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公开(公告)号：CN106500682A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610891762.4
申请日：2016-10-12
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成所述检测梳齿结构。
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公开(公告)号：CN105277741A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201410340386.0
申请日：2014-07-16
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 一种MEMS横向加速度敏感芯片，包括框架，设置在所述框架内的质量块，以及用于连接所述框架及所述质量块的弹性梁，所述质量块上形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架上形成有第二连接部，所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部；所述凹陷部上方设置有多组梳齿结构；每组所述梳齿结构包括从所述第一连接部延伸出的活动梳齿以及从所述第二连接部延伸出的固定梳齿；所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成有活动间隙，所述活动间隙形成差分检测电容，本横向加速度敏感芯片有机结合了平板式和梳齿式加速度计的优点，实现同时具有大质量块，大电容，低阻尼，高灵敏度横向加速度计。
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公开(公告)号：CN104297521A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310304676.5
申请日：2013-07-19
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合结构；所述质量块在水平方向上移动，所述梳状耦合结构用于检测水平方向上的加速度。本加速度计对水平方向上的加速度检测精度高，而且制作工艺简单，对盖板的材料要求低。
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公开(公告)号：CN202815009U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220488617.9
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本实用新型采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本实用新型的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本实用新型的稳定性。此外，本实用新型的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。
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公开(公告)号：CN202815008U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220488378.7
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。
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