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公开(公告)号：CN101866058B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201010128876.6
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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公开(公告)号：CN101765799A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200880100940.0
申请日：2008-10-23
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 谷津修
CPC classification number: G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
Abstract: 一种照明光学设备具有光学单元3。所述光学单元具有：分光器35，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器33，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器34，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器36，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件33a、34a。
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公开(公告)号：CN100490064C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200480029973.2
申请日：2004-09-29
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
Abstract: 从投影光学系统PL入射到液体LQ上的曝光光之中，入射到光透过部44上的曝光光，不通过气体中地入射到光学部件41上而被集中。曝光装置，即便投影光学系统的数值孔径增大，也可以接收来自投影光学系统的曝光光，从而进行各种计测。
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公开(公告)号：CN100409045C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200580003186.5
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02B5/30 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件10变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域10A～10D，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101201552A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710195642.1
申请日：2003-12-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。
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公开(公告)号：CN101078812A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710110949.7
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN103777471A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410019498.6
申请日：2008-10-23
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 谷津修
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
Abstract: 一种照明光学设备具有光学单元(3)。所述光学单元具有：分光器(35)，用以使入射射束分裂成两个射束；第一空间光调制器(33)，其可布置于第一射束的光学路径中；第二空间光调制器(34)，其可布置于第二射束的光学路径中；和光组合器(36)，其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合；所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件(33a、34a)。
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公开(公告)号：CN103488056A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310320160.X
申请日：2008-09-10
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 谷津修
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70058 , G02B26/00 , G02B26/02 , G02B27/0927 , G03F7/70108 , G03F7/70116 , G03F7/70141 , G03F7/70158
Abstract: 一种照明光学系统，其在来自光源（1）的光线的基础上对要照明的表面照明，所述照明光学系统具有：第一光学路径，衍射光学元件（6）可布置于其中的第一位置处；第二光学路径，具有二维地形成阵列且个别地加以控制的多个光学元件（3a）的空间光调制器（3）可布置于其中的第二位置处；和第三光学路径，其为已通过所述第一光学路径和所述第二光学路径中的至少一者的光线的光学路径且一种分布形成光学系统（11）布置于其中。所述分布形成光学系统（11）基于已通过所述第一光学路径和所述第二光学路径中的至少一者的光线而在位于所述第三光学路径中的照明光瞳上形成预定的光强度分布。
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公开(公告)号：CN101078814B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN200710110951.4
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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