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公开(公告)号：CN108757361A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810455142.5
申请日：2018-05-14
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域，该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后，采用键合方法将上盖片、基底组装在一起，最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热，使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体，并在微腔内形成高压，气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。
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公开(公告)号：CN108725846A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810414345.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种感应加热的液体蒸发型微推进器及其制备方法。微推进器包括腔体层、上盖片、基底、金属加热盘、上PCB板、下PCB板、励磁线圈Ⅰ和励磁线圈Ⅱ；其中，腔体层上制作的结构包括微流道、收缩口、加热蒸发腔和拉瓦尔喷口；具体为一种利用电磁感应加热液体，使液体在加热腔内汽化，腔内的压力增大，高压气体从微喷嘴高速喷出产生推力，进而使微推进器获得相反方向的驱动力。微推进器对于实现微卫星的位置保持、姿态控制、引力补偿、轨道调整等方面起着极其重要的作用，属于航空、航天、微推进技术和微机械领域。
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公开(公告)号：CN103016287B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201210594012.2
申请日：2012-12-31
Applicant: 北京工业大学
IPC: F03G7/06
Abstract: 感应加热相变式微喷驱动器，属于微型驱动器领域。线圈（3）缠绕在驱动器壳体（1）的外周，绝缘漆（2）包裹在驱动器壳体（1）和线圈（3）的外周；加热芯（6）安装在驱动器壳体（1）的内腔（8）中；加热芯（6）的两端与线圈（3）的两端对齐；所述的电源模块一（10）给脉冲发生器（11）供电，脉冲发生器（11）产生的高频脉冲供给继电器（12）；电源模块二（16）给单片机系统（15），单片机系统（15）与继电器（12）的控制端相连通；所述的电路输出端子一（13）与线圈端子一（4）相连通；电路输出端子二（14）与线圈端子二（5）相连通。本发明以汽、液混合体爆破式喷射作为驱动力,使驱动器产生向前的运动。
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公开(公告)号：CN103182350A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201310090262.7
申请日：2013-03-20
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种电磁感应热发泡式微喷系统，属于微流体和微制造领域。采用两端开口内径为100‐300μm的微细玻璃管制成一端开有内径为10‐80μm微喷嘴的喷管；喷管的另一端与液体供应管相连，储液池由底部端面上开有小孔的容器制成，液体供应管连接储液池底部小孔与微喷嘴之间；用细铜线在喷管外侧轴向中间位置绕制感应线圈制成电磁感应线圈；采用外径100‐300μm，内径可选为20～250μm。微细钢管安装于喷管绕制感应线圈位置的内部，用作加热芯。本发明采用电磁感应加热器件进行加热，热量主要集中在加热芯上，喷管工作温度低；加热芯位于液体内，热量损失小，加热效率高；生成气泡大小可通过改变电磁感应加热电压、频率、加热时间等参数进行调节，容易控制。
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公开(公告)号：CN101547529A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910083734.X
申请日：2009-05-08
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种加热器，具体为一种微型感应加热器。包括基底、第一绝缘层、线圈、加热盘等。第一绝缘层附着在基底上，线圈端子二引出线附着第一绝缘层上。第二绝缘层覆盖于第一绝缘层和线圈端子二引出线之上，在第二绝缘层上开有线圈中心贯通孔和线圈端子二引出线贯通孔。线圈生长在第二绝缘层上，线圈的中心连接点与线圈端子二引出线相连，线圈端子二引出线与线圈端子二相连。第三绝缘层覆盖于线圈之上并开有线圈端子二引出孔和线圈端子一引出孔，线圈端子二穿过线圈端子二引出孔，与线圈的另一个连接点相连接的线圈端子一穿过线圈端子一引出孔。加热盘附着在第三绝缘层上。本发明具有加热速度快、加热温度高、能量损失小等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115212936B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202210765266.X
申请日：2022-07-01
Applicant: 北京工业大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 超声激励的运动方向可调的微机器人及其原位制备芯片属于微纳驱动领域。所述超声激励的运动方向可调的微机器人包括微机器人主体、柔性尖锐尾部Ⅰ、柔性尖锐尾部Ⅱ和头部捕获口。所述微机器人主体采用椭圆形轮廓流线型设计，在微机器人主体的一端连接两个成一定夹角(β)的柔性尖锐尾部，分别是柔性尖锐尾部Ⅰ和柔性尖锐尾部Ⅱ；在微机器人主体的另一端有头部捕获口。本发明所述微机器人及其原位制备芯片的生物兼容性良好，可广泛应用于生物医学、化学分析等领域，满足靶向送药及原位制造微器件存储等应用需求。
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公开(公告)号：CN109354393B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201811342643.9
申请日：2018-11-12
Applicant: 北京工业大学
IPC: C03B23/049 , C03B23/043 , C03B23/045
Abstract: 本发明公开了一种用于收缩扩张式玻璃微喷管的成型加工装置，属于微加工、微制造领域。该装置包括机身部分、夹持部分、加热部分、挤压头进给部分和尾部托架部分。该装置能够在一定的旋转速度下，通过加热、挤压等方式将均匀直径的微玻璃管加工成具有收缩扩张的微喷管形状。具体地，本发明通过电阻加热丝将玻璃管加热，然后挤压加热的玻璃管特定部位，使其特定部位外径变小，从而生产出先收缩后扩张的微玻璃管。本发明能够解决现有技术中玻璃拉制过程中出现的纤维化问题，实现玻璃微喷管收缩部位尺寸的精准控制。
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公开(公告)号：CN111472956A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010301867.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法，属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵，具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵，在微泵内设有微加热盘，微加热盘上设计按一定规则形状排列的凹穴，使凹穴调整热汽泡的生长位置，通过控制热气泡周期性的膨胀和收缩，结合泵腔两侧微流道的阻力不同，最终微泵实现定向泵送。为了提高微泵的可靠性和工作频率，对微泵添加冷却装置，加强微泵在热汽泡收缩阶段的散热能力。本发明提出的微泵可广泛应用于航空航天、生物医学、化学等领域。
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公开(公告)号：CN111462591A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010330884.2
申请日：2020-04-24
Applicant: 北京工业大学
IPC: G09B21/00
Abstract: 感应加热的相变盲文点显器属于医疗、微驱动器和微机电系统(MEMS)领域，具体采用微加工技术制作的一种利用高频交变电流产生交变磁场，使位于交变磁场的导电相变复合材料产生电涡流和焦耳热，进而相变材料熔化产生体积膨胀，并使腔内的压力增大，促使弹性薄膜向外突出变形推动驱动针向上移动，驱动针使PDMS薄膜变形而形成凸点的相变盲文点显器。该盲文点显器能够集成到便携式设备中，用于帮助视觉障碍者获取信息。
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公开(公告)号：CN108757361B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201810455142.5
申请日：2018-05-14
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器，属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域，该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后，采用键合方法将上盖片、基底组装在一起，最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热，使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体，并在微腔内形成高压，气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出，微推进器获得相反方向的驱动力。该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。
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