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公开(公告)号：CN102955371B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210264944.0
申请日：2012-07-27
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固定多根不同口径比的匀光棒，装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；所述控制装置由高精度旋转台驱动；中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。
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公开(公告)号：CN103926683A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410157886.0
申请日：2014-04-18
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第三透镜组L3为补偿组，具有负光焦度，第四透镜组L4为后固定组，具有正光焦度，其中第二透镜组L2和第三透镜组L3可沿光轴方向移动，改变系统的焦距，将入射的照明图形缩放后成像于光刻曝光系统的光瞳面。本发明的变焦系统所有的透镜均为球面透镜，能有效降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度；且系统内有一中间像面，可以调整系统像面得到的照明图形，使其形状、能量分布特性符合特定的要求。
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公开(公告)号：CN102566318B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201210030456.3
申请日：2012-02-12
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路上放置分光镜(44)，分光镜(44)将光束分成两束，一束光束进入照明系统(5)，另一束光束进入光束测量模块(45)，光束测量模块(45)与控制器(46)相连，用于向控制器(46)提供测量数据，控制器(46)与光束控制模块的第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)相连，用于向光束控制模块提供控制信号，实现同时对光束位置偏差和指向偏差进行调节。
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公开(公告)号：CN102360122B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201110294847.1
申请日：2011-09-30
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提出了一种复眼透镜，包括基底(100)和安装在该基底上的透镜单元组(105)，所述透镜单元组(105)由阵列式排布的前微透镜单元(103a)和后微透镜单元(104a)组成，前微透镜单元(103a)和后微透镜单元(104a)分别沿X轴和Y轴方向阵列式紧密连接，前微透镜单元(103a)的焦距大于后微透镜单元(104a)的焦距。本发明的复眼透镜可提高匀光系统光能利用率，光场均匀性可以达到98％。
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公开(公告)号：CN1734308A
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN200410009426.X
申请日：2004-08-13
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 一种光棒型激光消相干均匀照明系统，包括激光器、位相调制元件、光束耦合系统及光棒。位相调制元件置于激光器与光棒的光路之间，可以置于光束耦合系统之前，也可置于光束耦合系统之后。激光器发出的光束经位相调制元件调制位相后，再经光束耦合系统入射到光棒，入射光束经光棒内表面多次反射混光，在光棒的输出端输出矩形或正方形激光强度均匀的光场。本发明用位相调制元件对激光的位相进行随机调制，消除出射光束因激光干涉造成的干涉条纹；另外，采用光棒实现任意形状激光束的整形和光强的均匀化，具有制造简单、实用化等特点，适用于对照明均匀性要求很高的仪器设备，特别是激光正投影、背投影电视机等的照明系统。
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公开(公告)号：CN114019653B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202111301759.X
申请日：2021-11-04
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜，其光轴方向包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、中间像面、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、后焦面。其中孔径光阑位置处放置被测衍射光学元件，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第一透镜和第二透镜构成成像前组，将孔径光阑的出射光聚焦至中间像面，中间像面用于对所成的光斑进行处理，第三透镜至第六透镜具有正光焦度，其构成成像后组，将中间像面成像至所述傅里叶变换物镜的后焦面处，后焦面为探测器的光敏面，孔径光阑位于所述傅里叶变换物镜的前焦面，后焦面上所有视场点的主光线与光轴平行，形成像方远心光路，后焦面为孔径光阑的傅里叶频谱面，满足正弦条件。
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公开(公告)号：CN114799933A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210482357.2
申请日：2022-05-05
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC分类号： B23P25/00
摘要： 本发明公开了一种激光辅助切削刀具，所述刀具包括刀粒(1)、刀柄(2)，刀粒(1)焊接于刀柄(2)的一端上。本发明所述的一种激光辅助切削刀具，激光束(3)从刀粒(1)内部，通过内反射面(14)反射到刀尖(11)和前刀面(12)靠近刀尖(11)的位置上，从刀尖(11)和前刀面(12)射出并照射到被加工件(4)上，对被加工件(4)表面材料形成激光熔化作用后有利于刀尖(11)切削出高质量的光滑表面或降低刀具磨损并延长刀具的使用寿命。
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公开(公告)号：CN114279303A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111632964.4
申请日：2021-12-28
申请人： 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC分类号： G01B5/245
摘要： 本发明公开了一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法，该装置包括双面微柱面透镜阵列(101)，第一小球(102)，第二小球(103)，绕Z轴的旋转台(105)，沿X轴和Y轴的二维平移台(104)，Z轴方向高度接触测量设备(106)和计算机(107)。第一小球(102)，第二小球(103)为两个相同的小球，通过两个小球的定位和对测试数据的拟合处理，实现精确调整双面微柱面透镜阵列与运动轴的关系。通过对上下柱面轮廓数据的测试和数据处理，计算出两个柱面的母线方向，进而实现对双面微柱面透镜阵列垂直度的精确检测。
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公开(公告)号：CN104793344B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201510229681.3
申请日：2015-05-07
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明公开了一种偏振转换装置，解决了高NA光刻技术中光束由X偏振光或Y偏振光转换为XY偏振光和YX偏振光问题，所述偏振转换装置由两块二分之一波片、两片熔石英基片拼接并深度光胶在熔石英基底上构成。每块二分之一波片和熔石英基片中心角为90度，且每块二分之一波片和熔石英基片的厚度相同。二分之一波片和熔石英基片交替排列，且二分之一波片和熔石英基片拼接成正方向，二分之一波片快轴方向与X轴呈45度或135度。该偏振转换具有机械稳定性好、加工难度小、转换精度高、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN103926683B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410157886.0
申请日：2014-04-18
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种变焦光学系统，尤其是用于光刻照明系统内的变焦光学系统，该变焦光学系统沿其光轴方向包括第一、第二、第三和第四共四个透镜组。其中第一镜透镜组L1为前固定组，具有正光焦度，第二透镜组L2为变倍组，具有正光焦度，第三透镜组L3为补偿组，具有负光焦度，第四透镜组L4为后固定组，具有正光焦度，其中第二透镜组L2和第三透镜组L3可沿光轴方向移动，改变系统的焦距，将入射的照明图形缩放后成像于光刻曝光系统的光瞳面。本发明的变焦系统所有的透镜均为球面透镜，能有效降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度；且系统内有一中间像面，可以调整系统像面得到的照明图形，使其形状、能量分布特性符合特定的要求。
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