基于催化温阻峰位信号的气体传感器及气体检测方法

    公开(公告)号:CN114994146B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202210553654.1

    申请日:2022-05-20

    Inventor: 张顺平

    Abstract: 本发明公开了一种基于催化温阻峰位信号的气体传感器及气体检测方法,属于气体传感器技术领域,传感器包括:微热板单元、气敏膜、催化膜和处理单元;微热板单元包括绝缘基底以及设置在绝缘基底上的加热电极、测温电极和测量电极,气敏膜涂覆在测量电极表面,催化膜包覆气敏膜;处理单元控制加热电极加热,使得催化膜的温度以设定速度在预设温度区间内周期变化,以相应改变催化膜对被测气体中目标气体的催化速率,气敏膜的阻值与催化速率相关;处理单元根据测温电极反馈的温度以及测量电极反馈的阻值,计算升降温阶段同一温度下电阻的比值,并在计算得到大于设定阈值的比值时,判定检测到目标气体。提高气体选择性,从而提高气体检测准确度。

    一种催化膜-气敏膜叠层结构的MEMs气体传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN118425245A

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202410470398.9

    申请日:2024-04-18

    Inventor: 张顺平

    Abstract: 本发明属于传感器相关技术领域,并公开了一种非接触式的催化膜‑气敏膜叠层结构的MEMs气体传感器及制备方法。该传感器包括管壳、上盖、气敏膜、催化膜、悬臂式微热板和悬膜式微热板,管壳和上盖形成空腔,气敏膜、悬臂式微热板、催化膜、悬膜式微热板设置在空腔中,微热板下方设置悬空垫片,该悬空垫片使得微热板被垫高中间悬空,气敏膜附着在悬臂式微热板的测量电极上,催化膜附着在悬膜式微热板中心打孔区域;待测气体从上盖进入传感器腔室,依次经过催化膜和气敏膜,催化膜与待检测气体先发生反应,再在气敏膜表面检测到信号变化,本发明实现了对待测气体的高选择性检测,提升了器件工艺一致性,降低了成膜工艺难度,保证了器件的长期稳定性。

    一种超高硬度碳化硼陶瓷材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN116354726A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310274431.6

    申请日:2023-03-20

    Abstract: 本发明公开一种超高硬度碳化硼陶瓷材料及其制备方法,该超高硬度碳化硼陶瓷材料的原料成分为B4C粉末和Ti6Al4V粉末,B4C粉末的体积百分比含量为95~99.5%,Ti6Al4V粉末的体积百分比含量为0.5~5%。其制备方法包括以下步骤:A、粉末混合:将B4C粉末和Ti6Al4V粉末按比例进行行星球磨混合,球磨介质为氧化锆球和无水乙醇;B、放电等离子烧结:将球磨后的混合粉体放入石墨模具中,再将石墨模具放入放电等离子烧结腔体中进行烧结即得到超高硬度碳化硼陶瓷材料,待冷却后将超高硬度碳化硼陶瓷材料从石墨模具中取出。本发明克服了现有对于碳化硼陶瓷的致密化问题,成功制备出超高硬度碳化硼陶瓷材料。

    一种大规模阵列气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113358701B

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202110622565.3

    申请日:2021-06-04

    Inventor: 张顺平

    Abstract: 本发明属于气体传感器相关技术领域,其公开了一种大规模阵列气体传感器及其制备方法,所述传感器从下到上依次包括基底、信号电极阵列、中层绝缘层、测量电极阵列、顶层绝缘层、电极材料阵列以及一气敏膜,其中:信号电极阵列、测量电极阵列以及电极材料阵列的阵列单元相同,测量电极阵列中一半数量的阵列单元分别与电压供给端连接且每一连接支路上设置有开关,另一半数量的阵列单元分别与接地端连接且每一支路上设置有开关;电极材料阵列的阵列单元中各阵列单元的材料组分互不相同;气敏膜覆盖于电极材料阵列表面。本申请通过电极材料均不相同的阵列单元与同一气敏膜可以实现多种不同的气敏膜‑电极界面信号,进而可以实现对多种气体的精准识别。

