公开(公告)号：CN102053498B

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201010190605.3

申请日：2010-05-27

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  赵显龙 ,  郑斗瑛 ,  李种和 ,  俞龙植 ,  李廷宇 ,  田桓承

IPC: G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。

公开(公告)号：CN102540724A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110238394.0

申请日：2011-08-18

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 郑知英 ,  郑闵鞠 ,  李种和 ,  任美罗 ,  赵显龙 ,  车明焕 ,  田桓承

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/312

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物，其包括：(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。