-
公开(公告)号：CN101957179A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010265743.3
申请日：2010-08-27
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种光纤位移测量系统和测量方法，其中的测量系统具体包括：光纤光强调制模块，包括：光源、分束镜、透镜组、发射光纤和接收光纤；位移传感模块，包括探测头；信号检测与控制模块，包括反馈探测板、接收探测板和信号处理板；光源输出的光束经分束镜分成两路：第一路光束经反馈探测板传输至信号处理板，由信号处理板根据检测得到的第一路光束的输出功率变化，对光源进行反馈电压控制；第二路光束经透镜组耦合至发射光纤；探测头得到待测物体位移变化的输出位移，由输出位移对发射光纤的输出光束进行光强调制；调制后光束由信号处理板处理得到位移测量结果。本发明结构简单、成本低，且可以实现灵敏度高、稳定性高的光纤位移测量。
-
公开(公告)号：CN101833018A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010185004.3
申请日：2010-05-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种基于光纤传感的扫描探针表面测量系统和测量方法，所述系统包括：光纤位移传感单元，用于检测发射光纤入射到接收光纤的光功率，将光功率转换成电信号输入系统控制单元；光纤对准单元；微悬臂探针单元，用于通过改变弹性微悬臂的位置或弹性形变，调整微探针在样品表面上的位置，并带动微平板测头产生垂直位移，改变入射到接收光纤的光功率；三维扫描单元，用于使样品做三维移动扫描；系统控制单元，用于对上述单元的运动进行监视或控制，并对接收到的电信号和微探针在样品表面上的位置进行数据处理，获得样品的表面结构。本发明结构简单、光学器件少、稳定性好；可以实现高分辨率、大范围超精表面的检测。
-
公开(公告)号：CN1224915C
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN02131064.5
申请日：2002-09-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于光存储技术领域的一种高密度母盘刻录机控制系统。它是在通用计算机体系结构上，运用高性能的DSP浮点数字信号处理芯片的上下位机控制系统。它包含DSP控制系统和执行机构驱动系统、母盘刻录机。由母盘刻录机的圆光栅读数头、线光栅读数头实时采集轴向和径向电机转角信息，通过存储运算，总线时序控制及D/A转换等DSP系统控制下，驱动轴向和径向电机动作，配合形成准确的阿基米德螺线，完成刻录轨迹。本发明控制系统及母盘刻录机结构稳定并适用于不同的目标系统，控制精度高，稳定性好，可在系统运行，也可以节省空间脱机运行。可以保证高密度母盘的成功刻录，从而保证高密度光存储系统的成功开发。
-
公开(公告)号：CN1670505A
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN200510011612.1
申请日：2005-04-22
Applicant: 清华大学
IPC: G01N13/16
Abstract: 一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样品的受伺服控制单元驱动的扫描台、微调机构、设在所述微调机构之上的压电双晶片，以及末端固定在压电双晶片上、探测端对应样品设置的微悬臂探针；所述微悬臂探针背面处于所述光学测量单元的光探针会聚点处，并与光探针轴线相垂直；所述压电双晶片由伺服控制单元控制，驱动微悬臂探针以接触式、非接触式或轻敲式三种模式之一进行探测。本发明可以实现大视场、纳米尺度超精表面缺陷检测。
-
公开(公告)号：CN1188340C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN02153484.5
申请日：2002-11-29
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种静电致动微夹持器，属于微机电系统(MEMS-Micro-electro mechanical Systems)领域。本微夹持器是以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合方式固定在底板上，柔性结构为连续的S形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，动梳齿的另一端与微夹持臂相连。在驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块和微夹持器的上表面都溅射有金属层，金属层应为易于与铝、金等金属导线压焊的材料如金。本发明静电致动微夹持器响应速度快，夹持力大，控制容易，制造方便。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1564250A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410003473.3
