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公开(公告)号:CN111122022B
公开(公告)日:2023-08-15
申请号:CN201911398998.4
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种功能薄膜的制备方法,包括:在第一柔性薄膜的一表面上形成铁电材料的前驱体层,然后采用激光对该表面进行辐照,使得该表面形成复合微结构,复合微结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒,得到功能薄膜,其中,复合微结构的表面低于第一柔性薄膜的表面而形成自第一柔性薄膜表面延伸至复合微结构的凹槽。本发明还提供该制备方法得到的功能薄膜,以及基于该制备方法的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的功能薄膜的制备方法简单,输出性能优异,基于该功能薄膜制备的柔性压力传感器具有密封性好、灵敏度高等性能优势。
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公开(公告)号:CN109561597B
公开(公告)日:2023-01-24
申请号:CN201811516498.1
申请日:2018-12-12
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H05K3/12
Abstract: 自清洁柔性导电线路的制备方法及具有其的柔性设备,该方法包括如下步骤:对柔性高分子薄膜表面进行处理,得到与硅烷偶联剂反应的官能团;将处理后的所述柔性高分子薄膜与硅烷偶联剂进行反应,在所述柔性高分子薄膜上形成疏水层;在所述疏水层上刻蚀线路图案,使所述线路图案的表面具有亲水性;使所述线路图案填充有导电液;对填充有所述导电液的线路图案进行干燥。该制备方法能够减少制作过程中,导电线路的材料对导电线路边缘造成的影响,简化制备过程,提高制作效率。
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公开(公告)号:CN113834518A
公开(公告)日:2021-12-24
申请号:CN202110843924.8
申请日:2021-07-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本申请涉及一种传感器结构,包括SOI硅片,SOI硅片的一侧设置至少两种传感电阻,SOI硅片的另一侧设置一空腔,至少两种传感电阻位于空腔的沿SOI硅片的厚度方向的投影区域内。还涉及一种传感器结构的制备方法,包括以下步骤:提供SOI硅片;在SOI硅片的一侧形成至少两种传感电阻,以及,在SOI硅片的另一侧形成一空腔,至少两种传感电阻位于空腔的沿SOI硅片的厚度方向的投影区域内。本申请通过设置至少两种传感电阻及空腔,利用空腔的可变形性满足传感电阻的工作需求,可对多种参数同时进行监测。
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公开(公告)号:CN111024273B
公开(公告)日:2021-12-24
申请号:CN201911382428.6
申请日:2019-12-27
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本申请涉及一种具有温度稳定性的压力传感器及其制备方法,压力传感器包括第一电极、第二电极与聚合物介电层,第一电极与第二电极分别位于聚合物介电层的两个相对表面,聚合物介电层中分散有介电常数温度系数为负值的介电改性物。本申请在聚合物介电层加入介电常数温度系数为负值的介电改性物,从而通过调控介电层的介电常数对温度的变化,以补偿温度变化对介电层厚度和电极面积的影响,获得温度稳定的电容式压力传感器。
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公开(公告)号:CN112515646A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN202011313120.9
申请日:2020-11-20
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/0215
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器,压力传感器包括柔性基体和复合于柔性基体表面的谐振电路层,柔性基体的材料包括温敏形状记忆聚合物,谐振电路层包括电容区、连接于电容区两端的第一线圈区和第二线圈区。本发明还公开了压力传感器制备方法及使用方法。本发明的压力传感器中,柔性基体采用温敏形状记忆聚合物制成,具有良好的形态记忆效果并且整体呈柔性,可减少甚至避免对血管造成额外的损伤。另外,谐振电路层复合于柔性基体的表面,以监控血管内压力的变化,检测效果好;压力传感器卷绕呈环形,以提高压力传感器与血管壁的贴合效果,检测准确性高。
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公开(公告)号:CN111122022A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201911398998.4
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种功能薄膜的制备方法,包括:在第一柔性薄膜的一表面上形成铁电材料的前驱体层,然后采用激光对该表面进行辐照,使得该表面形成复合微结构,复合微结构包括石墨烯微结构和嵌设于石墨烯微结构内部和/或表面的铁电材料颗粒,得到功能薄膜,其中,复合微结构的表面低于第一柔性薄膜的表面而形成自第一柔性薄膜表面延伸至复合微结构的凹槽。本发明还提供该制备方法得到的功能薄膜,以及基于该制备方法的柔性压力传感器及其制备方法。本发明的功能薄膜的制备方法简单,输出性能优异,基于该功能薄膜制备的柔性压力传感器具有密封性好、灵敏度高等性能优势。
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公开(公告)号:CN111107710A
公开(公告)日:2020-05-05
申请号:CN201911369934.1
申请日:2019-12-26
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: H05K1/18 , H05K1/11 , H05K3/32 , F21V19/00 , F21Y115/10
Abstract: 本申请实施例提供了一种柔性发光贴片及柔性发光贴片的制备方法和设备。其中,该柔性发光贴片上包括:柔性高分子薄膜基体、柔性基板和多个发光单元,其中,柔性基板的正面设有多个结合导电图案,柔性基板的背面设有导电线路,柔性基板上分别对应于每个结合导电图案设置有多个过孔,且所述过孔内设置有导电部,多个结合导电图案通过多个过孔的导电部与导电线路电连接;多个发光单元设置于柔性基板的正面并与多个结合导电图案中相应的结合导电图案电连接。通过本申请,解决了相关技术中单位面积内光照强度低的问题,提高了单位面积内光照强度。
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公开(公告)号:CN111024296A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911403189.8
申请日:2019-12-30
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器及其制备方法,所述传感器包括介质层和设于所述介质层相对两侧的第一电极层和第二电极层,其中,所述介质层包括基体层和分布于所述基体层中的多个孔道,所述孔道与外界连通以使所述孔道内的空气能够排出和吸入,所述孔道的孔壁还附着有压电薄膜层。本发明压力传感器通过孔洞和压电薄膜层的结合,使得检测灵敏度更高。同时,本发明还提供压力传感器的制备方法,该制备方法简单,适合工业化生产。
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公开(公告)号:CN109561597A
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201811516498.1
申请日:2018-12-12
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院
IPC: H05K3/12
CPC classification number: H05K3/1208 , H05K2203/095 , H05K2203/1173
Abstract: 自清洁柔性导电线路的制备方法及具有其的柔性设备,该方法包括如下步骤:对柔性高分子薄膜表面进行处理,得到与硅烷偶联剂反应的官能团;将处理后的所述柔性高分子薄膜与硅烷偶联剂进行反应,在所述柔性高分子薄膜上形成疏水层;在所述疏水层上刻蚀线路图案,使所述线路图案的表面具有亲水性;使所述线路图案填充有导电液;对填充有所述导电液的线路图案进行干燥。该制备方法能够减少制作过程中,导电线路的材料对导电线路边缘造成的影响,简化制备过程,提高制作效率。
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公开(公告)号:CN209644906U
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201822245010.8
申请日:2018-12-28
Applicant: 浙江清华柔性电子技术研究院 , 清华大学
IPC: A61B5/145
Abstract: 本实用新型涉及一种血糖传感器,包括基底以及设置于所述基底上的电极,所述电极包括工作电极、参比电极和辅助电极,所述工作电极、所述参比电极和所述辅助电极相互间隔;其中,所述工作电极包括石墨烯复合层,所述石墨烯复合层包括3D石墨烯层以及负载于所述3D石墨烯层中的纳米金属颗粒。本实用新型的血糖传感器不仅结构简单,体积小,便于携带,而且对血糖的检测灵敏度高、检测范围宽、响应速度快。
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