公开(公告)号：CN113917796A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110623.0

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  王继尧 ,  郑健 ,  王辉 ,  李昌其 ,  赵鹏越 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动台在Z向上做精密移动，提高了工件台在Z向上的精密运动控制，满足光刻机在微动台移动中的精度需求。

公开(公告)号：CN113917792A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110517.2

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  王继尧 ,  吴剑威 ,  郑健 ,  李昌其 ,  赵博 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种工件台移动装置，其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构，工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动，与支撑面没有接触摩擦，相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响，保证了工件台的定位精度，降低了工件台移入移出过程中的控制难度；其次，本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式，将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离，进一步提高了工件台移入移出的效率，操作较为方便，实现了大质量、大体积工件台的长距离运动，降低了工件台跌落损毁的可能性。