时空融合深度神经网络的锅炉再热器温度偏差预测方法

    公开(公告)号:CN115700330A

    公开(公告)日:2023-02-07

    申请号:CN202211280161.1

    申请日:2022-10-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于时空融合深度神经网络的锅炉再热器温度偏差预测方法。方法包括将传感器采集到的锅炉再热器的过程变量进行归一化处理后,输入到时空融合深度神经网络进行处理进而预测锅炉再热器温度;时空融合深度神经网络主要由用于处理过程变量的空间信息的轻量型网络模块和注意力模块、用于处理过程变量的时序信息的循环模块以及回归模块组成,且轻量型网络模块与注意力模块串联连接后同时与循环模块进行特征融合获得具有时空信息的特征图,将特征图连接到回归模块,进而获取温度偏差预测值。本发明提供了可靠有效的技术支持,具备准确率高、计算成本低,实时预测等特点。

    一种微波等离子体去胶设备

    公开(公告)号:CN113070288B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202110331633.0

    申请日:2021-03-26

    Abstract: 本发明公开了一种微波等离子体去胶设备,包括微波装置、去胶装置、机架,进气法兰、抽气法兰、真空计,所述微波装置包括微波模块、微波屏蔽罩、石英腔,所述去胶装置包括主腔体、转接装置、高密金属网组合件、加热盘、腔门,腔门通过铰链与主腔体相连,主腔体固定在机架上,微波模块与微波屏蔽罩相连,石英腔位于微波屏蔽罩内,通过法兰固定在主腔体上表面,转接装置与石英腔通过法兰相连,进气法兰位于微波屏蔽罩上表面,抽气法兰位于主腔体下表面。将样品放置于加热盘上,关闭腔门,抽真空,充入气体,进行微波等离子体去胶,可根据样品胶量的多少调节到达样品表面的等离子体强度,低损伤、去胶效率高。

    一种微波等离子体去胶设备

    公开(公告)号:CN113070288A

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN202110331633.0

    申请日:2021-03-26

    Abstract: 本发明公开了一种微波等离子体去胶设备,包括微波装置、去胶装置、机架,进气法兰、抽气法兰、真空计,所述微波装置包括微波模块、微波屏蔽罩、石英腔,所述去胶装置包括主腔体、转接装置、高密金属网组合件、加热盘、腔门,腔门通过铰链与主腔体相连,主腔体固定在机架上,微波模块与微波屏蔽罩相连,石英腔位于微波屏蔽罩内,通过法兰固定在主腔体上表面,转接装置与石英腔通过法兰相连,进气法兰位于微波屏蔽罩上表面,抽气法兰位于主腔体下表面。将样品放置于加热盘上,关闭腔门,抽真空,充入气体,进行微波等离子体去胶,可根据样品胶量的多少调节到达样品表面的等离子体强度,低损伤、去胶效率高。

    一种基于图像的大工件圆度测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN112857258A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110382053.4

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于图像的大工件圆度测量装置及其方法,包括机架、用于放置被测工件并设在机架上的可旋转的第一载物台、设在机架上并用于采集被测工件图像信息的图像采集装置、对称设在机架两侧并带动图像采集装置平移的底座运动装置、设在底座运动装置上并测量平移距离的光栅尺,底座运动装置上方设有图像采集装置。测量人员只需将工件旋转一周并采集图像,即可得到圆度值,进而便于工程技术人员判断其是否满足工作要求,本发明可取代传统的测量方式,使大工件的测量更加灵活准确,便于测量和复位。

    一种ALD镀膜设备
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112853317A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110001842.9

    申请日:2021-01-04

    Abstract: 本发明公开了一种ALD镀膜设备,包括进料装置、镀膜装置,所述进料装置包括升降液压缸、密封圆板,电机安装槽,电机,转轴,载料台,样品槽,弹簧,屏蔽罩,弹簧固定板,所述镀膜装置包括外腔体,内腔体,前躯体存储器,导管,匀气圆板,进气法兰,出气法兰,所述升降液压缸安装在外腔体底面,密封圆板固定在升降液压缸的活塞杆上,电机安装槽与密封圆板固定连接,电机固定在电机安装槽内部,电机转子通过联轴器与转轴相连,载料台固定在转轴上,所述前躯体存储器固定在外腔体侧面,进气法兰和出气法兰均安装在外腔体侧面,与外腔体和内腔体侧面的通孔相连。将待镀样品固定在样品槽内部,通过电机旋转依次对样品进行如下循环操作:通入前躯体A,吹扫氮气,通入前躯体B,吹扫氮气,整个镀膜过程高效有序。

    一种真空脱泡装置及方法
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112563166A

    公开(公告)日:2021-03-26

    申请号:CN202011389707.8

    申请日:2020-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种真空脱泡装置及方法,包括进料装置、脱泡装置、温度显示仪,所述进料装置包括水平导轨、竖直导轨、侧面板、驱动液压缸、升降液压缸、双层圆形密封板、输料架,盛料容器、滑动板、压力传感器,所述脱泡装置包括矩形腔体、载料台、底座、加热器、外壳、进气法兰、出气法兰,所述驱动液压缸固定在水平导轨的侧面板上,升降液压缸固定在竖直导轨的水平面板上,将贴合的硅片放置于盛料容器中,在真空和高温环境下去除气泡。整个脱泡过程高效有序,操作简便,实用性强。

    自动去毛刺机系统
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107020419B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201710330266.6

    申请日:2017-05-11

    Abstract: 本发明公开了一种自动去毛刺机系统。自动去毛刺机包括底座、前后推进组件、左右步进组件和旋转传动组件,旋转传动组件固定在底座一侧顶面,旋转传动组件上安装工件,底座另一侧顶面上设有导轨,前后推进组件置于底座的导轨上,前后推进组件上安装左右步进组件,左右步进组件上安装刀头;通过旋转传动组件带动工件绕自身旋转,通过前后推进组件、左右步进组件带动刀头水平移动到工件处进行去毛刺。本发明以伺服电机控制为核心实现自动精准去除毛刺的过程,适用于各类小型零件,克服了现有手动去毛刺的准确度度低、效率低等问题,具有操作简便、准确度高、速度快捷等优点。

    圆柱度检测装置及其偏心校准方法

    公开(公告)号:CN109696138A

    公开(公告)日:2019-04-30

    申请号:CN201910156873.4

    申请日:2019-03-01

    Abstract: 本发明公开了圆柱度检测装置及其偏心校准方法。工作台上安装旋转组件和垂直传动组件,旋转组件位于垂直传动组件的正上方,被测圆柱器件放置在垂直传动组件并由垂直传动组件带动上下运动,旋转组件对被测圆柱器件进行检测。三位气缸启动带动三爪卡盘上下升降以调整距离,伺服电机驱动光谱共焦探头绕旋转中心旋转,记录任一旋转角度下距离被测圆柱器件上表面边缘处的第一距离值,将光谱共焦探头旋转180°,测量第二距离值,重复测量得到多组测量值,得到每组测量值对应的旋转半径,提取高斯分布的峰值所对应的旋转半径数值作为最终旋转半径,由此对待检测的圆柱器件的半径进行修正。本发明操作简单,装夹方便,测量精度高。

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