公开(公告)号：CN2867337Y

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200520023172.7

申请日：2005-08-15

Applicant: 清华大学

Inventor： 李喜德 ,  杨燕

IPC: G01N13/16 ,  G01N13/10

Abstract: 一种扫描显微环境下的薄膜拉伸加载装置，属显微扫描无损检测和精密机械领域。该实用新型是通过设计能进行三维位置和角度调整的机械结构、压电陶瓷驱动系统、力缓冲系统等在原子力扫描显微镜和电子束扫描显微镜检测平台上完成薄膜变形测量，可对微尺度薄膜的全域或局部区域的变形场进行定量检测，被测薄膜厚度从数微米到亚微米厚度，装置可以多次使用，适合不同厚度和尺度的薄膜材料和结构的变形检测，可结合双曝光数字散斑技术、图像相关技术或微标记技术实现高空间分辨镜原子力扫描显微镜或电子束扫描显微镜环境下的薄膜原位、在线检测。

公开(公告)号：CN2695959Y

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN200420048281.X

申请日：2004-04-14

Applicant: 清华大学

Inventor： 李喜德 ,  杨燕

IPC: G01N21/45

Abstract: 本实用新型公开了属于光电无损检测和精密机械领域的一体化双视场实时薄膜微变形测量装置及方法。检测装置的激光器、光分束器、扩束镜、成像透镜、固体摄像机及全反镜等组成面内、离面ESPI检测单元按光路连接分别安置在一光学隔振平台上；单轴拉伸与弯曲微力加载单元MFU置于双视场光路中。本方法是按薄膜单轴变形与轴向拉伸微力测量同时进行，利用面内ESPI干涉单元和离面ESPI干涉单元分别对被测膜表面和测力弹性梁弯曲面的散斑图进行记录和处理，按通用计算方法计算出被测膜的各种力学参数。适用微米到亚微米厚度薄膜力学性能检测与分析。