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公开(公告)号：CN100591959C
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200710142236.9
申请日：2003-12-18
CPC classification number: F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电-气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电-气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电-气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。
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公开(公告)号：CN100473760C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN00802778.1
申请日：2000-01-13
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C8/02 , C23C26/00 , Y10T428/24322 , Y10T428/24355 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的目的是在任意金属材料上，形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜。可低价地、在短时间内形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜，可提供能安全地供给强腐蚀性流体的流体供给系统。在表面粗度(Ra)1.5μm以下的金属材料上，覆盖铬后，在氧化性环境中进行热处理，形成由氧化铬构成的非动态膜。
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公开(公告)号：CN100468267C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200380100257.4
申请日：2003-12-18
IPC: G05D16/02
CPC classification number: F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
Abstract: 通过极为简单的装置及操作，不会发生水击、而且在短时间内，可以将流体通路紧急关闭。为此，由以下部分构成无水击关闭装置：加装在流体通路上的致动器动作式阀；向致动器动作式阀供应两级阶梯状的致动器动作压力Pa的电-气变换装置；可自由拆装地固定到前述致动器动作式阀的上游侧管路上的振动传感器；输入由振动传感器检测出来的振动检测信号Pr、并且向电-气变换装置输出控制前述两级阶梯状的致动器动作压力Pa的阶梯动作压力Ps′的大小的控制信号Sc，通过该控制信号Sc的调整、从电-气变换装置输出振动检测信号Pr基本上成为零的阶梯动作压力Ps′的两级阶梯状的致动器压力Pa的调整箱。
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公开(公告)号：CN100419385C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200480018993.X
申请日：2004-06-18
CPC classification number: G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
Abstract: 本发明的课题在于使差压式流量计的构造简化而实现制造成本的降低，并且能够在100%～1%的较广的流量范围内实时地且以在线状态进行误差(E)为(1%SP)以下的高精度的流量计测。为此，在包括孔口测流计、孔口测流计上游侧的压力(P1)的检测器、孔口测流计下游侧的流体压力(P2)的检测器、孔口测流计上游侧的流体温度(T)的检测器、利用来自上述各检测器的检测压力(P1、P2)及检测温度(T)运算流过孔口测流计的流体流量(Q)的控制运算电路的差压式流量计中，根据见右下公式(其中，C1为比例常数，m和n为常数)来运算前述流体流量(Q)。
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公开(公告)号：CN100341775C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN00801626.7
申请日：2000-07-21
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给(例如数托)水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成，利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射，使反应炉的温度降低。并且，对散热用散热片进行氧化铝膜加工，使热辐射率大幅度提高，而使散热效率进一步提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1910393A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200580002923.X
申请日：2005-01-13
IPC: F16K51/00
CPC classification number: F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
Abstract: 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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公开(公告)号：CN1282848C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QC，根据该计算流量QC与设定流量QS之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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公开(公告)号：CN1751196A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200480004466.3
申请日：2004-02-09
Abstract: 本发明提供一种适用于半导体制造装置的真空排气系统用的隔膜阀，可以防止由气体的热分解所产生的生成物的堆积附着所带来的部件的腐蚀、或由生成物而带来堵塞或泄漏的发生，进而，可以实现真空排气系统的设备的小型化、随之可降低成本，而且，可以相应地进行用于缩短真空排气时间的真空排气系统的配管的小口径化。具体来说，真空排气系统用的隔膜阀(1)具有阀体(2)、隔膜(3)和驱动机构(4)，所述阀体(2)具有流入通路(6)、流出通路(7)和形成于其间的阀座(8)，所述隔膜(3)设于阀体(2)上并可接触或离开阀座(8)，所述驱动机构(4)设于阀体(2)上并可使隔膜(3)与阀座(8)接触或离开阀座(8)，在上述阀体(2)和隔膜(3)的流体接触部分(25)上涂覆规定厚度的合成树脂覆膜(5)。
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公开(公告)号：CN1216322C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN98801151.4
申请日：1998-08-13
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0647 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种压力式流量控制装置，包括节流孔；设置于节流孔上游侧的控制阀；设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器；根据压力检测器的检测压力P1以Q＝KP1(其中K为常数)计算流体的流量Q并以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Q二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置。在将下游侧压力P2与节流孔的上游侧压力P1之比保持在被控制流体的临界压比以下的状态下，通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P1，对节流孔下游侧的流体流量Q进行控制的压力式流量控制装置，是以直接接触型金属隔膜阀作为上述节流孔，以阀座与膜片之间的环形间隙作为可变式的节流孔，并且可通过节流孔驱动装置调整上述间隙的大小。
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公开(公告)号：CN1202987C
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为，更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离，进一步提高水分发生用反应炉的安全性，同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间，使反应炉体进一步小型化。为此，在本发明中，有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装，通过将两者焊接形成反应炉体A，其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8，从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应，从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应，产生水。
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