公开(公告)号：CN103364591B

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201310119719.2

申请日：2013-04-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 一种物理量传感器以及电子设备，其能够在实现小型化的同时，具有良好的噪声特性。物理量传感器包括：基板；可动体，具有第一部分及第二部分，并在第一部分上设置有第一可动电极部；梁部，以使可动体可位移的方式对可动体进行支承；第一固定电极部，以与第一可动电极部对置的方式被配置在基板上；第一部分在与第一轴正交的第二轴的方向上的宽度小于，第二部分在第二轴的方向上的宽度，第一固定电极部被设置于，在俯视观察时与第一部分的第二轴的方向上的端部重叠的位置处，且当将第一部分的第二轴的方向上的宽度设定为X，并将第一固定电极部的在俯视观察时与可动体重叠的部分的、第二轴的方向上的宽度设定为L时，被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内。

公开(公告)号：CN106338619A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610514137.8

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/007 ,  B81B3/0072

Abstract: 本发明提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有元件片(4),元件片(4)具有：支承部(41)，其具备第一支承部部(411、412)进行连结的第三支承部(413)，并且通过第三支承部(413)而与底基板(2)连接；可动电极部(42)，其位于第一、第二支承部(411、412)之间并具有可动电极指(422)；弹性部(43)，其对可动电极部(42)和支承部(41)进行连结并具有弹性；固定电极部(48、49)，其具有与可动电极指(422)对置配置的固定电极指(483、493)。(411)、第二支承部(412)以及对第一、第二支承

公开(公告)号：CN106338297A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610514596.6

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟 ,  木暮翔太

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01P3/44

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01D5/24 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种具有优异的特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备：可动质量部(32)，其具有：具有与第一固定电极部(213a)对置的部分的第一可动电极部(322a)；以及具有与第二固定电极部(213b)对置的部分的第二可动电极部(322b)，可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)及第二固定电极侧固定部(21b)的形状；第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)，它们经由第一弹性部(33a)以及第二弹性部(33b)而对可动质量部(32)进行支承，并且在俯视观察时被配置在可动质量部(32)的外侧。

公开(公告)号：CN105387851A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510531820.8

申请日：2015-08-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的物理量检测性能的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)、和在施加了加速度时所产生的转矩与第一可动部(421)不同的第二可动部(422)，并且以能够绕位于所述第一可动部(421)与所述第二可动部(422)之间的轴J而进行摆动的方式而被支承；第一检测电极(511)，其以与第一可动部(421)对置的方式而被配置；第二检测电极(512)，其以与第二可动部(422)对置的方式而被配置；框状部(6)，其在对可动部(42)进行俯视观察时，以包围可动部(42)的周围的至少一部分的方式而被配置，并且与可动部(42)等电位。

公开(公告)号：CN105371831A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510505681.1

申请日：2015-08-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00357 ,  B81C2201/0194 ,  G01P2015/0831 ,  G01C19/5656

Abstract: 本发明提供了一种物理量传感器、电子设备以及移动体，该物理量传感器即使在小型化的情况下也具有高灵敏度，该电子设备以及移动体具备该物理量传感器。本发明所涉及的物理量传感器(100)具有：基板(10)；支承部(40)；通过连结部(30、32)而与支承部(40)连接的可动部(20)；与可动部(20)对置并被配置在基板(10)上的固定电极，可动部(20)具有：第一质量部(20a)；质量小于第一质量部(20a)的第二质量部(20b)；被配置在第一质量部(20a)上的第一可动电极(21)；被配置在第二质量部(20b)上的第二可动电极(22)，固定电极由第一固定电极(50)和第二固定电极(52)构成，在将可动部(20)的长度方向上的可动部(20)的长度设为L，将可动部(20)的长度方向上的第二质量部(20b)的长度设为L2时，满足0.2≤L2/L≤0.48的关系。

公开(公告)号：CN105021177A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510218740.7

