一种适用于高压气体的压电比例调节阀

    公开(公告)号:CN106015685A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610587115.4

    申请日:2016-07-22

    CPC classification number: F16K31/004

    Abstract: 一种适用于高压气体的压电比例调节阀,包括入口端盖组件、双级柔性铰链位移放大式压电驱动器、阀体、导向片弹簧压环、导向片弹簧、阀杆和阀座;阀体为两端直径不同的空心圆柱体,直径小的圆柱体两端内壁加工有台阶,台阶上设置有导向片弹簧和导向片弹簧压环,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器一侧与阀杆连接,阀杆穿过导向片弹簧后插入阀座中实现密封,双级柔性铰链位移放大式压电驱动器的电缆通过入口端盖组件与外部驱动电压连接,入口端盖组件与双级柔性铰链位移放大式压电驱动器另一侧连接,入口端盖组件与阀体、阀座与阀体通过电子束焊接方式连接在一起。本发明的压电比例调节阀质量轻、流量调节范围大、精度高、抗力学环境能力强。

    一种基于MEMS的压力传感器
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104132767B

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201410360832.4

    申请日:2014-07-25

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的压力传感器,包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理,其作用是感应被测介质的压力,输出与压力信号变化成比例的电信号;信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路,用于给压力敏感芯体供电,同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能,实现高精度的信号调理;基座和外壳提供与管路的接口,并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构,可靠性高,尺寸小,重量轻,适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

    一种基于MEMS技术的热式流量传感器

    公开(公告)号:CN104482971A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201410742115.8

    申请日:2014-12-05

    Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热式流量传感器,其通过发热元件向被测流体散热,并通过测温元件对流体热量进行检测来测量流量。该热式流量传感器包括发热元件、位于发热元件上游侧且离发热元件不同距离的两组测温元件、对称布置在发热元件下游侧的两组测温元件、以及相应的加热控制电路和信号检测电路。本发明的热式流量传感器同时具有高灵敏度和宽量程的特点,与传统的热式流量传感器相比能实现更高的灵敏度和更宽的量程,并且利用微电子机械加工技术制作,具有压力损失小、热响应速度快、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点。

    一种适用于多压力工况下的隔离式电磁比例平衡阀

    公开(公告)号:CN108426070B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201810165754.0

    申请日:2018-02-28

    Abstract: 一种适用于多压力工况下的隔离式电磁比例平衡阀,包括包括磁路平衡装置和压力平衡装置;磁路平衡装置包括外导磁体、线包、隔磁环、静铁心、主弹簧、导磁盖、比例磁环、衔铁、定位弹簧、压紧环,压力平衡装置包括阀体、阀杆、阀芯、导流环、底盖、大密封圈、中密封圈和小密封圈,该阀门采用大漏磁磁路和比例磁环设计,使得电磁阀的电磁力能够近似线性的增长,实现与弹簧力的平衡,保证衔铁受力平衡和稳定,同时在液路上采用平衡压力设计使介质静压、动压可以被相互抵消,使衔铁受力状态与压力无关,不仅可以提高工作压力范围,也能适应于压力变化和波动的特殊工况。

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