公开(公告)号：CN115745574B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202211445828.9

申请日：2022-11-18

Applicant: 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

Inventor： 陈杰 ,  熊富迪 ,  孙本双 ,  齐超 ,  刘洋 ,  何季麟

IPC: C23C14/34 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明属于无机材料制备技术领域，涉及高致密无开裂细晶铟锡氧化物管状靶材的制备方法，包括如下步骤：以氧化铟、氧化锡为原料，加入纯水和分散剂，在球磨机中进行混合球磨后加入消泡剂，搅拌均匀，转入砂磨机中并加入粘结剂进行砂磨，得浆料；浆料用喷雾法制备造粒粉；将造粒粉填充入管状靶材模具中；采用冷等静压成型技术获得素坯；使用两步细晶烧结法对素坯进行烧结。本发明采用两步细晶烧结法得到的管状靶材致密度可以达到99.8%以上，晶粒尺寸小于5μm，有效解决了管状靶材高致密的同时晶粒不易控制的问题。

公开(公告)号：CN116751049A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310725828.2

申请日：2023-06-19

Applicant: 郑州大学

Inventor： 王之君 ,  吴彬 ,  孙本双 ,  王成铎 ,  陈杰 ,  刘洋 ,  刘苗 ,  曾学云

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明公开了一种镧系稀土掺杂氧化铟锌溅射靶材及其制备方法，其包括：分别制备硝酸铟溶液、锌盐溶液、镧系稀土盐溶液；混合硝酸铟溶液、锌盐溶液、镧系稀土盐溶液，得到混合液；向混合液中滴加沉淀剂进行沉淀反应，调节混合液的pH值至5～11，将混合液装入高压釜中，在100～300℃下进行水热反应18～36h，得到前驱体溶液；前驱体溶液洗涤、干燥得到前驱体粉末，在400～800℃下煅烧5～18h，得到镧系稀土掺杂氧化铟锌粉末；镧系稀土掺杂氧化铟锌粉末和乙酸溶液混合，研磨形成镧系稀土掺杂氧化铟锌浆料倒入半密封模具中，在300～600MPa，300～500℃下进行烧结，得到镧系稀土掺杂氧化铟锌陶瓷样品，在保护气氛下进行退火处理，得到镧系稀土掺杂氧化铟锌溅射靶材。

公开(公告)号：CN115925410A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202310048422.5

申请日：2023-01-31

Applicant: 郑州大学

Inventor： 王之君 ,  孙本双 ,  刘洋 ,  何季麟 ,  韩冰雪 ,  王成铎 ,  陈杰 ,  曾学云 ,  刘苗

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C04B35/638 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明实施例公开了镨掺杂氧化铟锌溅射靶材的制备方法，包括：将Pr2O3粉体、In2O3粉体、ZnO粉体按设定质量比混合，加入添加剂调制成浆料；砂磨得到含有单一粒径颗粒的浆料；浆料喷雾造粒得到球形造粒粉；球形造粒成型得到靶材素坯；靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，脱脂烧结一体化处理的烧结过程包括：从脱脂温度升温到第一台阶温度850～1150℃，升温速率为3～5℃/min，保温8～24小时；从第一台阶温度升温至第二台阶温度1450～1550℃，升温速率为5～10℃/min，不保温；从第二台阶温度降温到第三台阶烧结温度1150～1250℃，降温速率为10～20℃/min，保温12～36小时；从第三台阶温度降温到600℃，降温速率为1～3℃/min；然后自然冷却，得到晶粒细小、二次相可控的镨掺杂氧化铟锌溅射靶材。

公开(公告)号：CN112723875B

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202110146360.2

申请日：2021-02-03

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  淮志远 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63

Abstract: 本发明提供了一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，其原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2~10%，氧化锡90~98%。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机、等静压机压制成型，之后使用脱脂‑多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材。本发明掺杂的氧化镓有效提高了氧化锡陶瓷的烧结性能，显著提升了氧化锡陶瓷靶材的致密度，同时通过制备工艺的有效控制，获得了组织均匀且晶粒细小的氧化镓掺杂氧化锡靶材。

公开(公告)号：CN114230332A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202210045461.5

申请日：2022-01-15

Applicant: 郑州大学

Inventor： 郝振华 ,  孙本双 ,  莫哲 ,  刘洋 ,  舒永春 ,  陈杰 ,  曾学云

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C23C14/34 ,  B33Y10/00 ,  B33Y70/10