    一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法

    公开(公告)号:CN110361436B

    公开(公告)日:2020-08-18

    申请号:CN201910629988.0

    申请日:2019-07-12

    Inventor: 张顺平

    Abstract: 本发明属于半导体传感器气敏检测领域,并具体公开了一种梯度叠层阵列、制备方法及气体多组分浓度检测方法,该梯度叠层阵列包括从上至下依次布置的至少两个微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件,各微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件上的微孔过滤膜的孔径从上至下依次减小;其制备方法包括:先制备不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件,然后将不同孔径的微孔过滤膜/半导体气敏膜叠层器件按照孔径由大到小的规律从上至下依次布置;上述制备方法制备的梯度叠层阵列可用于气体多组分浓度的检测。本发明可实现已知多组分气体的各组分浓度的检测,具有检测快速准确、适用范围广等优点。

    多孔网络结构MOS气体传感器阵列的制造方法

    公开(公告)号:CN103293186A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201310172959.9

    申请日:2013-05-10

    Abstract: 本发明公开一种多孔网络结构的MOS气体传感器阵列的制备方法,是基于牺牲模板在同一个芯片上原位制造基于多个不同具有多孔网络结构的MOS传感器元件的气体传感器阵列的方法。它是一种材料器件一体化的制备方法,其制备过程,包括了丝网印刷,微滴注和煅烧工艺,利用CNTs模板材料韧性较好不易机械破坏和容易热处理去除的特点,在元件表面作为牺牲模板,可以在芯片表面原位制备拥有多孔网络结构的敏感材料,并保证敏感材料的特殊多孔网络结构不被破坏,使多孔网络结构敏感材料的优异敏感性能得到充分发挥。本方法所得到的传感器阵列响应快,并具有较好选择性,用于测试包括甲醛、甲醇、甲苯、氨气等多种气体及其浓度。

    一种气氛环境下材料光电流谱高通量测试装置

    公开(公告)号:CN102680434A

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201210151750.X

    申请日:2012-05-16

    Abstract: 本发明属于材料性能分析测试技术,可以测试多种材料在气氛中的光电流性能,为评价材料在光激发下的气敏性能以及评价材料的光电催化性能提供依据。本发明方法由光源部分、环境控制组件、测试腔、信号采集部分和控制部分组成。本发明方法测试多种材料在特定环境中、全光谱范围内光电流变化,为材料光电响应最佳响应范围和材料本征以及缺陷能级与含量的确定提供依据。本发明方法具有可控环境多,系统自动化程度高,单次测试样本多的特点。

    一种金属氧化物气敏元件阵列的封装结构及其封装方法

    公开(公告)号:CN102636520A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201210006509.8

    申请日:2012-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种金属氧化物气敏元件阵列的封装结构及其封装方法。丝网印刷得到的金属氧化物气敏元件阵列基片,通过卡扣的方式固定在金属撑架上。金属撑架通过粘结方式固定在TO基座或电路板上,实现阵列基片的悬挂。最后,阵列基片上的信号电极与TO基座或电路板上的电极连接,实现信号的引出。本发明中的金属氧化物气敏元件阵列的封装结构,该结构热功耗小,工艺简单,机械稳定性好,且能够以传感器基座或电路板等各种形式为基座,更节省空间,更方便的实现各种功能化的模组电路,具有非常大的市场应用价值。

    一种气相光催化反应器
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101874979B

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN200910273087.9

    申请日:2009-12-04

    Abstract: 本发明公开了一种气相光催化反应器,包括动力腔、检测腔、LED光源和至少一个反应腔,动力腔内设计有风扇,检测腔内活动安装的气敏传感器,反应腔的腔体为空心的多面体直棱柱,腔体内放置催化剂,LED光源活动安装在直棱柱的每个侧面,腔体采用透光材料密封;各个腔通过连接管道连接成闭合回路,合回路上开有进气口和出气口。本发明可以方便地调节反应参数,包括更换催化剂种类、改变催化剂表面的光强、改变光源波长、改变催化剂表面积与体系体积的比值,测试不同形态催化剂的光催化性能等,可以在线检测被降解目标污染物浓度,而不需要借助间隔采样的方式来用其它手段检测气体浓度。

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