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公开(公告)号：CN104748846B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201410815568.9
申请日：2014-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/0202 , G01J3/0235 , G01J3/027 , G01J3/0272 , G01J3/0289 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32
Abstract: 本发明涉及分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法。分光测量系统具备：拍摄装置(3)，具备拍摄图像的拍摄元件(312)；以及分光模块(2)，具备波长可变干涉滤波器以及安装部(8)，安装部(8)保持波长可变干涉滤波器，并装卸自如地安装于拍摄装置(3)，在向拍摄装置(3)进行安装时，安装部(8)能够将该波长可变干涉滤波器配置于向拍摄元件(312)入射的入射光的光路上。
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公开(公告)号：CN105045292A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510205381.1
申请日：2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G05D3/12
CPC classification number: G05B11/14 , B81B2201/031 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/505 , G02B5/286 , G02B5/288 , G02B26/001 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15)，偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称，并且能够分别独立地驱动，电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸，导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。
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公开(公告)号：CN105022160A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510487456.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
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公开(公告)号：CN104516100A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410488590.7
申请日：2014-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/008 , B81B2207/03 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。
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公开(公告)号：CN104062699A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410096462.8
申请日：2014-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T428/24562
Abstract: 本发明提供密封结构、干涉滤波器、光学模块及电子设备。本发明具备：设置有固定反射膜（54）的第一基板（51）；与第一基板（51）相对且设置有可动反射膜（55）的第二基板（52）；接合第一基板（51）及第二基板（52）的第一接合膜（571）；和密封材料（575），配置于第一间隙部（573），密封第一内部空间（581），第一间隙部（573）在第一基板（51）及第二基板（52）之间使被第一基板（51）及第二基板（52）夹着的第一内部空间（581）与外部连通，第一间隙部（573）中的、第一基板（51）及第二基板（52）的基板间距离随着从基板厚度方向观察的俯视观察中从基板的外周缘朝向内侧而变小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103576311A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310291831.4
申请日：2013-07-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
CPC classification number: B26D3/06 , G01B7/003 , G01J3/26 , G02B26/001 , Y10T83/0304
Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块、电子设备以及波长可变干涉滤波器的制造方法，该波长可变干涉滤波器具备相对的固定基板和可动基板，固定基板具有固定反射膜、第一驱动电极以及第一电容检测电极，可动基板具有：与固定反射膜隔着反射膜间间隙配置的可动反射膜、与第一驱动电极隔着驱动电极间间隙配置的第二驱动电极、以及与第一电容检测电极隔着电容检测电极间间隙配置的第二电容检测电极。电容检测电极是该电极间的静电电容检测用电极。通过驱动电极使反射膜间间隙的间隙量变更。反射膜间间隙、驱动电极间间隙和电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。
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公开(公告)号：CN102645741A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210034461.1
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。
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公开(公告)号：CN101900877A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010188264.6
申请日：2010-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供一种能够防止反射镜的带电而使反射镜彼此粘贴消除的光滤波器、光滤波器装置、分析设备以及光滤波器的制造方法。本发明的光滤波器(1)具备：相互地面对配置的第一基板(2)及第二基板(3)；在第一基板(2)的第二基板(3)侧所设置的第一反射镜(4A)及第一电极(6A)；在第二基板(3)的第一基板(2)侧所设置的第二反射镜(4B)及第二电极(6B)，并且第一反射镜(4A)和第二反射镜(4B)由配线(10A、10B)连接。
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公开(公告)号：CN109407303B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201811410079.X
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 广久保望
IPC: G02B26/00 , G02B26/08 , G01N21/3504
Abstract: 提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。
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公开(公告)号：CN110873913A
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201910803084.5
申请日：2019-08-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了能够得到对应于作为目标波长的光学特性的光学装置及电子设备。光学装置具备：光学部件，具有多个第一光学层以及折射率与所述第一光学层不同的多个第二光学层，且所述第一光学层及所述第二光学层层叠；以及层厚变更部，在所述第一光学层及所述第二光学层的层叠方向上使所述第一光学层的厚度变化，设有一对所述光学部件，一对所述光学部件隔着间隙而相对配置，所述光学装置具备变更所述间隙的尺寸的间隙变更部。
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