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公开(公告)号:CN102792227B
公开(公告)日:2014-11-12
申请号:CN201180013398.7
申请日:2011-01-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/1333 , G03F7/004 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/136227 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3246 , H01L27/3258
Abstract: 本发明的目的在于提供一种正型感光性树脂组合物,其可以形成具有高感度、可以抑制显影时的残渣的发生、且具有平滑性优异的表面的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于,含有成分A:具有式(1)表示的构成单元、具有酸性基团的构成单元、和具有交联性基团的构成单元的树脂,以及成分B:具有肟磺酸酯基的产酸剂,式(1)中,R1表示氢原子或烷基,L1表示羰基或亚苯基,R21~R27分别独立地表示氢原子或烷基。
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公开(公告)号:CN103226290A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201310037511.6
申请日:2013-01-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明的目的为提供硬化后的基板密接性优异、可抑制图案热流动的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机电致发光显示装置及液晶显示装置。本发明的感光性树脂组合物的特征在于含有(成分A)满足下述(1)或(2)的成分、(成分B)光酸产生剂、(成分C)具有1个以上8个以下酸基被酸分解性基保护而成的残基的分子量为130以上且小于1,000的化合物及(成分D)溶剂。(1)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。(2)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元的聚合物及包含(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。
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公开(公告)号:CN103080839A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180041965.X
申请日:2011-08-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/73 , C07D307/78 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/1333 , G03F7/039 , H05B33/22
CPC classification number: C07D307/78 , C07C309/00 , C07C2602/08 , C07C2603/16 , C07C2603/18 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/133345 , G02F1/136227 , G02F2202/02 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H05B33/22
Abstract: 本发明的目的为提供一种高感度且固化膜的透明性优良、显影宽容度广的感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的固化膜的形成方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有以式(1)表示的肟磺酸酯化合物、具有在酸的作用下分解并生成羧基或酚性羟基的酸分解性基团的结构单元的树脂、以及溶剂。R1表示烷基、芳基或杂芳基,R2各自独立地表示氢原子、烷基、芳基或卤素原子,Ar1表示邻亚芳基或邻杂亚芳基,X表示O或S,n表示1或2。在存在2个以上的R2之中,至少1个为烷基、芳基或卤素原子。
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公开(公告)号:CN102792227A
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201180013398.7
申请日:2011-01-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/1333 , G03F7/004 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: C08F212/14 , C08F220/28 , G02F1/136227 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3246 , H01L27/3258
Abstract: 本发明的目的在于提供一种正型感光性树脂组合物,其可以形成具有高感度、可以抑制显影时的残渣的发生、且具有平滑性优异的表面的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于,含有成分A:具有式(1)表示的构成单元、具有酸性基团的构成单元、和具有交联性基团的构成单元的树脂,以及成分B:具有肟磺酸酯基的产酸剂,式(1)中,R1表示氢原子或烷基,L1表示羰基或亚苯基,R21~R27分别独立地表示氢原子或烷基。
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