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公开(公告)号：CN119805876A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510126878.8
申请日：2025-01-27
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种用于半导体制备的投影曝光光刻光源系统，包括依次布置的：激光光源；衰减控制器，用于主动控制输出的激光功率；光束耦合器，用于将光束耦合至匀化光纤；匀化光纤，用于使入射的激光光束的能量在水平面上分布均匀；准直扩束器，用于将入射光束直径扩大或缩小至一定倍数，输入端发散角微调结构，在调试准直后可固定，保证输出光斑的准直及稳定，并将光导向掩膜版。本发明采用匀化光纤，省略大量的反射镜和透镜，尤其是复眼透镜、狭缝衍射器等设备，大幅减少光束受灰尘影响和受设备精度影响的几率，提高光束质量。由于零部件的大量减少，使整个光刻系统的生产成本和控制难度大幅降低，能够提供稳定可靠的光刻曝光用激光。
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公开(公告)号：CN119644874A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411820923.1
申请日：2024-12-11
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G05B19/042 , G01C19/72
Abstract: 一种用于光纤环绕制的智能控制系统及方法，包括操作系统、主控系统、机台运动控制系统、光纤绕环控制系统、绕环图像识别系统和数据分析系统；主控系统分别与操作系统、数据分析系统、机台运动控制系统和光纤绕环控制系统连接；数据分析系统与绕环图像识别系统连接，绕环图像识别系统与光纤绕环控制系统连接；主控系统与操作系统、数据分析系统、机台运动控制系统和光纤绕环控制系统进行数据连通，主控系统用于控制机台运动控制系统和光纤绕环控制系统动作。本发明可以实现绕环过程数字化功能，将绕环过程数字化，进行实时在线分析；还能结合光纤环生产完成后的检测数据进行对照分析，找出影响光纤环质量的因素，反向指导绕环操作和控制工艺。
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公开(公告)号：CN117740036A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410115204.3
申请日：2024-01-29
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种光纤环绕制导轮系统，包括导轮系统基架，导轮系统基架上设有近光纤环轮组和近放纤轮轮组，近光纤环轮组包括斜向布置的对滚轮组，对滚轮组设有使光纤通过的缝隙，近放纤轮轮组包括纵向宽导向轮，纵向宽导向轮和对滚轮组之间设有多个用于导向的定滑轮，光纤从放纤轮出发绕过纵向宽导向轮、多个用于导向的定滑轮和对滚轮组后到达光纤环骨架上，导轮系统基架上还设有可移动的平移架，平移架端部设有带张力传感器的第一张力轮，第一张力轮抵靠在光纤上转动；解决了绕制光纤环时，光纤路径的导向的问题。
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公开(公告)号：CN117125890A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311098075.3
申请日：2023-08-29
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: C03B37/027 , G02B6/255 , C03C25/106 , C03C25/12 , C03B37/018
Abstract: 本申请提供一种共用涂覆层式多芯光纤耦合连接方法，其特征是：包括采用化学气相沉积法制备单模光纤预制棒；采用氢氧火焰拉伸单模光纤预制棒；将制备好的单模光纤预制棒排列成与多芯光纤端面纤芯排布相同的结构；将排列好的单模光纤预制棒放入拉丝塔并将一端固定；利用拉丝炉进行拉丝制成共用涂覆层单模光纤束组，共用涂覆层单模光纤束组的纤芯排列与多芯光纤纤芯排列相同；光纤束组进入到拉丝塔下部涂覆；将制备好的共用涂覆层单模光纤束组与多芯光纤纤芯对齐并通过熔接机对轴耦合解决了多芯光纤耦合连接的问题。
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公开(公告)号：CN117092759A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311115871.3
申请日：2023-08-31
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G02B6/38
