梳齿型元件的制造方法
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113015691B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN201980074534.X

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 一种梳齿型元件的制造方法,该梳齿型元件具备经由间隙相互啮合地配置的多个固定梳齿和多个可动梳齿,并且上述可动梳齿与上述固定梳齿的啮合量可变,其中,在被蚀刻基材的表面形成用于形成上述固定梳齿的第一掩模图案和用于形成上述可动梳齿的第二掩模图案,在相邻的上述第一掩模图案之间以及相邻的上述第二掩模图案之间的上述被蚀刻梳齿基材上配置被蚀刻掩模图案,并且该被蚀刻掩模图案的厚度根据相邻的上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的第一间隙尺寸和相互相邻的上述固定梳齿之间的第二间隙尺寸来形成,通过Deep‑RIE对上述被蚀刻基材及上述被蚀刻掩模图案进行蚀刻,形成上述固定梳齿及上述可动梳齿。

    监视装置
    33.
    发明公开
    监视装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116917708A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202280018771.6

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 监视装置(1)具有:作为振动发电部的振动发电元件(10),其对监视对象的规定频率的声音或振动进行反应而发电;报知部(70),其根据振动发电元件(10)进行的发电的电压值与规定阈值的大小关系来报知监视对象的状态变化。报知部(70)在振动发电元件(10)发电时报知状态变化,因此,作为传感器部发挥功能的振动发电元件(10)不需要电源。

    振动发电装置
    34.
    发明公开
    振动发电装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN116584024A

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202180084094.3

    申请日:2021-12-17

    Abstract: 一种振动发电装置,包括:振动发电元件,其生成与电极的振动对应的电力;输出部,其在与负载电阻连接时,取出由所述振动发电元件生成的电力;判断部,其判断所述电力的功率值是否大于预定阈值;决定部,其根据所述判断部的判断结果来决定所述输出部的输入阻抗;以及调整部,其根据所述决定部的决定来调整所述输出部的所述输入阻抗。

    静电型设备、静电型设备中间体以及制造方法

    公开(公告)号:CN113906666A

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN202080040859.9

    申请日:2020-03-19

    Abstract: 静电型设备具备:形成于同一基板的固定部、可动部以及对上述可动部进行弹性支撑的弹性支撑部;第1玻璃封装件,其以上述固定部及上述弹性支撑部相互分离的状态阳极接合于上述基板的表背两面中的一方的面;以及第2玻璃封装件,其以上述固定部及上述弹性支撑部相互分离的状态阳极接合于上述表背两面中的另一方的面,且在与上述第1玻璃封装件之间形成配置上述可动部的密闭空间,在上述固定部及上述可动部的至少一部分形成有驻极体,在上述第2玻璃封装件形成有与上述固定部连接且在上述第2玻璃封装件的外表面露出的第1电极、以及与上述弹性支撑部连接且在上述第2玻璃封装件的外表面露出的第2电极。

    振动发电元件
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113302834A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202080009817.9

    申请日:2020-01-21

    Abstract: 振动发电元件具备:固定电极部及可动电极部,其形成于隔着绝缘层而设有第一层和第二层的基板的上述第二层;框体,其由隔着上述绝缘层而设置的上述第一层和上述第二层形成,且在上述第二层支撑上述固定电极部;弹性支撑部,其形成于上述第一层,且利用与上述框体的上述第一层连结的梁部来弹性地支撑上述可动电极部;以及第一导通部,其将上述可动电极部与上述弹性支撑部电连接。

    梳齿型元件的制造方法
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113015691A

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN201980074534.X

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 一种梳齿型元件的制造方法,该梳齿型元件具备经由间隙相互啮合地配置的多个固定梳齿和多个可动梳齿,并且上述可动梳齿与上述固定梳齿的啮合量可变,其中,在被蚀刻基材的表面形成用于形成上述固定梳齿的第一掩模图案和用于形成上述可动梳齿的第二掩模图案,在相邻的上述第一掩模图案之间以及相邻的上述第二掩模图案之间的上述被蚀刻梳齿基材上配置被蚀刻掩模图案,并且该被蚀刻掩模图案的厚度根据相邻的上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的第一间隙尺寸和相互相邻的上述固定梳齿之间的第二间隙尺寸来形成,通过Deep‑RIE对上述被蚀刻基材及上述被蚀刻掩模图案进行蚀刻,形成上述固定梳齿及上述可动梳齿。

    振动发电元件
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109997305B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201780071712.4

    申请日:2017-11-13

    Abstract: 振动发电元件具备:第一电极;第二电极,其相对于第一电极沿预定的方向移动;第三电极;第四电极,其相对于第三电极沿预定的方向移动;以及支撑部,其以能够沿预定的方向移动的方式支撑第二电极和第四电极,第一电极和第三电极沿预定的方向配置,第一电极与第二电极的对置面的至少一方、和第三电极与第四电极的对置面的至少一方带电,支撑部以第一电极与第二电极的静电力、和第三电极与第四电极的静电力沿预定的方向平衡的状态支撑第二电极和第四电极。

    振动发电装置
    40.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110050409A

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201780068784.3

    申请日:2017-11-16

    Abstract: 本发明提供从外部施加的振动能从低加速度至高加速度能够效率良好地整流以及蓄电的静电方式的振动发电装置。具备:可动侧部,其通过振动能而能够在预定的振动方向上振动,并具有沿振动方向的第一面;以及固定侧部,其构成为具有以使可动侧部能够在振动方向上振动的方式与可动侧部的第一面隔着预定的间隔而对置的第二面。在可动侧部的第一面以及固定侧部的第二面各自的表面,在振动方向上交替地形成有多个凹部和凸部。在固定侧部和可动侧部的至少一方形成有驻极体膜。构成为具有与可动侧部的第一面侧和固定侧部的第二面侧的间隔相应的值的力系数(机电转换系数)在可动侧部的振动振幅小时变小,在可动侧部的振动振幅大时变大。

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