一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备

    公开(公告)号:CN212293737U

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202021333436.X

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本实用新型的设备,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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