Abstract: 本申请提供一种多芯光纤耦合连接方法，取多芯光纤，利用HF酸腐蚀溶液从多芯光纤端面逐渐腐蚀各多芯光纤纤芯以形成多个多芯光纤纤芯腐蚀孔；取单模光纤，利用HF酸腐蚀溶液从外侧向内腐蚀单模光纤的包层至接近单模光纤纤芯外壁以形成多个单模光纤裸纤芯；将各单模光纤裸纤芯插入各多芯光纤纤芯腐蚀孔内，使单模光纤裸纤芯端面与多芯光纤纤芯腐蚀孔底端的多芯光纤纤芯端面对接；向多芯光纤纤芯腐蚀孔中填充固化胶，等待固化胶完全固化，解决分束单模光纤纤芯与多芯光纤耦合连接的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115420304B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211130752.0
申请日：2022-09-16
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
Abstract: 本申请提供一种组合式光纤环绕环骨架，包括内筒装置，内筒装置外侧套有可拆卸的薄衬套，内筒装置两端分别设有第一法兰盘和第二法兰盘，第一法兰盘和第二法兰盘间距可调整，第一法兰盘和第二法兰盘设有法兰部和避空沉槽，内筒装置和薄衬套两端伸入各避空沉槽中，避空沉槽与薄衬套外壁之间设有间隙容腔，间隙容腔处用于缠绕打底线圈，解决了光纤环绕制过程中光纤平整排列的问题。
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公开(公告)号：CN115417591A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211118006.X
申请日：2022-09-14
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 一种FCVD制备保偏光纤应力棒的方法，依次通过上管、刻蚀、沉积光学包层、沉积芯层、熔缩、烧实、抛光和下棒的步骤，FCVD采用石墨电阻炉代替氢氧火焰喷灯来提供加热热源，电流通过石墨产生电阻从而发热，FCVD采用管内化学气相沉积法制备预制棒，利用热区的长度优势，有利于提高沉积及熔缩烧实效率，有利于制备大尺寸、深掺杂应力棒，且沉积和熔缩在同一个设备上完成，减小操作难度和投入成本，有利于大规模应用。
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公开(公告)号：CN114706159B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210245784.9
申请日：2022-03-14
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G02B6/02
Abstract: 本发明提供一种多芯光纤成像装置，包括多芯光纤阵列束、成像物镜、成像管透镜和成像相机，多芯光纤阵列束包括多个多芯光纤，多芯光纤阵列束设有多芯光纤阵列输入端和多芯光纤阵列输出端，多芯光纤阵列束的多芯光纤阵列输出端与成像物镜连接，成像物镜、成像管透镜和成像相机依次连接，多芯光纤阵列束的多芯光纤阵列输入端设有锥形的倒角部，多个多芯光纤呈六边形阵列分布，多芯光纤设有中心纤芯，中心纤芯外侧沿周向设有外围纤芯，外围纤芯的纤芯数量为六或六的整数倍，解决了传统的光纤成像技术难以同时满足小型化和空间成像的问题。
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公开(公告)号：CN115072983A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210654526.6
申请日：2022-06-10
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: C03B37/012
Abstract: 本申请提供一种空芯反谐振光纤中间体预制棒的制备方法，拉制各第一空心管、第二空心管、中心支撑管和各填充棒；将外套管水平放置，向外套管内放置第一空心管、第二空心管、中心支撑管和各填充棒，第二空心管和第一填充棒沿中心支撑管外壁周向交替布置，第一空心管紧贴外套管内壁，第二空心管紧贴第一空心管远离外套管中心的一侧内壁，解决了空芯反谐振光纤预制棒采用焊接制备时纵向均匀性、结构一致性不好的问题。
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公开(公告)号：CN113917600B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111522467.9
申请日：2021-12-14
Applicant: 武汉长盈通光电技术股份有限公司
IPC: G02B6/036 , G02B6/02 , C03C25/32 , C03C25/1065 , C03B37/018 , C03B37/012
Abstract: 本发明提供一种无源匹配激光光纤及制备方法，光纤的横截面从内到外依次为：掺锗石英芯层、石英包层、掺氟石英包层、低折射率涂层和高折射率涂层；石英包层的外缘为多边形，多边形的数量大于或等于8，多边形的数量为偶数。制备时，使用高纯石英管为第一基管，采用管内气相沉积工艺形成掺锗石英芯层，得到芯棒；芯棒外表面成型多边形结构；使用高纯石英管作为第二基管，采用管内气相沉积工艺形成掺氟层；芯棒插入到第二基管内，将芯棒固定在第二基管中心，将芯棒与第二基管熔缩成组合棒，第二基管形成掺氟石英包层；拉制光纤时采用表面双层涂覆工艺，内涂层为低折射率涂层，外涂层为高折射率涂层。本发明能够传输大功率激光，承载功率达到万瓦级。
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