- 专利标题: 一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统
- 专利标题(英): Closed cooling water circulation system for high-frequency power source of zone-melting single crystal furnace
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申请号: CN201210409910.6申请日: 2012-10-24
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公开(公告)号: CN102912420B公开(公告)日: 2015-03-18
- 发明人: 欧阳鹏根 , 石刚 , 傅林坚 , 曹建伟 , 陈明杰 , 王丹涛 , 邱敏秀 , 蒋庆良
- 申请人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
- 代理机构: 杭州中成专利事务所有限公司
- 代理商 周世骏
- 主分类号: C30B13/20
- IPC分类号: C30B13/20 ; H05B6/42
摘要:
本发明涉及冷却水循环系统,旨在提供一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统。该闭式冷却水循环系统包括水箱、机架、换热器、循环水泵;所述水箱安装于机架上,水箱上有设有一个进水口与循环冷却水回水管连接、一个出水口与循环水泵连接;所述换热器上设有一个被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接、一个被冷却介质进口与循环水泵连接、一个冷却介质出口与外部冷却水回水管连接、一个冷却介质进口与外部冷却水进水管连接;所述换热器为板式换热器。本发明通过控制外部冷却水的流量,可实现循环冷却水温度根据拉晶工艺自动调节,且具有使用方便、结构简单、体积小、能耗低、成本低的优点。
公开/授权文献
- CN102912420A 一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统 公开/授权日:2013-02-06
IPC分类: