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公开(公告)号：CN112343827B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202011162487.5
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: F04D13/02 , F04D29/00 , F04D29/18 , F04D29/24 , H02K1/12 , H02K1/14 , H02K1/27 , H02K3/28 , H02N15/00
Abstract: 本发明涉及一种具有双磁阻结构的磁悬浮泵。本发明包括叶轮、转子架、转子永磁体、导磁体、附加永磁体、定子硅钢、悬浮绕组和驱动绕组。本发明设置双磁阻结构，增强转子悬浮的径向、轴向和倾斜刚度，降低叶轮和转子受扰动力时偏离悬浮位置并与泵壳发生碰撞的概率，提高磁悬浮泵的可靠性；叶轮可以采用轴流泵的水力结构形式，能够充分利用转子架的径向内侧空间设置叶轮，有利于使泵体的结构紧凑；叶轮可以采用离心泵形式的水力结构，以获得更大的扬程。
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公开(公告)号：CN112286011B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202011163837.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源靶滴发生装置及方法。本发明液滴发生组件、液滴分离组件及液体回收组件；液滴发生组件包括储罐、容腔、加热装置、压力源、激振模块、扰动杆和微孔喷嘴；液滴分离组件包括带孔电极板和偏转电极板；液体回收组件包括集液器。本发明利用瑞利失稳原理产生液滴，并分选出适当尺寸的液滴作为EUV光刻机光源系统激光轰击的靶滴。能够获得极小尺寸的靶滴，提高激光轰击靶滴的能量转化效率；可以使用尺寸较大的射流喷孔，降低制造成本；靶滴材质重复回收利用，提高使用效率，降低成本。
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公开(公告)号：CN113561557A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110628406.4
申请日：2021-06-07
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粉末压制模具及其粉末压制方法，包括模筒，所述的模筒由上模、下模和外围套组成，上模和下模的内径相等，上模和下模的端面相抵接；上模由可沿径向分离的两个或多个上模瓣组成；外围套套接于上模的径向外侧，上模上方设有上压杆，上压杆可在外部施加力的作用下于上模和下模中移动，下模的底部端口中设有用于实现下模底部密封的圆台，圆台下方设有下推杆，下推杆和圆台可在外部施加力的作用下于下模中移动。取模过程通过先取出上模再取压坯，压坯只需移动下模长度距离便可从模筒中取出，避免因长距离移动取出而影响被压制部件表面光滑度，还能有效降低取模时，对于模压机的开口高度和油缸行程需求。
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公开(公告)号：CN110441543B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201910650326.1
申请日：2019-07-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁饱和特性的磁芯电感式角速度传感测量装置和方法。包括至少一组由数字信号处理器、电感数字转换模块、谐振电容、磁芯电感和涡流屏蔽片构成的传感测量组件；磁芯电感主要由线圈和磁芯以粘接组合构成，涡流屏蔽片安装于定子内部，且涡流屏蔽片位于磁芯电感和永磁体转子之间；谐振电容所述磁芯电感并联连接形成LC谐振器；电感数字转换模块主要由振荡器、放大器、检波器、信号处理模块和模数转换模块构成，数字信号处理器接模数转换模块输出端；通过测量电感值的变化周期得到转子转动周期，最终获得角速度。本发明解决了磁悬浮旋转泵角速度检测问题，具有非接触，低成本，结构简单，易安装和适应环境温度变化等优点。
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公开(公告)号：CN112303247B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202011163914.1
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供一种超洁净比例阀，具有超洁净流室，通过内嵌永磁体和外部控制永磁体的配合方式设置磁力驱动组件，利用最小磁阻原理实现启闭阀口，对阀口位置可以实现精确控制；本发明的磁力驱动组件作动距离小，缩短阀口的启闭时间，响应速度快；可以对阀芯施加两个方向的驱动力，避免依赖流体冲击力开启阀芯时存在的可靠度不佳的问题；磁场的磁感线形成闭合回路，对磁场外部空间的干扰小，也避免环境中的磁体对本发明的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112303121B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202011162483.7
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: F16C32/04 , F16C37/00 , F04D29/048
Abstract: 本发明涉及一种具有三自由度磁轴承的磁悬浮泵，包括三自由度磁轴承与旋转驱动组件，三自由度磁轴承对转子及叶轮起到悬浮和定位作用，旋转驱动组件具有外转子结构；主要用于解决二自由度无轴承电机应用于泵时，转子在轴向上出现的不稳定现象。并且改善悬浮绕组磁链和驱动绕组磁链之间存在的耦合问题，降低电机控制难度。结构紧凑，便于应用于高洁净度场合；旋转驱动绕组与悬浮绕组磁链不耦合，便于控制。
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公开(公告)号：CN113007359A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110437525.1
申请日：2021-04-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种腔外线圈驱动式无弹性元件超洁净阀。阀座设有入出口流道均连通到阀腔；阀腔周围的内壁设置有导磁外壳，导磁外壳套装有线圈组件，线圈组件上方的导磁外壳内设有永磁体或者次极靴，线圈组件下方的导磁外壳内设有主极靴；主极靴底面垫片和阀座底面之间具有间隔形成活动过渡腔；线圈组件内周面布置有磁环导套组件，磁环导套组件内装有内隔层，内隔层内装有衔铁，衔铁下端和阀芯固定连接，活动阀芯穿过主极靴中心的竖直通孔后伸入到活动过渡腔中。本发明阀腔外部无可动部件，整体结构紧凑，可靠性高，阀腔内部避免了弹性动作元件的结构，不易发生疲劳失效，具有体积小，控制精度高，响应速度快的优势。
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公开(公告)号：CN112302914A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011162526.1
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法。波纹管中包含位移传感器，检测波纹管的位置，还包含压力传感器，检测工作腔或泵腔或排液流道的压力。结合位移反馈和压力反馈，能够判断波纹管的行程是否超出设定范围以及超出设定范围的原因，在此基础上可以实现实时反馈调节。
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公开(公告)号：CN108692913B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201810360587.5
申请日：2018-04-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M10/00
Abstract: 本发明公开了一种循环式动静叶干涉尾迹发生装置。包括动叶机构和水槽组件；水槽组件包括上水槽、下水槽和两个中水槽；上水槽和下水槽上下相接相通，在上水槽和下水槽之间的两侧安装有对称布置的中水槽，作为出口的中水槽中安装有静叶叶片；动叶机构包括水平传动皮带、上传动轴、竖直传动皮带、动叶叶片、下传动轴和调速电机；调速电机经水平传动皮带和上传动轴连接，上传动轴经竖直传动皮带和下传动轴连接，每个动叶叶片铰接于竖直传动皮带。本发明通过真实翼型运动实现尾迹发生，与工程实际中循环式动静叶片干涉现象更加符合。具有通用性好，易于安装，观测方便等特点。
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公开(公告)号：CN108692913A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810360587.5
申请日：2018-04-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M10/00
CPC classification number: G01M10/00
Abstract: 本发明公开了一种循环式动静叶干涉尾迹发生装置。包括动叶机构和水槽组件；水槽组件包括上水槽、下水槽和两个中水槽；上水槽和下水槽上下相接相通，在上水槽和下水槽之间的两侧安装有对称布置的中水槽，作为出口的中水槽中安装有静叶叶片；动叶机构包括水平传动皮带、上传动轴、竖直传动皮带、动叶叶片、下传动轴和调速电机；调速电机经水平传动皮带和上传动轴连接，上传动轴经竖直传动皮带和下传动轴连接，每个动叶叶片铰接于竖直传动皮带。本发明通过真实翼型运动实现尾迹发生，与工程实际中循环式动静叶片干涉现象更加符合。具有通用性好，易于安装，观测方便等特点。
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