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公开(公告)号：CN107255913A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710536605.6
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。
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公开(公告)号：CN107250429A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680010757.6
申请日：2016-02-17
Applicant: 株式会社尼康 , 国立大学法人熊本大学
IPC: C23C16/448 , C23C16/50
Abstract: 目的在于提供一种能够进一步降低对基板的负荷的薄膜制造装置。一种薄膜制造装置，其将含有薄膜的形成材料的溶液的雾供给至基板而在所述基板上形成薄膜，其特征在于具备：等离子体产生部，其具有配置于所述基板的一个面侧的第1电极和第2电极，使所述第1电极与第2电极之间产生等离子体；和雾供给部，其使所述雾通过所述第1电极与所述第2电极之间而供给至所述基板。
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公开(公告)号：CN102835189B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201180018300.7
申请日：2011-04-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H05B33/10 , B65H23/038 , H01L51/50
CPC classification number: B65H23/32 , B65H2301/517
Abstract: 基板处理装置，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。
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公开(公告)号：CN103499588A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310364410.X
申请日：2008-09-26
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01N21/892
CPC classification number: G01N21/95607 , G01N2021/9513 , G01N2021/95615 , G02F1/136259
Abstract: 本发明提供一种显示器件（50）的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置，可以判定是能够在修理线中修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。显示器件的缺陷检测方法具备：对显示器件的每个局部区域计测特征量（P32），基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤（P36）；在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下，停止显示器件的生产线的步骤（P38、P42）；在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下，计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤（P38）；在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下，停止显示器件的生产线的步骤（P40、P42）。
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公开(公告)号：CN101802892B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN200880106565.0
申请日：2008-09-01
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G09F9/00 , G02F1/1343 , G09F9/30 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC classification number: G02F1/133305 , G02F1/1303 , G02F1/136259 , G02F1/136286 , G02F2001/136295 , H01L27/3246 , H01L51/0005 , H01L51/0019 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明提供一种在卷状柔性基板上容易确认驱动电路或薄膜晶体管的位置的显示元件用制造装置。显示元件制造装置(100)具有把被卷成卷状的柔性带状基板(FB)沿第1方向输送的供给辊(RL)；在被输送的带状基板上，通过按压而形成在与第1方向交叉的第2方向上排列的多个显示元件(50)用隔壁(BA)和对应显示元件的1行至少存在1个的第1标记(AM)的印模(10)；以及在形成于隔壁之间的槽部中涂敷液滴的液滴涂敷部(20)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102782580A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180010819.0
申请日：2011-02-15
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/075 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027 , H01L21/288 , H01L21/3205
CPC classification number: B05D5/00 , G03F7/0755 , G03F7/095 , H05K3/12 , H05K3/389 , H05K2203/1173
Abstract: 本发明的目的在于提供一种图案形成方法，其能够促进硅烷偶联剂的分解反应，缩短作业时间。本发明包括：在基板（1）上配置由通式（1）表示的硅烷偶联剂（2），针对硅烷偶联剂（2）使光催化剂（3）存在的工序，和对硅烷偶联剂（2）和光催化剂（3）照射包含硅烷偶联剂（2）和光催化剂（3）的吸收波长的光的光L的工序。（下述式中，R1表示因光照射而发生脱离的光反应性保护基团，R2表示由于R1的脱离而产生具有与R1不同的亲疏液性的官能团的有机基团，X1表示烷氧基或卤素原子，X2、X3表示选自氢原子、烷基、烯基、烷氧基、卤素原子中的取代基。X1、X2、X3可以相同也可以不同。）R1-R2-SiX1X2X3 …(1)
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公开(公告)号：CN101918897B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200880111596.5
申请日：2008-11-17
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 奈良圭
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70275
Abstract: 基板(PT)的曝光方法，包含：图案配置步骤，对分别具有放大倍率、并排的复数个投影光学系统(PL1至PL4)，配置于既定方向具有大于将该投影光学系统的曝光宽度除以该放大倍率所得的宽度、小于该投影光学系统的配置间隔的区域宽度的图案区域(A1至A4)；以及曝光步骤，将以该投影光学系统形成的第1图案的投影像、以及第2图案的投影像依序转印至基板上，该第1图案设在各该图案区域的第1部分图案区域(A11至A41)，该第2图案则设在相对该第1部分图案区域、至少部分区域在该图案区域内于该既定方向相异的第2部分图案区域(A12至A42)。如此，能抑制图案投影像的接合误差的产生，提升图案全体的投影像的转印精度。
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公开(公告)号：CN101918897A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200880111596.5
申请日：2008-11-17
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 奈良圭
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70275
Abstract: 基板(PT)的曝光方法，包含：图案配置步骤，对分别具有放大倍率、并排的复数个投影光学系统(PL1至PL4)，配置于既定方向具有大于将该投影光学系统的曝光宽度除以该放大倍率所得的宽度、小于该投影光学系统的配置间隔的区域宽度的图案区域(A1至A4)；以及曝光步骤，将以该投影光学系统形成的第1图案的投影像、以及第2图案的投影像依序转印至基板上，该第1图案设在各该图案区域的第1部分图案区域(A11至A41)，该第2图案则设在相对该第1部分图案区域、至少部分区域在该图案区域内于该既定方向相异的第2部分图案区域(A12至A42)。如此，能抑制图案投影像的接合误差的产生，提升图案全体的投影像的转印精度。
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公开(公告)号：CN101861516A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200880110250.3
申请日：2008-09-26
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G01N21/95607 , G01N2021/9513 , G01N2021/95615 , G02F1/136259
Abstract: 本发明提供一种显示器件(50)的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置，可以判定是能够在修理线中修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。显示器件的缺陷检测方法具备：对显示器件的每个局部区域计测特征量(P32)，基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤(P36)；在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下，停止显示器件的生产线的步骤(P38、P42)；在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下，计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤(P38)；在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下，停止显示器件的生产线的步骤(P40、P42)。
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公开(公告)号：CN101681570A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880011676.3
申请日：2008-03-24
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G09F9/00 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , G09F9/30 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/26
CPC classification number: H01L51/56 , G02F1/1303 , G02F2001/133302 , G02F2001/133325 , H01J9/241 , H01J9/242 , H01L27/3246 , H01L51/0005 , H01L51/0022
Abstract: 本发明的目的是提供一种在可挠性基板上形成高精度驱动电路或薄膜晶体管的显示元件制造方法、制造装置以及显示元件。本发明的显示元件制造装置(100)具有：输送部(RL)，其沿第1方向输送可挠性基板(FB)；标记形成部(10)，在可挠性基板上形成基准标记；隔壁形成部(10)，在可挠性的基板上形成隔壁；涂布部(20)，根据基准标记在隔壁的规定位置涂布导电材料。
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