Abstract: 本发明提供了一种AZO靶材的制备方法，属于光电材料技术领域，本发明将纳米氧化锌、纳米氧化铝和粘结剂依次混合和制粒，得到颗粒料；将颗粒料进行3D打印成型，得到AZO素坯；将所述AZO素坯进行烧结，得到AZO靶材。本发明通过3D打印成型及控制烧结程序，使本发明提供的AZO靶材结构均匀、相对密度高、制备方法简单。

公开(公告)号：CN109665834A

公开(公告)日：2019-04-23

申请号：CN201910156692.1

申请日：2019-03-01

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622

Abstract: 本发明公开了一种相组成可控的氧化铟镓锌靶材及其制备方法。制备方法包括：氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末按照设定的摩尔比例混合，得到混合粉末；混合粉末与设定量的分散剂、粘结剂、球磨介质混合，利用球磨装置，控制球磨参数，进行球磨混合，得到混合物料；混合物料在造粒机上进行喷雾造粒；喷雾造粒得到的产物模压成型，得到靶材素坯；靶材素坯进行烧结，得到相组成可控的IGZO靶材。通过对制备过程中工艺参数的有效控制，根据原料摩尔比获得了物相单一且物相可控的高品质IGZO靶材，靶材中不含有其它杂相成分，晶粒间及内部不存在二次相组织，晶粒间结合致密，靶材致密度高，具有较高的产业利用价值。

公开(公告)号：CN108706965A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201810645418.6

申请日：2018-06-21

Applicant: 郑州大学

Inventor： 孙本双 ,  何季麟 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  陈杰 ,  李庆奎

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/64

CPC classification number: C04B35/01 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/77

Abstract: 本发明提供一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法，包括氧化铟粉末、氧化镓粉末和氧化锌粉末球磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆，该料浆中混合粉体的质量含量设置在30％～50％之间；料浆浇注到管状靶材模具，成型脱模，干燥，得到管状靶材素坯；一体化脱脂烧结管状靶材素坯，得到氧化铟镓锌管状靶材。采用脱脂烧结一体化工艺，烧结温度降低，烧结时间大大缩短，实现了快速活化烧结，抑制了晶粒长大，制备的氧化铟镓锌管状靶材的晶粒细小、均匀，平均晶粒度为4μm～5.6μm，致密度高，其相对密度可到99.6％以上，收缩均匀，上下管口尺寸相对收缩差不大于0.5％。

公开(公告)号：CN108623298A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810722391.6

申请日：2018-07-04

Applicant: 郑州大学

Inventor： 孙本双 ,  陈杰 ,  曾学云 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/64

Abstract: 本发明提供一种高密度氧化铟锡管状靶材的脱脂烧结一体化制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到料浆；料浆喷雾造粒，在管状靶材模具中冷等静压成型，得到氧化铟锡管状靶材素坯；氧化铟锡管状靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理，得到氧化铟锡管状靶材。该方法的烧结温度降低，烧结时间大大缩短，氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，致密度高，相对密度可达99.7％。

公开(公告)号：CN108623287A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810645409.7

申请日：2018-06-21

Applicant: 郑州大学

Inventor： 孙本双 ,  何季麟 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  陈杰 ,  李庆奎

IPC: C04B35/01

Abstract: 本发明提供一种氧化铟镓锌烧结体的短流程制备方法，包括将氧化铟粉体、氧化镓粉体和氧化锌粉体球磨混匀，得到混合粉体；将混合粉体与料浆液混合，得到料浆，该料浆中混合粉体的质量含量设置在30％～50％之间；将料浆喷雾造粒、模压成型，得到素坯；将素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟镓锌烧结体。采用脱脂烧结一体化工艺，烧结温度降低，烧结时间大大缩短，实现了快速脱脂烧结，抑制了晶粒长大，制备的氧化铟镓锌烧结体的晶粒细小、均匀，晶粒平均粒度为4μm～5μm，密度高，其相对密度可达到99.7％以上。

公开(公告)号：CN108516578A

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：CN201810316728.3

申请日：2018-04-10

Applicant: 郑州大学

Inventor： 陈杰 ,  孙本双 ,  仇晨 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC: C01G15/00

Abstract: 本发明提供一种亚微米氧化铟粉体的制备方法，该方法具体包括将金属铟与硝酸溶液反应、得到透明溶液的步骤；利用氨水制备In(OH)3前驱体的步骤；将前驱体进行水热处理的步骤；洗涤水热处理产物的步骤；和洗涤得到的产物烘干、煅烧的步骤，最后得到亚微米氧化铟粉体。本方法使用原料种类少，不需要使用分散剂或鳌合剂，带入的杂离子少，操作简单高效、低成本，安全可靠，能够得到粒度尺寸分布窄、分散性好、结晶性能优良的亚微米In2O3粉体材料。