一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统
摘要:
本发明涉及冷却水循环系统,旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵;所述水箱安装于机架上,水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接;所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接;所述换热器为板式换热器。本发明通过控制外部冷却水的流量,可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节,且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。
0/0