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公开(公告)号：CN118392337A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410441405.2
申请日：2024-04-12
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种高速旋转轴温度测量方法及测量系统，所述测量方法包括，在高速旋转轴上安装兰姆波谐振器，并获取兰姆波谐振器的谐振频率与温度的关系；在高速旋转轴工作时，获取所述兰姆波谐振器的谐振频率；根据所述兰姆波谐振器的谐振频率与温度的关系以及获取的谐振频率，得到高速旋转轴的温度。本发明将高速旋转轴工作温度转换为兰姆波谐振器压电层的应变使兰姆波谐振器产生频偏，通过测频偏，进而得到被测的高速旋转轴工作温度。本发明用于检测高速旋转轴工作温度的方法具有简便、灵敏度高的优点。
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公开(公告)号：CN118062185A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311865948.9
申请日：2023-12-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种船舶智能除冰装置，包括压电换能器阵列模块和与所述压电换能器阵列模块连接的控制电路模块；所述压电换能器阵列模块包括流速测定部件和除冰部件；工作时，所述控制电路模块控制所述流速测定部件发射超声波，并根据接收的超声波监测流速，若监测到流速异常，所述控制电路模块控制所述除冰部件发射超声波进行除冰。本发明的装置基于MEMS技术得到流速测定部件和除冰部件，利用入射声波与反射声波之间的频率差转换成液体的流速，获取流速信息，在流速异常时，除冰部件发射超声波利用超声波在冰块中的传播与振动以及超声波的热效应来实现除冰功能。本发明的装置还具有一致性好、体积小、性能优异、智能化的优势。
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公开(公告)号：CN117978125A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410072744.8
申请日：2024-01-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜声表面波谐振器及其制备方法，所述谐振器包括自下而上依次设置的衬底、声子晶体复合结构、压电层和电极结构，所述声子晶体复合结构包括沉积于所述衬底表面的基体层，所述基体层带有通向所述衬底表面的阵列结构的通孔，所述通孔内填充有散射体，所述基体层和所述散射体的材料不同，所述基体层的横向两端还设置有第一凸起结构；所述压电层由压电材料沉积于所述声子晶体复合结构的表面形成，因而带有第二凸起结构。本发明通过在传统声表面波结构中引入声子晶体、凸起反射结构，减少声波能量损失，提高Q值，降低薄膜声表面波谐振器的插入损耗，适用于高频、高功率场合下的射频滤波器需求。
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公开(公告)号：CN116996039A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310879729.X
申请日：2023-07-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种环形体声波谐振器及其制备方法，包括衬底、压电堆叠结构、质量负载结构、连接线结构和焊盘结构。衬底上开有空腔；压电堆叠结构为中心镂空的环形结构，从下向上依次包括底电极、压电层和顶电极，压电堆叠结构悬于空腔之上，且不与空腔的侧壁相接；连接线结构，为弯曲的蛇形；焊盘结构，连接于衬底上，压电堆叠结构通过连接线结构与焊盘结构连接。本发明由于压电堆叠结构为环形，中部镂空，可以直接从镂空处刻蚀空腔，不需要先刻蚀空腔释放孔，效率更高，能降低空腔释放不彻底影响谐振器性能的概率。连接线结构为蛇形，可以在不同方向上弯曲、拉伸、扭曲，使谐振器可延展性增强、灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN114839397B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210344926.7
申请日：2022-03-31
Applicant: 武汉大学
Abstract: 一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法，涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10)，空腔(20)上表面为一层薄膜(30)；薄膜(30)下方附着有一个质量块(40)；顶层刻蚀有相互耦合的两组直波导(60)和四个微环谐振腔(50)，其中四个微环谐振腔(50)均位于空腔(20)上方的薄膜(30)上；直波导(60)则位于基底(10)上，每个直波导(60)具有一个入射端和两个出射端，每一个微环谐振腔(50)分别与一个出射端相耦合。该加速度计通过检测各个微环谐振腔谐振峰的改变来测量三个不同方向的加速度分量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115514340A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211143985.4
申请日：2022-09-20
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了带有声子晶体的横向激励体声波谐振器及制备方法。该横向激励体声波谐振器包括依次堆叠设置的叉电极、压电层和声子晶体基体，所述声子晶体基体的内部开设有凹槽，所述凹槽内沉积有声子晶体散射体。本技术方案中，通过在压电层上设置声子晶体基体并在该声子晶体基体的内部开设凹槽，并于凹槽内沉积有声子晶体散射体，这样可以提升器件的导热性能和机械可靠性，并能在品质因子、机电耦合系数等方面达到与现有器件相近的性能。
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公开(公告)号：CN115459732A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211126725.6
申请日：2022-09-16
Applicant: 武汉大学
IPC: H03H9/02
Abstract: 本申请公开了一种带双反射结构的横向激励薄膜体声波谐振器。该横向激励薄膜体声波谐振器包括带空腔的衬底、位于所述衬底上的声布拉格反射栅、位于所述声布拉格反射栅上的压电层、位于所述压电层上的叉指电极结构；声布拉格反射栅和空腔构成谐振器的双反射结构；一方面声布拉格反射栅能够为压电材料提供良好的支撑，提高谐振器的机械稳定性；另一方面声布拉格反射栅和空腔能够将声波进行反射，减少声波能量损耗；另外，合理地选择声布拉格反射栅的组成材料可以改善器件的温度系数(TCF)；这种带双反射结构的横向激励薄膜体声波谐振器相比于传统横向激励薄膜体声波谐振器具有更强的机械稳定性、更优的温度系数(TCF)。
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公开(公告)号：CN115290234A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210947512.3
申请日：2022-08-09
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统。该光波导位于硅基底上，所述光波导包括依次叠置的SiO2层、PMMA层和NOA层。光波导采用NOA‑PMMA‑SiO2结构，具有成本低、易于制造的优点。硅基底采用空气隙型结构，能避免膜层塌陷现象，保持较高机械强度。这种传感器具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身无需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN114859575A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210313290.X
申请日：2022-03-28
Applicant: 武汉大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明属于光通信技术领域，公开了一种基于逆压电效应的可调制微环光通信滤波器，包括波导、微环谐振器和电极夹层单元，电极夹层单元包括一个或多个电极夹层；波导布置于微环谐振器的侧边区域内，微环谐振器与波导之间发生侧向倏逝波耦合，使微环谐振器内产生光场谐振；电极夹层与微环谐振器紧密贴合，电极夹层基于逆压电效应改变微环谐振器的形状尺寸或微环谐振器的有效折射率，以调控微环谐振器内光场的谐振状态。本发明能够在增大调制范围和调节精度的同时降低损耗与串扰，满足低功率需求。
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