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公开(公告)号：CN102912420B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201210409910.6
申请日：2012-10-24
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及冷却水循环系统，旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。本发明通过控制外部冷却水的流量，可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节，且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN103451718A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310399991.0
申请日：2013-09-05
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B13/00
摘要： 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供可连续生产的区熔炉装置及其工艺控制方法。该可连续生产的区熔炉装置包括炉体、炉室法兰、直线单元、连接块、旋转单元和切割片；该可连续生产的区熔炉装置的工艺控制方法包括籽晶与熔融硅液熔接拉制出硅单晶。本发明在硅单晶生长过程中，需重新开始下一次单晶生长时，本发明可对硅单晶进行切除，迅速重新进行下一次单晶生长，可实现连续生产，节省大量氩气、电能、工时，降低生产成本，并提高单晶生产效率。
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公开(公告)号：CN102877118A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210349359.0
申请日：2012-09-19
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种区熔单晶炉的下轴运动机构。该下轴运动机构包括外轴、支撑框、驱动丝杆、丝杆驱动电机、驱动托盘、花键轴、花键轴驱动电机、外轴旋转皮带轮组、外轴轴承、轴承仓组件和轴承仓旋转皮带轮组。本发明采用内、外轴联动的形式，可实现外轴的旋转和升降运动、内轴的升降运动和与外轴同步的旋转运动，能够满足区熔单晶炉籽晶引晶、晶体生长和旋转运动等生长要求，且运动可靠平稳，密封性能好，为区熔炉稳定拉制单晶提供保证。
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公开(公告)号：CN102677153A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210111583.6
申请日：2012-04-15
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B13/30
摘要： 本发明涉及开门式晶体生长设备，旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路，在进气回路上设电磁阀，通过信号线与控制单元相连；气缸固定于气缸座上，气缸座固定于晶体生长设备的壁上；气缸座内设置滑块，滑块的一端与气缸的轴相连，另一端是密封端；滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应，且各设密封面；每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分，两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候，锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构，保证设备密封性和安全性，并为整体系统控制提供检测的数据信号，在提高生产效率的同时，保证安全性，实现产业化。
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公开(公告)号：CN102534754A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210050673.9
申请日：2012-02-29
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置。该装置包括反射环和主炉室窗口法兰；反射环外侧环设空心冷却管，冷却管的两端接至窗口法兰上的金属密封接头；金属密封伸出窗口法兰的外壁作为冷却水进出口；冷却管固定在位于竖直光轴上的支架一端；支架上还设有啮合的竖直提升丝杆，传动轴与提升丝杆通过锥齿轮对实现连接。本发明实现了区熔炉炉膛内部反射环的升降运动，运动可靠平稳，并能实现前后调整，方便反射环和加热线圈的对心，能够在熔区下形成有利的热场，提高单晶质量。通过调整反射环位置能够对单晶起到保温作用，降低晶体内部热应力，防止单晶因过冷而出现裂纹等缺陷。
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公开(公告)号：CN115821370A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211308619.X
申请日：2022-10-25
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种晶体生长炉，该晶体生长炉包括机架、提拉杆、操纵机构、炉室和密封机构，操纵机构设置于机架，提拉杆设置于操纵机构，操纵机构包括第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴用于驱动提拉杆水平移动，第二输出轴用于驱动提拉杆沿着自身轴线转动；炉室包括具有腔体的炉体和盖合于炉体的炉盖，炉盖上设有避让通道，提拉杆穿过避让通道伸入腔体，且避让通道允许提拉杆水平移动；密封机构套设于提拉杆，用于盖封避让通道。本发明的优点在于：通过在炉盖上设置避让通道，从而允许提拉杆水平运动，实现偏心引晶。在晶体生长的过程中，密封机构将避让通道密封，防止外界空气中的氧气等杂质进入炉室，从而保证晶体的生长质量。
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公开(公告)号：CN115558985B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211442714.9
申请日：2022-11-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种籽晶更换装置、晶体生长炉及籽晶更换方法，籽晶更换装置包括承载件、籽晶轴、控制组件及辅助件，承载件包括中空杆及与中空杆连接且连通的第一夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶；籽晶轴包括籽晶杆及与籽晶杆连接的第二夹头；控制组件用于驱动承载件及籽晶轴在晶体生长炉内运动；在控制组件驱动承载件运动至辅助件时，辅助件用于将位于第一夹头的籽晶转移至辅助件；并在控制组件驱动籽晶轴运动至辅助件时，辅助件用于将位于辅助件的籽晶转移至第二夹头，或将位于第二夹头的籽晶转移至与辅助件。该籽晶更换装置能够避免备用籽晶长时间处于高温环境内而造成损伤，保证籽晶的质量。
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公开(公告)号：CN115491757B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211442721.9
申请日：2022-11-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法，晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室，包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶，籽晶夹头用于夹持籽晶；位置操纵机构活动设置于机构操纵区内；更换辅助件位于机构操纵区内。本发明的优点在于：沿着中空杆的长度方向，中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶，籽晶夹头也能夹持一个籽晶，从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且，在籽晶承载件所能携带的籽晶的数量范围内，籽晶数量的增加不会导致籽晶承载件的结构更复杂。
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公开(公告)号：CN115635606A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202211442613.1
申请日：2022-11-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明提供一种晶体截断装置、晶体生长设备及晶体截断方法。晶体截断装置包括至少部分设置于晶体生长炉内的连接单元、安装于连接单元的截断单元，截断单元安装于连接单元位于晶体生长炉内的部分；截断单元包括可活动的断晶元件，晶体截断装置还包括连接断晶元件的动力单元，动力单元能够驱动断晶元件活动摩擦晶体，以使晶体接触断晶元件的部位断裂。
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公开(公告)号：CN115570689A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211442615.0
申请日：2022-11-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明提供一种晶体截断装置、晶体生长设备及晶体截断方法。晶体截断装置包括可活动设置于晶体生长炉内的截断单元；截断单元包括相匹配的受控件以及触发件，还包括具有预备形态与剪切形态的剪切组件，受控件连接剪切组件，其能够改变自身相对触发件的位姿以切换剪切组件的形态，触发件用于接触晶体；触发件限位止挡受控件以限定剪切组件维持预备形态，触发件受晶体压力时释放受控件以使剪切组件切换至剪切形态。
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