申请日：2015-04-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

Abstract: 本发明提供了一种功能元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。作为功能元件的加速度传感器具有：在Y轴方向上延伸的支承梁；与支承梁的一个端部相连接并以可在Z轴方向上摆动的方式而被支承梁支承的质量体；与支承梁的另一个端部相连接并被固定于基板上的固定部；以从两侧夹持支承梁的方式被配置于质量体与支承梁之间并被固定于基板上的卡止部，质量体以支承梁为界被区分为彼此质量不同的第一质量部和第二质量部，第一质量部及第二质量部具有与卡止部的支承梁侧的相反侧相对的对置部，将在与Y轴方向交叉的X轴方向上，卡止部的靠一个端部的支承梁侧的角部与支承梁之间的距离设为L1并将卡止部与对置部之间的距离设为L2时，满足L1＞L2的关系。

公开(公告)号：CN104422787A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410438140.7

申请日：2014-08-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01D5/24

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明涉及一种功能元件、电子设备以及移动体。功能元件的特征在于，具有：可动体，其能够沿第一轴位移；可动电极部，其从可动体延伸设置；固定电极部，其被设置为与可动电极部对置；以及止动部，其限制可动体的位移，在可动体上设置有沿第一轴突出的突出部，突出部的端部与止动部之间的距离短于可动电极部与固定电极部之间的距离。

公开(公告)号：CN104345175A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410384431.2

申请日：2014-08-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0008 ,  B81B2203/04 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明提供一种能够防止可动体贴附于基板上的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明所涉及的物理量传感器包括：基板(10)；具备可动电极部(21、22)的；以能够围绕第一轴(Q)进行位移的方式对可动体(20)进行支承的支承部(30、32)；第一固定电极部(50)和第二固定电极部(52)，在以第一轴(Q)为界将可动体(20)划分为第一部分(20a)以及第二部分(20b)的情况下，第一固定电极部(50)以与第一部分(20a)对置的方式而被配置于基板(10)上，第二固定电极部(52)以与第二部分(20b)对置的方式而被配置于基板(10)上，在基板(10)上设置有，在第一固定电极部(50)与第二固定电极部(52)之间的电极间区域(14a)内对可动体(20)与基板(10)之间所产生的静电力进行抑制的保护部(60)。

公开(公告)号：CN100550619C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200710079179.4

申请日：2007-02-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: H03H9/25 ,  H03H9/10 ,  H01L41/083

Abstract: 本发明提供一种拉姆波式高频设备、拉姆波式高频设备的制造方法，该设备可提高结构强度、实现稳定的特性，该方法在制造步骤中不易破裂、可以提高成品率。拉姆波式高频设备(10)由在一个主面上形成有IDT电极(30)的压电基板(20)和接合在压电基板(20)的另一个主面上的加强基板(50)构成，在压电基板(20)和加强基板(50)的接合面上设有面积大于拉姆波的传输区域的空间(54)。并且，该拉姆波式高频设备(10)的制造方法包括：在加强基板(50)上形成相当于空间(54)的凹部(53)的步骤；在凹部(53)内形成牺牲层的步骤；在接合压电基板(20)的厚板和加强基板(50)之后，将压电基板(20)的厚板研磨为规定厚度的步骤；形成IDT电极(30)和反射器(41、42)的步骤；以及去除牺牲层以形成空间(54)的步骤。

公开(公告)号：CN101534105A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200910007540.1

申请日：2009-02-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/02551 ,  H03H9/02228

Abstract: 本发明提供可抑制与兰姆波传播方向垂直的方向的振动泄漏的兰姆波型谐振子。兰姆波型谐振子(1)在将分别连接多个电极指片的母线电极的宽度表示为Wb、将上述电极指片和上述母线电极之间的距离表示为Wg时，在设Wg为x轴、设宽度Wb为y轴的正交坐标中，Wg和Wb共同处于用圆方程式(x－10)2+(y+12.7)2＝192表示的圆弧和Wg≥1λ、Wb≥1λ围成的范围以及以下范围的任意一个中，该范围是在用坐标(Wg，Wb)表示的情况下，利用直线将由J21，J22，J23，J24，J25，J26，J27，J28，J29，J30，J31，J32，J33，J34，J35，J36，J37，J38，J21所示的各个坐标按照记述顺序进行连接，并通过上述直线而围成的范围。由此，可抑制在晶体基板(10)的横方向外端部发生的位移。