用于制备氮化物外延生长的纳米图形衬底的方法

    公开(公告)号:CN103035806A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210580748.4

    申请日:2012-12-28

    IPC分类号: H01L33/32 H01L21/20 H01L33/00

    摘要: 本发明在氮化物外延生长的衬底上制备微米PSS,其上沉积二氧化硅膜,在该膜上,沉积金属Ni层,通过退火处理后,以表面均匀分布的纳米尺度的金属Ni颗粒作为掩膜刻蚀衬底,形成纳米图形结构。然后,以所述具有纳米图形结构的二氧化硅作为掩膜刻蚀衬底,将纳米图形结构复制到微米PSS衬底上,通过腐蚀去除所述二氧化硅膜,得到纳米级PSS。本发明能够实现纳米图形化衬底的制备,可操作性强,并且不涉及昂贵精密的光刻设备,有利于实现规模化和产业化。

    集成LED芯片及其制作方法
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102969412A

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN201210516461.5

    申请日:2012-12-05

    摘要: 本发明公开了一种集成LED芯片及其制作方法。该方法包括以下步骤:S1、在衬底上生长外延层,形成晶片基体;S2、采用激光切割的方式在晶片基体上形成用于隔离相邻单胞的隔离槽,隔离槽的底部延伸至晶片基体的衬底处;S3、去除部分第二半导体层和发光层,露出位于其下的第一半导体层;S4、在第二半导体层的表面上形成透明导电膜;S5、在由第一半导体层、第二半导体层和发光层叠加形成的侧壁上、以及隔离槽中形成钝化层;S6、在由隔离槽隔离的各单胞之间形成金属连接线,形成集成LED芯片。本发明集成LED芯片及其制作方法,通过采用激光切割工艺形成隔离槽简化了制作工艺、提高了生产效率和增加了芯片的有效发光面积。

    LED晶片的切割方法和该方法所用保护片

    公开(公告)号:CN102664220A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201210149913.0

    申请日:2012-05-15

    IPC分类号: H01L33/00 H01L21/304

    摘要: 本发明提供了一种LED晶片切割方法和该方法中所用保护片,该方法中LED晶片包括中心圆和外环,LED晶片的外环为从LED晶片的外边缘向LED晶片中心延伸形成的区域;外环包括内边缘,LED晶片的中心圆为从内边缘至LED晶片中心围成的区域,切割步骤只切割LED晶片的中心圆,并在其中形成切痕;LED晶片的外环不进行切割步骤处理,其中无切痕。本发明提供的保护片能遮蔽待切割晶片的边缘,保护晶片的边缘不被激光切割到。该保护片制作成本低、使用方法简单,效果明显,能将晶片的破片率从27%下降至3.5%。

    发光二极管芯片
    35.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202423369U

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201220003273.8

    申请日:2012-01-05

    IPC分类号: H01L33/10

    摘要: 本实用新型提供了一种发光二极管芯片,包括:衬底、依次叠置形成于衬底的顶面上的N型半导体层、多量子阱层、P型半导体层、透明导电层、P电极以及N电极,N电极形成于N型半导体层被刻蚀区域的顶面上;还包括第一DBR层和第二DBR层,第一DBR层形成于正对P电极贯通透明导电层的凹陷区域内,第一DBR层的底面形成于P型半导体层的顶面上;衬底的底面形成有第二DBR层。本实用新型提供的芯片用PECVD方法沉积SiO2和Si3N4层交错形成的DBR结构的电流阻挡层,该层可以将垂直入射到电极下方,并被其挡住的光反射至芯片底面上的DBR光反射层上。该光经芯片底面DBR光反射层的漫反射后能改变光的出射角度,绕开电极出射,从而增加了芯片的发光效率。