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公开(公告)号：CN1815646B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510066849.X
申请日：2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号：CN100573771C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200710007380.1
申请日：2007-01-31
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的表面；一对固定接触电极，与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的所述表面；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜以所述可移动部的所述表面为基准的厚度比所述可移动接触电极膜小。所述固定驱动电极与所述固定部接合，且所述固定部与所述基部接合。本发明的微开关器件适于减小驱动电压和降低插入损失。
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公开(公告)号：CN100492575C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510108574.1
申请日：2005-10-12
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: 一种微型开关元件，包括基础基板、连接到该基础基板的固定部、及包括固定到该固定部的固定端的活动部。该活动部由该固定部通过具有一对闭合端的狭槽围绕。该活动部包括第一表面和第二表面。该第一表面朝向该基础基板，并且该第二表面与该第一表面相对。该微型开关元件还包括活动接触部，其设置于该活动部的第二表面上；以及一对固定接触电极，每个固定接触电极包括朝向该活动接触部的接触表面。该固定接触电极连接到该固定部上。
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公开(公告)号：CN100411076C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN03826489.7
申请日：2003-05-20
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42
Abstract: 电接点装置(X1)具有：第一接触件，其具有接点部(C1、C2)；第二接触件，其具有与接点部(C1)相对向的接点部(C3)及与接点部(C2)相对向的接点部(C4)；电路结构(Y1)，其并列设置有支路(YA)和支路(YB)，支路(YA)含有由接点部(C1、C3)构成的电接点(SA)，且在电接点(SA)的关闭状态下具有相对低的电阻，支路(YB)含有由接点部(C2、C4)构成的电接点(SB)，且在电接点(SB)的关闭状态下具有相对高的电阻。在第一接触件以及第二接触件接近的闭合动作中，在接点部(C2)与接点部(C4)接触之后，接点部(C1)与接点部(C3)接触。在第一接触件以及第二接触件分开的打开分离动作中，在接点部(C1)和接点部(C2)分离之后，接点部(C2)与接点部(C4)分离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101224866A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710196911.6
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H47/325 , H01H59/0009
Abstract: 一种微开关器件包括设置在可移动支撑件上的可移动电极，该可移动支撑件具有固定到固定件的端部。该微开关器件也包括第一和第二固接电极。可移动电极包括第一和第二接触部分。第一固接电极包括与可移动电极的第一接触部分相对的第三接触部分。第二固接电极包括与可移动电极的第二接触部分相对的第四接触部分。第一与第三接触部分之间的距离小于第二与第四接触部分之间的距离。开关器件还包括驱动机构，该驱动机构具有在可移动支撑件上设置的驱动力生成区域。驱动力生成区域的重心距第二接触部分比距第一接触部分更近。
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公开(公告)号：CN100343949C
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200410069883.8
申请日：2004-07-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B2201/016 , B81B2203/0127 , B81C1/00142 , B81C2201/0109
Abstract: 一种用于制造微开关元件的方法。该开关包括一衬底、两个固定到衬底的支撑构件、以及一桥接在支撑构件之间的活动梁。该梁包括一隔膜，一活动接触电极以及一活动驱动电极，活动接触电极和活动驱动电极都设置在隔膜上。该开关元件也包括一对面向活动接触电极的固定接触电极、以及一固定驱动电极，其与活动驱动电极一起用于产生静电力。该方法包括在衬底上制造牺牲层的步骤、在牺牲层上制造隔膜的步骤、以及通过隔膜介入蚀刻牺牲层的步骤，以便在衬底和隔膜之间牺牲层的剩余部分形成为支撑构件。
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公开(公告)号：CN1815646A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200510066849.X
申请日：2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
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公开(公告)号：CN1771572A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03826489.7
申请日：2003-05-20
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42
Abstract: 电接点装置(X1)具有：第一接触件，其具有接点部(C1、C2)；第二接触件，其具有与接点部(C1)相对向的接点部(C3)及与接点部(C2)相对向的接点部(C4)；电路结构(Y1)，其并列设置有支路(YA)和支路(YB)，支路(YA)含有由接点部(C1、C3)构成的电接点(SA)，且在电接点(SA)的关闭状态下具有相对低的电阻，支路(YB)含有由接点部(C2、C4)构成的电接点(SB)，且在电接点(SB)的关闭状态下具有相对高的电阻。在第一接触件以及第二接触件接近的闭合动作中，在接点部(C2)与接点部(C4)接触之后，接点部(C1)与接点部(C3)接触。在第一接触件以及第二接触件分开的打开分离动作中，在接点部(C1)和接点部(C2)分离之后，接点部(C2)与接点部(C4)分离。
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公开(公告)号：CN1661769A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200410069883.8
申请日：2004-07-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B2201/016 , B81B2203/0127 , B81C1/00142 , B81C2201/0109
Abstract: 一种用于制造微开关元件的方法。该开关包括一衬底、两个固定到衬底的支撑构件、以及一桥接在支撑构件之间的活动梁。该梁包括一隔膜，一活动接触电极以及一活动驱动电极，活动接触电极和活动驱动电极都设置在隔膜上。该开关元件也包括一对面向活动接触电极的固定接触电极、以及一固定驱动电极，其与活动驱动电极一起用于产生静电力。该方法包括在衬底上制造牺牲层的步骤、在牺牲层上制造隔膜的步骤、以及通过隔膜介入蚀刻牺牲层的步骤，以便在衬底和隔膜之间牺牲层的剩余部分形成为支撑构件。
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