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公开(公告)号：CN114487030B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210320933.3
申请日：2022-03-30
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/07
Abstract: 本发明涉及电导率测量电极制备技术领域，具体公开了一种基于丝网印刷的高精度海洋电导率测量电极制造方法，包括如下步骤：利用飞秒激光技术在金属材料薄片上切割出微纳米级阵列孔，得到丝网印刷网版；将纳米铂粉、金属粉末、金属氧化物和有机载体混合研磨，将残余空气排出，制得铂电极浆料；在硅基基片表面刻蚀凹槽，并进行氮化处理作为电极载体；利用丝网印刷网版和刮板将铂电极浆料印刷到电极载体上，并将凹槽外的浆料刮除，流平后在鼓风干燥箱中干燥，最后进行微波烧结，得到电导率测量电极。本发明的方法可实现高精度，制备时效短，电极不易脱落的电导率测量电极的制备，满足现阶段海洋观测网对于电导率传感器的大批量高精度的应用需求。
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公开(公告)号：CN112458429B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202011261303.0
申请日：2020-11-12
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/01 , C23C16/02 , C23C16/56 , G02B1/10 , G02B1/118 , G02B1/14 , G02B1/18 , G02B1/12
Abstract: 本发明涉及一种耐砂蚀雨蚀金刚石红外窗口制造方法，包括金刚石窗口基体及其表面经表面处理得到的微纳结构；制造方法包括：基底植晶、多热丝薄膜生长、金刚石基体分离、表面结构制备等步骤。其优点是，红外透光率高，耐沙尘、雨水侵蚀，机械性能优异，抗热冲击性能好。
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公开(公告)号：CN112423411A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011239434.9
申请日：2020-11-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及一种产生均匀曲面温度场的电热装置，包括金属镂空壳层电极、电流接线柱、曲面基台、旋转支撑机构，所述金属镂空壳层电极包括偶数跟首尾相连的栅型结构和两个相邻的电流栅板，所述电流栅板由电流接线柱接入外电路，所述曲面基台布置在金属镂空壳层电极下方，所述曲面基台内表面设有水冷通道并与带动其转动的旋转支撑机构相连。其优点在于，镂空壳层电极与曲面基台均采用一体化设计，机械加工难度小，加工精度高，批量加工的一致性优异。
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公开(公告)号：CN216947203U
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202220058946.3
申请日：2022-01-11
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种使用寿命长的BDD水处理电极制备装置，涉及BDD水处理电极制备领域，包括框架，框架的内部下方分别设置有渗碳器、电子束蒸发镀膜机和化学气相沉积设备，渗碳器的内部下方安装有电加热板，渗碳器的顶部设置有取出组件，取出组件包括有安装于框架内部上方的两个电机。本实用新型可增加薄膜层数，有效遏制裂纹产生和延伸，提高电极的整体稳定性；同时有效的降低现有铌基BDD电极的成本，使其能够更广泛的应用；且合理的利用热膨胀系数材料设计，降低使得薄膜更加与基底匹配，降低了热应力，并巧妙的形成Ti与TiC，TiC与NbC，NbC与Nb，Nb与NbC，NbC与BDD界面关系，形成多层结构有效防止失效区域蔓延。
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公开(公告)号：CN212293737U
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202021333436.X
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本实用新型的设备，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208537079U
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201821229095.4
申请日：2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面，且位于应力腔的正上方；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；所述防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN218688198U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222360738.1
申请日：2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型涉及水处理技术领域，具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜；所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔；所述多孔金属基底的厚度为1‑2mm。本实用新型将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域，采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜，并提供一种电催化膜组件，打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈，处理效率大幅度提高，能耗显著降低。
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公开(公告)号：CN210620336U
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201921286895.4
申请日：2019-08-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于薄膜电极技术领域,涉及一种硼掺杂金刚石薄膜电极。一种新型栅格硼掺杂金刚石薄膜电极，包括基底层和硼掺杂金刚石薄膜；所述硼掺杂金刚石薄膜沉积在所述基底层的表面，所述的基底层上设有若干呈阵列分布的下沉栅格。本实用新型的薄膜电极，与现有产品相比，具有的有益效果是：（1）栅格倒角的存在，能够释放薄膜的内应力，提高薄膜与基底层的结合力，增强电极的稳定性；（2）特殊的栅格结构，能够增加水流阻力，有利于抵抗水流的冲蚀；（3）栅格的存在，使电极表面凸凹不平，与相同规格的平面电极相比，能够增加约4%的有效工作面积，提高污水处理速率。
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公开(公告)号：CN210340569U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201920810484.4
申请日：2019-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C02F9/06 , C02F101/20 , C02F101/30
Abstract: 本实用新型公开了一种基于金刚石薄膜的饮用水净化系统，该净化系统包括依次连接的前置PP棉装置、金刚石截流膜装置、金刚石薄膜净水装置和后端活性炭装置，所述金刚石截流膜装置与电源阴极相连以去除重金属离子，所述金刚石薄膜净水装置与电源阴极和阳极相连，产生臭氧进行水质净化和灭菌，所述金刚石薄膜净水装置的底部通过反冲管路和反冲泵连接金刚石截流膜装置，所述金刚石截流膜装置底部连接废水通道和阀门，所述后端活性炭装置与电源阴极相连以去除残留的臭氧，本实用新型所公开的净化系统可以有效净化饮用水，提高净化效率和净化效果，并且具有使用寿命长的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN216998568U
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202220377044.6
申请日：2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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