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公开(公告)号：CN102172886A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110039127.0
申请日：2011-02-16
Applicant: 清华大学
IPC: B24B39/06
Abstract: 本发明公开了一种抛光头，所述抛光头包括盖板；基座，所述基座固定在所述盖板的下表面上，所述基座的下表面形成有环形凹槽；柔性膜，所述柔性膜固定在所述基座的下表面上且覆盖在所述环形凹槽上以形成与外界连通的下腔室；传递板，所述传递板固定在所述柔性膜的下表面上且与所述环形凹槽相对应，其中所述传递板的上表面的面积小于所述传递板的下表面的面积；和保持环，所述保持环固定在所述基座的下表面上用于保持晶圆。根据本发明实施例的抛光头可以提供更低的抛光压力。
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公开(公告)号：CN101934496A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010246628.1
申请日：2010-08-05
Applicant: 清华大学
IPC: B24B37/04 , H01L21/304
Abstract: 本发明公开一种化学机械抛光机，包括：工作平台，抛光盘，修整器和抛光液输送装置，装卸平台，抛光头，机械手，和抛光头支架，所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板，所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹槽，所述凹槽在水平基板的纵向一端敞开且朝向水平纵向另一端延伸，所述支撑侧板分别与水平基板相连且分别位于所述凹槽的横向两侧用于支撑水平基板，其中水平基板的所述纵向一端在纵向上延伸超出所述支撑侧板以构成悬臂端，所述悬臂端伸到所述抛光盘的上方。本发明的化学机械抛光机结构简单，加工方便，生产效率高。本发明还提出具有上述化学机械抛光机的化学机械抛光设备。
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公开(公告)号：CN116288132B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202310272655.3
申请日：2023-03-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺，包括如下步骤：将NH3和O2作为反应气体，利用空心阴极辅助装置，在种植牙螺栓表面获得氮氧共渗改性层，该层具有良好的致密性和覆盖性。本申请的空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺克服了钛及钛合金种植牙在人体口腔环境中的易被磨损、被腐蚀的缺陷。本申请的工艺中采用酸洗前处理技术，解决了种植牙螺栓表面杂质和氧化层不宜去除的问题；本申请的工艺中采用了氮氧共渗处理的表面改性技术，可有效提高钛合金植入体的植入功效，提高种植牙螺栓的耐腐蚀、硬度以及生物相容性，具有很广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN116623123A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310819771.2
申请日：2023-07-05
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种氮碳共渗镀膜一体化设备及氮碳共渗镀膜工件制备方法和应用。该设备包括氮碳共渗镀膜一体化设备本体、阴极罩、靶材挡板和工件架，氮碳共渗镀膜一体化设备本体上部形成真空腔室，氮碳共渗镀膜一体化设备本体下部形成共渗溅射腔，共渗溅射腔的内侧壁绝缘连接靶材；阴极罩间隔环绕共渗溅射腔内壁设置，阴极罩上设有多个通孔，阴极罩上端连接升降杆，阴极罩的下端可绝缘设在共渗溅射腔的底端；靶材挡板可旋转移动位于靶材与阴极罩之间；工件架位于阴极罩内，工件架与阴极罩内壁间隔，工件架下端绝缘连接共渗溅射腔底端。该设备实现了工件的氮碳共渗和镀膜在同一设备中进行，使工件的氮碳共渗镀膜一体化，大大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN116288132A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310272655.3
申请日：2023-03-20
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺，包括如下步骤：将NH3和O2作为反应气体，利用空心阴极辅助装置，在种植牙螺栓表面获得氮氧共渗改性层，该层具有良好的致密性和覆盖性。本申请的空心阴极辅助氮氧共渗的种植牙螺栓表面强化工艺克服了钛及钛合金种植牙在人体口腔环境中的易被磨损、被腐蚀的缺陷。本申请的工艺中采用酸洗前处理技术，解决了种植牙螺栓表面杂质和氧化层不宜去除的问题；本申请的工艺中采用了氮氧共渗处理的表面改性技术，可有效提高钛合金植入体的植入功效，提高种植牙螺栓的耐腐蚀、硬度以及生物相容性，具有很广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113621420B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202110860921.5
