精细的图案的具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用,且提供一种组合物及一种感放射线性树脂组合物。具有亲液部与疏液部的基材的制造方法是通过包括以下工序的制造方法而达成:在基板上,(1)涂布组合物而形成涂膜的工序,其中组合物含有(A)具有选自含有缩醛键的基团或含有硅原子的基团中的至少一个基团的聚合物、(B)酸产生剂及与(A)不同的化合物(C);以及(2)对涂膜的既定部分进行放射线照射的工序。导电膜形成方法是通过以下方式达成:在工序(2)后,在形成于基板(1)上的涂膜的放射线照射部中的亲液部上涂布导电膜形成用的膜形成材料,并进行加热。
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公开(公告)号:CN101078879B
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN200710105178.2
申请日:2007-05-24
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物,其特征在于,含有(A)嵌段共聚物、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感放射线性聚合引发剂,其中(A)嵌段共聚物具有2个以上的嵌段链段,在其中的至少一个嵌段链段上含有碱可溶性部位。可以容易地形成高感度、高分辨率、并且图案形状、压缩特性、耐摩擦性、与透明基板的密合性等诸性能优异的图案状薄膜,抑制了LCD显示中的烧屏的间隔物形成用感放射线性树脂组合物,由该组合物形成的间隔物以及其形成方法。另外,还提供可以减少液晶滴加量所引起的未填充区域故障、防止在滤光片上由于压力所造成的损伤、克服在工序上产生的厚度偏差的间隔物形成用感放射线性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101458452A
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200810172759.2
申请日:2008-12-12
Applicant: JSR株式会社
Inventor: 浜口仁
IPC: G03F7/028 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件的分隔物和保护膜以及它们的形成方法。射线敏感性树脂组合物具有高的射线敏感性,即使是低曝光量也能够形成尺寸精度和强度优异、在显影工序和打磨工序中形成图案不会脱落、具有能够耐受液晶取向膜形成时的焙烧温度的耐热性、对于液晶取向膜剥离液的耐久性优良、不会发生“残像”的图案状薄膜,并且在加热工序中不会产生升华产物。上述射线敏感性树脂组合物包含:(A)分子内具有选自由羧基和酸酐基团构成的物质组中的至少一种基团和聚合性不饱和键的聚合物;(B)具有聚合性不饱和键的单体;(C)射线敏感性聚合引发剂;以及(D)具有上述式(1)表示的结构的化合物,式(1)中,“*”表示键合点。
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公开(公告)号:CN1797197A
公开(公告)日:2006-07-05
申请号:CN200510138090.1
申请日:2005-11-17
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有:[A](a1)烯键式不饱和羧酸和/或烯键式不饱和羧酸酐与(a2)其它的烯键式不饱和化合物的共聚物;[B]具有烯键式不饱和键的聚合性化合物;以及[C]O-酰基肟型光聚合引发剂。提供一种感光性树脂组合物,其可以以高灵敏度忠实地再现掩模图案的设计尺寸,且与基板的附着性优异,能够在1500J/m2或以下的曝光量下得到足够好的间隔体形状和膜厚,强度、耐热性等也优异,并且,在低曝光量区域中间隔体的形状和膜厚的控制性优异,在贮存期间和使用过程中很难产生异物,可以形成工艺稳定性和经时稳定性优异的显示面板用间隔体。
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