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公开(公告)号：CN102545045B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210033084.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于深刻蚀槽的多段式FP腔单波长激光器，其结构至少包括激光器波导、分别位于其两端的第一深刻蚀反射面、第二深刻蚀反射面和分布于其间的深刻蚀槽阵列；深刻蚀槽阵列由2-6个深刻蚀槽组成。激光器制作在半导体外延片上，从下往上分别包括下包层，量子阱层和上包层以及以上所述各层之间的一些辅助层；激光器波导被深刻蚀槽阵列、第一深刻蚀反射面和第二深刻蚀反射面分割成数段独立的波导，每段波导上覆盖有电极，电极上分别注入电流实现对激光器波长和功率的控制；本发明与背景技术相比，仅需要一次外延生长使得生产工序更加简单便宜，制作误差更小；器件运行所需能量损耗更少；激光线宽窄。
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公开(公告)号：CN102545045A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210033084.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于深刻蚀槽的多段式FP腔单波长激光器，其结构至少包括激光器波导、分别位于其两端的第一深刻蚀反射面、第二深刻蚀反射面和分布于其间的深刻蚀槽阵列；深刻蚀槽阵列由2-6个深刻蚀槽组成。激光器制作在半导体外延片上，从下往上分别包括下包层，量子阱层和上包层以及以上所述各层之间的一些辅助层；激光器波导被深刻蚀槽阵列、第一深刻蚀反射面和第二深刻蚀反射面分割成数段独立的波导，每段波导上覆盖有电极，电极上分别注入电流实现对激光器波长和功率的控制；本发明与背景技术相比，仅需要一次外延生长使得生产工序更加简单便宜，制作误差更小；器件运行所需能量损耗更少；激光线宽窄。
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公开(公告)号：CN102519911A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110356206.4
申请日：2011-11-11
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体共振的光波导传感器。包括输入波导阵列、自由传播区、自由传播区反射端面、镀在自由传播区反射端面的金属传感层、装被测物质的槽、输出波导阵列、探测器阵列和用于拦光的深刻蚀槽；输入波导阵列中的一根输入波导引入的入射光光束，经自由传播区的一端到达自由传播区底面的反射端面-金属传感层-被测物质界面，反射光束反射到自由传播区的另一端、经输出波导阵列的一侧至探测器阵列，输出波导阵列的另一侧设有用于拦光的深刻蚀槽。采用1550nm波长，易于与光通信网络相连接在用户家庭使用，实现即时即地诊断；采用平面光波导集成和微流体工艺，使传统的体型等离子体共振传感器实现小型化、集成化、可便携。
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公开(公告)号：CN102419312A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110433800.9
申请日：2011-12-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于无源谐振腔和光栅解复用器级联光波导传感器，它包括一个宽带光源、一个具有周期性滤波谱的无源谐振腔、一个将不同波长分开的光栅解复用器和一个探测器阵列；其中，所述光栅解复用器与探测器阵列中任意一个探测器组成一个带通滤波器；所述宽带光源、无源谐振腔和光栅解复用器依次通过波导连接，探测器阵列置于光栅解复用器的焦平面位置处本发明采用低成本的宽带光源作为输入光源，并且无源谐振腔、光栅解复用器和探测器阵列直接可以完成被测物质的信息获取工作，无需外加高分辨率的光谱仪或高波长稳定的单模激光器。大大降低了成本，并且更易于集成。
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公开(公告)号：CN101871790B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201010195899.9
申请日：2010-06-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器游标效应的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、连接波导、输出波导、与输入波导及连接波导相耦合的参照环形谐振腔、与连接波导及输出波导相耦合的参照环形谐振腔、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大为总透射谱包络的移动，并将其转换为透射总输出功率的变化，从而简单地检测被测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101800397B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010143746.X
申请日：2010-04-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用半波耦合环形谐振腔选模的半导体激光器。至少包括有源或无源的环形谐振腔、内部带有增益区的有源谐振腔和耦合器；所述耦合器为π相位四端口耦合器包含四个端口，其中第一端口和第二端口与有源谐振腔相连，第三端口第四端口与环形谐振腔相连。本发明只需要单个环形谐振腔配合一个有源谐振腔以及一个π相位四端口耦合器实现半导体激光器的单模工作，并且环形谐振腔的直径大小不受限制，简化了制作工艺，π相位四端口耦合器的制作工艺也相对简单。此外，在作为可调谐半导体激光器应用时，单个环形谐振腔的半导体激光器在可调谐的应用中能够简化调谐的控制。
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公开(公告)号：CN101696934B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910153231.5
申请日：2009-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B6/24
Abstract: 本发明公开了一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器。它包含输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导，传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。
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公开(公告)号：CN101697341A
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200910153253.1
申请日：2009-10-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种量子阱混合方法。利用氮等离子体作为等离子源局部处理包含量子阱结构的化合物半导体晶片的牺牲层表面，在牺牲层表面产生晶格缺陷，接着通过快速退火使部分晶格缺陷扩散到量子阱区域，导致量子阱和垒的成分在界面处混合，从而改变量子阱区域的能带结构。本发明克服了氩等离子体诱导的量子阱混合技术中，刻蚀作用的负面影响，不会使得量子阱片的表层被轰击变薄甚至刻穿，为工艺带来便利。
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公开(公告)号：CN101696934A
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200910153231.5
申请日：2009-10-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器。它包含输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导，传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。
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公开(公告)号：CN101694463A
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200910153378.4
申请日：2009-10-19
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/41
CPC classification number: G01N21/7746 , G01N21/05 , G01N21/45 , G01N2021/0346 , G01N2021/391 , G01N2021/399 , G01N2021/458
Abstract: 本发明公开了一种半导体激光内腔光微流生物传感器，它包括耦合腔半导体激光器，2×2耦合器和设置在耦合器一个输入端口上的相位调节区。耦合腔激光器的主模从耦合器的一个耦合输出端口输出，而其主要边模从另一个耦合输出端口输出。传感谐振腔的谐振频率间隔略大于或略小于参照谐振腔的谐振频率间隔的二分之一。传感谐振腔的一部分是传感区，传感区周围全部或部分被被测物质覆盖，当被测物质折射率发生变化，使得耦合腔半导体激光器发生模式切换，两谐振腔输出端口相位差会有一个π位相突变，通过游标效应改变了探测耦合器两个输出端口的功率比，即可以测出样品折射率的变化。该传感器探测极限达到10-8甚至更低量级。
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