申请日：2021-07-29
Applicant: 清华大学
IPC: C10M161/00 , C10M177/00 , C10N30/06 , C10N40/04 , C10N30/08
Abstract: 本发明属于材料技术领域，具体而言，涉及一种复合润滑材料的制备方法。利用高锰酸钾和浓硫酸氧化剥离石墨粉末，制备得到含有氧化石墨烯片层的悬浊液；向悬浊液中加入过氧化氢溶液和强碱水溶液；用无水乙醇/去离子水混合溶液溶解盐酸多巴胺颗粒；将得到的盐酸多巴胺溶液与含有石墨烯片层的悬浊液混合，并加入氨水溶液，调节混合物pH值为弱碱性；对盐酸多巴胺与石墨烯混合物进行充分搅拌，搅拌后对混合溶液进行离心、清洗、干燥处理，得到氧化石墨烯表面负载聚多巴胺纳米球的复合材料。本发明利用聚多巴胺的生物粘附性，增强石墨烯与摩擦副表面的结合强度，并利用石墨烯层间易剪切特性，能够显著增强界面的润滑性能。
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公开(公告)号：CN113214884B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202110423727.0
申请日：2021-04-20
Applicant: 清华大学
IPC: C10M125/02 , C10M177/00 , C10N30/06
Abstract: 本发明属于材料技术领域，涉及一种超规整石墨烯基润滑脂的制备方法。本发明以浓硫酸和高锰酸钾作为氧化剂，与石墨粉混合；滴入过氧化氢水溶液；搅拌后加入高浓度强碱溶液；所得悬浊液进行抽滤洗涤处理后,高温还原得到表面超规整石墨烯片层粉末；对石墨烯粉末进行球磨处理；分别用有机溶剂溶解所得石墨烯粉末和基础润滑脂，并将二者混合得到乳化液，对其匀化处理；水浴加热使有机溶剂全部蒸发，润滑脂恢复半固体状态；冷却后反复研磨得到超规整石墨烯基润滑脂。本发明采用溶解‑蒸发‑宏观分散‑微观匀化的方式将超规整石墨烯片层分散到基础润滑脂中，具有优良的润滑效果，能广泛应用于工程机械、航空宇航、乘用车辆以及军事装备等领域。
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公开(公告)号：CN113621420A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110860921.5
申请日：2021-07-29
Applicant: 清华大学
IPC: C10M161/00 , C10M177/00 , C10N30/06 , C10N40/04 , C10N30/08
Abstract: 本发明属于材料技术领域，具体而言，涉及一种复合润滑材料的制备方法。利用高锰酸钾和浓硫酸氧化剥离石墨粉末，制备得到含有氧化石墨烯片层的悬浊液；向悬浊液中加入过氧化氢溶液和强碱水溶液；用无水乙醇/去离子水混合溶液溶解盐酸多巴胺颗粒；将得到的盐酸多巴胺溶液与含有石墨烯片层的悬浊液混合，并加入氨水溶液，调节混合物pH值为弱碱性；对盐酸多巴胺与石墨烯混合物进行充分搅拌，搅拌后对混合溶液进行离心、清洗、干燥处理，得到氧化石墨烯表面负载聚多巴胺纳米球的复合材料。本发明利用聚多巴胺的生物粘附性，增强石墨烯与摩擦副表面的结合强度，并利用石墨烯层间易剪切特性，能够显著增强界面的润滑性能。
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公开(公告)号：CN112795863B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202011619364.X
申请日：2020-12-30
Abstract: 本发明属于钛及钛合金表面处理技术领域，具体涉及一种钛合金表面离子碳氮共渗处理装置。装置中采用了双电源体系、一套直流电源控制辅助阴极，通过向辅助阴极施加电压，可以加速辅助阴极附近氩气的电离，激发离子碰撞加速升温，同时能够对工件及炉内腔体起到清洁的作用；另一套高频脉冲偏压电源负极与工件相连，正极接地，使得工件处于负电位，负偏压对工件表面等离子体的扩渗过程起到了加速的作用，可以提高离子对工件表面的轰击作用，增强扩渗层的附着力和致密度。氨气、二氧化碳作为扩渗介质，在电子的碰撞下形成具有较高内能的电子激发态离子，制得厚度适中、组织均匀的扩渗层，显著提升钛的力学性能及摩擦学性能。
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公开(公告)号：CN107620031B
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201711051778.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及基于空心阴极离子源的奥氏体不锈钢氮化处理系统及方法，属于奥氏体不锈钢氮化处理技术领域。该系统包括电源系统、真空渗氮炉、放置在炉内的空心阴极装置、抽气系统、供气系统、测控系统，及连接管道和阀门；所述真空渗氮炉中空心阴极装置结构为多块平行排列在炉内的金属板,每块金属板带有多个间隔排列的长条凹槽且每个凹槽中均开有间隔排列的通孔。本方法为将多个零件清洗后放入真空渗氮炉内安装空心阴极装置的两金属板之间后进行氮化处理后，升温到500℃‑550℃温度，保温时间为0.5h‑1.5h，再冷却，拿出零件。本发明提高了气体离化率，增大了等离子体浓度，可改善奥氏体不锈钢表面硬度和耐磨性，不影响其耐蚀性能，提高氮化效率。
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