MEMS元件以及振动发电器件

    公开(公告)号:CN114514190B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202080070448.4

    申请日:2020-10-09

    Abstract: MEMS元件具备基座、可动部、弹性部以及固定部,弹性部在与可动部的移动方向交叉的方向上延伸,具有承受可动部的力的中央部和固定于固定部主体的一端及另一端,在中央部与上述一端之间、以及中央部与另一端之间分别具有壁厚比中央部、一端以及另一端薄的薄壁部。

    MEMS元件以及振动发电器件

    公开(公告)号:CN114514190A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202080070448.4

    申请日:2020-10-09

    Abstract: MEMS元件具备基座、可动部、弹性部以及固定部,弹性部在与可动部的移动方向交叉的方向上延伸,具有承受可动部的力的中央部和固定于固定部主体的一端及另一端,在中央部与上述一端之间、以及中央部与另一端之间分别具有壁厚比中央部、一端以及另一端薄的薄壁部。

    发电元件以及发电装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116601106A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202180082281.8

    申请日:2021-10-07

    Abstract: 提供一种能够高效地发电的发电元件。发电元件是通过振动进行发电的发电元件,具有:第一电极和第二电极;部件,其设置于所述第一电极及所述第二电极之间,具有与所述第二电极电连接且与所述第一电极对置的第三电极、不与所述第三电极电连接而相对地固定于所述第三电极且与所述第一电极电连接并与所述第二电极对置的第四电极;以及驻极体,其设置于所述第一电极和所述第三电极中的一个以及所述第二电极和所述第四电极中的一个。

    振动发电元件及其制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116547230A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202180080787.5

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 能够防止大的力作用于MEMS振动发电元件的弹性支承部。振动发电元件具备:固定电极,其固定在基座部;可动电极,其能够相对于所述固定电极移动;弹性支承部,其一端与所述基座部连接,并且另一端与所述可动电极连接,弹性支承所述可动电极;以及第一部件和第二部件中的至少一方,所述第一部件固定在所述可动电极,并在与所述可动电极进行振动的振动平面正交的方向上与所述基座部或固定在所述基座部的部件分离地相对,所述第二部件固定在所述基座部,并在与所述振动平面正交的方向上与所述可动电极或固定在所述可动电极的部件分离地相对。

    振动发电元件及其制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116601105A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202180080733.9

    申请日:2021-11-01

    Abstract: 本发明涉及一种振动发电元件,其具备:固定电极,其固定于基座部;可动电极,其能够相对于所述固定电极移动;以及弹性支承部,其一端固定于所述基座部,并且另一端固定于所述可动电极,且弹性地支承所述可动电极,其中,所述弹性支承部包括:多个弹性结构体,其分别具有连结部、一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述可动电极且在与所述可动电极振动的第一方向正交的第二方向上延伸的第一弹性部、以及一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述基座部且在所述第二方向上延伸的第二弹性部,且分别配置于所述可动电极的所述第一方向的两侧;以及连接部件,其将所述多个弹性结构体所包含的所述连结部相互连接。

    MEMS元件以及振动发电器件
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114514191A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202080070556.1

    申请日:2020-10-09

    Abstract: MEMS元件具备:基座;绝缘层,其固定于基座的一面;第一上层,其至少一部分固定于绝缘层;以及第二上层,其以包围第一上层的周围的方式设置,且通过狭缝与第一上层分离地配置,第一上层在预定的部分具有向第二上层侧突出的突出部。

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