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公开(公告)号：CN118688102A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410322405.0
申请日：2024-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够谋求激光的波长的稳定化且能够高精度地测量移动镜的位置、能够生成波数轴(波长轴)的准确度高的光谱图案的分光装置、以及形状的测定精度高的形状测定装置。分光装置具备分析光学系统、测长光学系统以及运算装置，分析光学系统具备移动镜及第一受光元件，测长光学系统具备：第二光源，射出激光；气室，封入有吸收预定波长的光的气体，激光入射至该气室；射出光量检测部，检测从气室射出的光的光量并输出射出光量检测信号；光源控制部，基于射出光量检测信号控制激光的波长；以及测长部，使用激光获取与移动镜的位置对应的位移信号，运算装置具备移动镜位置运算部、光强度运算部以及生成光谱图案的傅里叶变换部。
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公开(公告)号：CN118688101A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410322404.6
申请日：2024-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田耕平
Abstract: 一种光学器件、分光装置以及分光方法，光学器件能够精度良好地计测移动镜的位置，并且谋求小型化以及低耗电化；分光方法能够生成波数轴或波长轴的准确度高的光谱图案；分光装置能够生成波数轴或波长轴的准确度高的光谱图案，并且谋求小型化以及低耗电化。光学器件具备分析光学系统以及测长光学系统，分析光学系统具备：移动镜，通过反射分析光，来对分析光附加第一调制信号；气室，封入有用于吸收预定的波长的光的气体，并通过使分析光入射，来对分析光附加光吸收信号；以及第一受光元件，接受包括试样来源信号、第一调制信号以及光吸收信号的分析光，测长光学系统具备第二光源、以及使用激光来获取与移动镜的位置对应的位移信号的测长部。
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公开(公告)号：CN118549361A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410210078.X
申请日：2024-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供光学器件及分光装置。一种光学器件，其特征在于，具备入射光学系统、分析光学系统以及测长光学系统，入射光学系统具备激光源和将激光分割的入射光分割元件，分析光学系统具备：第一光分割元件，在将第一分割光分割之后进行混合；第一反射镜，通过移动和反射而对一方的所述第一分割光附加第一调制信号；第二反射镜；以及第一受光元件，接收包括源于试样的信号和第一调制信号的第一分割光，测长光学系统具备：第二光分割元件，在将第二分割光分割之后进行混合；光反馈部，使一方的第二分割光反馈到第二光分割元件；以及第二受光元件，接收包括利用第一反射镜生成的位移信号的第二分割光。
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公开(公告)号：CN117705262A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410080570.X
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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公开(公告)号：CN114111998B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202110967137.4
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114112000B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202110974878.5
申请日：2021-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田耕平
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明提供一种能够更加准确地对采样信号进行解调且易于小型化的激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法。激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，并生成包括调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；解调电路，其执行根据所述受光信号对所述采样信号进行解调的解调处理，所述解调电路间歇地执行所述解调处理。
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公开(公告)号：CN115727935A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211048319.2
申请日：2022-08-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种激光干涉仪，能够抑制回光入射到激光光源，并抑制从受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度下降。一种激光干涉仪，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；遮挡元件，具有供所述激光通过的开口；光调制器，将所述激光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接收所述激光由测定对象物反射而生成的物体光以及所述参照光，并输出受光信号，当将所述开口的直径设为 时，满足
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公开(公告)号：CN114111998A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110967137.4
申请日：2021-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。
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公开(公告)号：CN102608823B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201110107698.3
申请日：2011-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , G01N21/554
Abstract: 本发明公开了一种分光方法及分析装置，其中，该光器件具有第一突起群，第一突起群通过将导电体的突起沿与假想平面平行的方向以第一周期排列而成。在使光入射至以第一周期排列的第一突起群时的表面等离子体共振分别在第一共振峰波长和第二共振峰波长产生，光是沿相对于朝向假想平面的垂线倾斜的方向前进的光。此时，包含第一共振峰波长的第一共振峰值波段包括表面增强拉曼散射中的激发波长λ1。包含第二共振峰波长的第二共振峰值波段包括表面增强拉曼散射中的拉曼散射波长λ2。
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公开(公告)号：CN102072878B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010550127.2
申请日：2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/0407 , G01N21/55 , G01N21/553 , G01N21/658 , G01N21/774
Abstract: 本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒及分析装置。该传感器芯片包括：基底部件，具有平面部；以及衍射光栅，具有由金属形成的表面并形成在所述平面部上，目标物质配置在所述衍射光栅上，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向按100nm以上且1000nm以下的周期周期性地排列；多个基底部分，位于相邻的两个所述第一突起之间，构成所述基底部件的基底；多个第二突起，形成在所述多个第一突起的上面；以及多个第三突起，形成在所述多个基底部分上。
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