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公开(公告)号：CN102332889A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110192101.X
申请日：2011-07-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/02102 , H03H9/0519 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供一种能够提高Q值的振动片、具备该振动片的振子以及振荡器。水晶振动片(1)具备：基部(11)；从基部起延伸的一对振动臂(12、13)，振动臂(12、13)的机械性的共振频率f大于热弛张频率f0，振动臂(12、13)具有沿着振动臂(12、13)的长度方向而形成在相互对置的主面(10a、10b)上的槽部(18)，槽部(18)具有：底部(18c)；第1侧面部(18a)，其沿着振动臂(12、13)的长度方向形成，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接；第2侧面部(18b)，其隔着底部(18c)而与第1侧面部(18a)对置，并与主面(10a、10b)和底部(18c)相接，槽部(18)具有无电极区域，所述无电极区域为，在从第1侧面部(18a)的底部(18c)侧的一部分起，包括底部(18c)在内直至第2侧面部(18b)的底部(18c)侧的一部分为止的范围内，未设置激励电极(20、21)的区域。
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公开(公告)号：CN102195607A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110062168.1
申请日：2011-03-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/02062 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种能够实现小型化和低频化，并且能够高效进行扭转振动的振动片、振子、电子器件以及电子设备。振动片(2)具有进行扭转振动的振动臂(22)，振动臂(22)包含由基端侧部分(227b)和基端侧部分(226b)构成的结构部，在宽度方向的剖视图中，基端侧部分(227b)沿Z轴方向设置，基端侧部分(226b)与基端侧部分(227b)连接，其重心相对于基端侧部分(227b)的重心分别在Z轴方向和与Z轴方向垂直的X轴方向上错开，振动臂(22)由于施加电压进行扭转振动。
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公开(公告)号：CN102064793A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010542414.9
申请日：2010-11-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/21 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H03B5/32 , H03H9/02 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供一种能够提高Q值的振动器件及电子设备。石英振动片具有基部和振动臂，基部具有切入部，振动臂具有臂部、施重部和槽部，石英振动片的谐振频率f比热缓和频率f0大，在将切入部的外缘与形成在一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最接近距离设为基部弯曲宽度Wb，将与振动臂的长度方向正交的面上的振动臂的截面形状置换为热弹性损失等价的相同厚度的矩形形状时的振动臂的臂宽设为有效臂宽We，将切入部的外缘与形成在一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的温度差设为dΘb，将振动臂的根部中的臂宽W方向的两端(一端12c、另一端12d)之间的温度差设为dΘ时，Wb＞We×dΘb/dΘ，其中，dΘb＜dΘ。
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公开(公告)号：CN102035498A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010501423.3
申请日：2010-10-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 提供一种降低了CI值且抑制了不必要振动的小型的振动片、振子、振荡器以及电子仪器。压电振动片(81)具备：一对振动臂(83)，其从基部(22)一端侧起分成两叉而互相平行地延伸；锤部(85)，被设置在各个振动臂(83)的前端一侧；具有底部的第1槽部(87)，其沿着各个振动臂(83)的长度方向设置。在从第1槽部(87)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第1激励电极(89)；在从振动臂(83)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第2激励电极(90)。在比从各个振动臂(83)与基部(22)相连接部分的基端到前端(锤部(85)的前端)的长度L的一半L/2更靠前端一侧的第1槽部(87)上，形成有用于集中质量的槽内突出部(95)。
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公开(公告)号：CN102025341A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010277937.5
申请日：2010-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种可在确保耐冲击性的同时抑制Q值下降的振动片、振子、振荡器及电子设备。压电振动片具有所谓音叉型的外形，具有基部、和从基部的一端侧分成两股并列地延伸的一对振动臂。各振动臂具有：窄幅部，其是振动臂的两个侧面之间的宽度较窄的部分；宽幅部，在与基部连接的根部部分，从窄幅部朝向基部侧，两个侧面之间的宽度逐渐变宽，并在与基部的连接根部成为最大宽度。在各振动臂的两个主面沿着长度方向设有有底的长槽。各长槽形成为宽幅部的堤岸部(25)的宽度(t2)与堤岸部(25’)的宽度(t2’)之和，比窄幅部的堤岸部(25)的宽度(t1)与堤岸部(25’)的宽度(t1’)之和小。
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公开(公告)号：CN116131789A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211418004.2
申请日：2022-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。能够抑制无用振动的产生和振动元件的破损。振动元件的制造方法包括：第1干蚀刻工序，从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第1槽和第1振动臂以及第2振动臂的外形；第2干蚀刻工序，从第2面侧对石英基板进行干蚀刻，形成第2槽和上述外形；湿蚀刻工序，形成连接底面和槽内侧面的倾斜面，在设第1槽和第2槽的深度为D、深度减去倾斜面的Z方向的长度后的值为D1时，满足D1/D≥0.80。
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公开(公告)号：CN109217838B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201811050020.4
申请日：2014-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。
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公开(公告)号：CN104753491B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201410828016.1
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 提供振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体，能够减少振动泄漏。振子(1)具有：振动元件(2)；安装有振动元件(2)的封装(9)；以及将振动元件(2)固定于封装(9)的导电性粘合部件(11、12)。在设振动元件(2)的基部(31)的宽度为W1、连结部(35)的宽度为W2、导电性粘合部件(11、12)的杨氏模量为E时，在满足‑1.3GPa≤logE≤‑0.7GPa的关系时，满足0.1≤W2/W1≤0.7的关系。
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公开(公告)号：CN104753489B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201410804388.0
申请日：2014-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/106 , H03H9/0547 , H03H9/1014 , H03H9/215 , H03H2003/026
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体，振动片能够实现振动臂的延伸方向上的小型化、并且减少热弹性损失，振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体具有该振动片。振动片(2)在设基部(4)的第1端面(41a)与第2端面(42a)的最短距离为Wb[m]、基部(4)沿着Y轴方向的有效宽度为We[m]、振动片(2)的Q值为Q时，满足下述式(A)和(B)。Q＝{(ρ·Cp)/(c·α2·Θ)}×[{1+(2·ρ·Cp·We2·f/π·k)2}/(2·ρ·Cp·We2·f/π·k)]····(A)0.81≦Wb/We≦1.70···(B)。
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公开(公告)号：CN104242860B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201410286254.4
申请日：2014-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。
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