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公开(公告)号:CN115184429A
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202210739433.3
申请日:2022-06-28
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/327
Abstract: 本发明涉及电化学技术领域,具体涉及一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极及其制备方法。一种用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极,该电极由下到上依次为电极基底、3D碳纳米墙/金刚石膜和多孔CuO;所述3D碳纳米墙/金刚石膜垂直排列在所述电极基底上。本发明提供的用于生物传感的多孔CuO锚定碳纳米墙/金刚石电极,高电催化活性的CuO纳米颗粒与3D网络化导电碳纳米墙/金刚石膜产生协同效应,显著促进了CuO生物识别元件电催化反应的质量和电荷输运动力学。
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公开(公告)号:CN112458429B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202011261303.0
申请日:2020-11-12
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/01 , C23C16/02 , C23C16/56 , G02B1/10 , G02B1/118 , G02B1/14 , G02B1/18 , G02B1/12
Abstract: 本发明涉及一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口制造方法,包括金刚石窗口基体及其表面经表面处理得到的微纳结构;制造方法包括:基底植晶、多热丝薄膜生长、金刚石基体分离、表面结构制备等步骤。其优点是,红外透光率高,耐沙尘、雨水侵蚀,机械性能优异,抗热冲击性能好。
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公开(公告)号:CN212293737U
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN202021333436.X
申请日:2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本实用新型的设备,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN216998568U
公开(公告)日:2022-07-19
申请号:CN202220377044.6
申请日:2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域,具体地说,涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体,设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室,进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀,设备箱体内底面等距设有若干滑轨,滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀,提高镀膜质量;拉丝更长可以达到更大面积的镀膜;一次拉丝可连续进行多次镀膜,大大减少浪费,延长热丝的使用寿命;并实现批量化生产;其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组,达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果,提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号:CN213411555U
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN202022134426.X
申请日:2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于金属表面处理技术领域,具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备,包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置;所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成,所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备,集成抛光处理,化学处理,喷砂处理,将化学处理和物理处理有机结合,成本远远低于等离子刻蚀技术;有效增加基片的表面粗糙度,增加电极水处理面积;提高薄膜与基底的结合性能,延长电极使用寿命,降低电极使用成本。
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公开(公告)号:CN216947203U
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202220058946.3
申请日:2022-01-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种使用寿命长的BDD水处理电极制备装置,涉及BDD水处理电极制备领域,包括框架,框架的内部下方分别设置有渗碳器、电子束蒸发镀膜机和化学气相沉积设备,渗碳器的内部下方安装有电加热板,渗碳器的顶部设置有取出组件,取出组件包括有安装于框架内部上方的两个电机。本实用新型可增加薄膜层数,有效遏制裂纹产生和延伸,提高电极的整体稳定性;同时有效的降低现有铌基BDD电极的成本,使其能够更广泛的应用;且合理的利用热膨胀系数材料设计,降低使得薄膜更加与基底匹配,降低了热应力,并巧妙的形成Ti与TiC,TiC与NbC,NbC与Nb,Nb与NbC,NbC与BDD界面关系,形成多层结构有效防止失效区域蔓延。
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公开(公告)号:CN218688198U
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202222360738.1
申请日:2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型涉及水处理技术领域,具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜;所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔;所述多孔金属基底的厚度为1‑2mm。本实用新型将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域,采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜,并提供一种电催化膜组件,打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈,处理效率大幅度提高,能耗显著降低。
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