申请日：2004-03-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种新型近场光存储深亚微米微飞行头，属光存储技术领域。为了克服现有技术三不足，本发明公开了一种近场光存储深亚微米微飞行头，包括承载微工作台、SIL和聚焦物镜，承载微工作台底面整体上是沿长度方向和宽度方向的抛物面叠加形成的类球面，承载微工作台前端开有中心槽；SIL上半部分为球冠面，下半部分为用于装卡定位的长方体基座，长方体基座的底面为正方形，SIL采用微装配技术嵌入所述承载微工作台前端的中心槽；聚焦物镜通过底部的圆柱形平台粘结在承载微工作台上表面。本发明采用了集成SIL与物镜于一体的结构设计，保证在工作过程中物镜后工作距恒定，提高了飞行头的近场耦合效率、飞行稳定性和抗扰动能力。
-
公开(公告)号：CN1172778C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN00107761.9
申请日：2000-05-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于微纳米技术领域，波及一种整体式微位移、力三维柔性驱动放大与转向机构。本发明包括微驱动器、柔性铰链、定位结构、调整旋钮；所说的微驱动器包括两个有平面度要求的光滑顶面和底面，该微驱动器嵌置在该柔性铰链中，该微驱动器的底面与设置在该柔性铰链中的调整旋钮接触，该微驱动器的顶面通过设置在该柔性铰链中的定位结构与柔性铰链相连接。本发明具有结构紧凑，运动与力的传递环节少，可靠性高，非线性误差小，同时可保证机构的微型化与所需操作空间的相对缩小的诸多优点。
-
公开(公告)号：CN1463002A
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：CN03137755.6
申请日：2003-06-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 二级寻址高密度母盘刻录机刻写机构，属于超高密度光存储技术领域。为了解决高密度母盘刻录机精确寻址定位和稳定、高速的调焦刻录问题，本发明公开了二级寻址高密度母盘刻录机刻写机构，包括高精度导轨，驱动架、激光器、压电陶瓷PZT、支撑臂、棱镜、悬臂、筒状压电陶瓷PZT堆和透镜组；驱动架两侧具有凹槽与高精度导轨配合，压电陶瓷PZT固定在驱动架和支撑臂中间，驱动架、压电陶瓷PZT和支撑臂具有一通槽，支撑臂的末端嵌有棱镜，悬臂一端固定在支撑臂的下表面，另一端连接内嵌透镜组的筒状压电陶瓷PZT堆。本发明可保证光学头在光盘上的定位精度在几十nm内，且SIL透镜与母盘的距离远小于激光波长。
-
公开(公告)号：CN1402245A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02131063.7
申请日：2002-09-28
Applicant: 清华大学
IPC: G11B31/00
Abstract: 本发明公开了属于光存储技术的一种新型高密度母盘刻录机，主要由固定于气浮转动台装在气浮转动台下面的控制系统精密控制。本发明空间结构布局紧凑、合理，采用高精度光栅上的径向运动的精密台及与之连接直立台，光学刻写头和母盘气浮主轴转动装置组成，并由安闭环控制，定位精度高、可靠性强；气浮主轴母盘转动装置转动平稳，在控制系统精密控制下，能刻录出符合现代技术要求的超高密度的母盘来，本发明在高密度的母盘刻录，光存储领域将有广泛地应用前景和开发潜力。
-
公开(公告)号：CN218647155U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202222805110.8
申请日：2022-10-24
Applicant: 清华大学
IPC: G01T1/02
Abstract: 本实用新型提供了一种基于光纤微弯损耗的在线辐射总剂量检测装置，该装置包括：反应腔体、光纤微弯传感器和计算机；反应腔体内部设置有凹槽，用于固定聚乙烯探测材料；凹槽上方设置有开口，透射窗通过法兰结构覆盖并固定在开口处；反应腔体上设置有孔洞，弹性薄膜覆盖并固定在孔洞处；光纤微弯传感器包括光纤，光源和光功率计；该光纤连接光源和光功率计；光纤位于弹性薄膜的正上方；光功率计通过线缆与计算机连接。本实用新型利用聚乙烯受辐射后产生气体的特性，使反应腔体内压强增大，进而导致弹性薄膜发生形变，光纤发生微弯损耗，通过实时监测光纤功率变化，计算得到该装置接收到的辐射总剂量，实现对目标环境辐射总剂量的在线检测。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
41
records
(took 0.021 seconds)
