公开(公告)号：CN107340688B

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN201710233535.7

申请日：2017-04-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  金相泰 ,  成始震

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有选自由特定化学式组成的组中的至少一种重复单元的聚合物和溶剂，从而能够形成具有优异的耐热性、高温耐热性及涂覆均匀性的抗蚀剂下层膜(硬掩模)。更详细而言，所述聚合物包含选自由下述化学式1‑1和化学式1‑2组成的组中的至少一种重复单元，下述化学式1‑1中，Ar1及Ar2各自独立地为碳原子数6～20的芳香族烃基，或者Ar1为氢原子且Ar2为碳原子数1～25的烃基，Ar1和Ar2可彼此连结而形成5～7元环，n为1～3的整数；下述化学式1‑2中，Ar3为4～20的亚芳基。

公开(公告)号：CN109143781B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201810469998.8

申请日：2018-05-16

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  李殷相 ,  崔相俊

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供硬掩模用组合物及图案形成方法，所述硬掩模用组合物包含：含有咔唑单元与芴单元结合而成的重复单元的聚合物、以及溶剂。使用硬掩模用组合物可以形成耐蚀刻性得到提高的硬掩模。

公开(公告)号：CN109143782B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201810482174.4

申请日：2018-05-18

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 梁敦植 ,  金烔永 ,  李殷相 ,  崔汉永 ,  崔相俊

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供硬掩模用组合物及图案形成方法，所述硬掩模用组合物包含：具有来源于碳原子数6～40的芳香族化合物的芳香族单元与来源于含有脂肪族不饱和基团的缩醛化合物的脂肪族不饱和单元结合而成的重复单元的聚合物、及溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成耐热性、耐蚀刻性、涂布性同时提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN107340687B

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN201710220902.X

申请日：2017-04-06

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  金相泰 ,  成始震

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明涉及硬掩模用组合物，更详细而言，所述硬掩模用组合物通过包含分子内含有两个以上叔醇基的化合物和溶剂，能够形成耐热性优异的下层膜(硬掩模)。

公开(公告)号：CN109212905B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201810482175.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  金烔永

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/09 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有特定结构的重复单元的聚合物和溶剂。本发明的实施例能够提供平坦度、涂布均匀性、溶解性和耐蚀刻性优异的硬掩模用组合物。

公开(公告)号：CN110275391A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910181558.7

申请日：2019-03-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李殷相 ,  梁敦植 ,  宋寅珏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法。上述感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂、含有二 烷系化合物的显影增强剂和溶剂。通过显影增强剂的作用，能够提高灵敏度和分辨率。

公开(公告)号：CN108227386A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711340198.8

申请日：2017-12-14

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，该硬掩模用组合物包含下述化学式1所表示聚合物和溶剂，下述化学式1所表示聚合物包含含有芘系单元和咔唑系单元中的至少一种的第一单元、以及含有甲苯基或联苯基的第二单元。由该硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高的硬掩模。化学式1中，Ar1表示所述第一单元，Ar2表示所述第二单元，n为2～100的整数。化学式1

公开(公告)号：CN108089406A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711063543.8

申请日：2017-11-02

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，该硬掩模用组合物包含芳香族化合物的聚合物、含有通式1所表示的化合物的交联剂、和溶剂。通式1中，R各自独立地为氢、或碳原子数1或2的烷基，n为2～10的整数。利用该交联剂能够形成耐热性和涂布性同时提高的硬掩模。通式1

公开(公告)号：CN108089405A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711008544.2

申请日：2017-10-25

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，硬掩模用组合物包含芳香族化合物的聚合物、包含通式1所表示的化合物的交联剂、和溶剂。由于该交联剂而能够形成耐热性和涂布性同时被提高的硬掩模，通式1中，n为1～10的整数。通式1

公开(公告)号：CN107526253A

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201710413831.5

申请日：2017-06-05

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有选自由下述化学式1-1和1-2组成的组中的至少一种重复单元的共聚物和溶剂。下述化学式1-1中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R1为碳原子数1～6的烷基或碳原子数6～35的芳基，Ar1、Ar2和R1各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数；下述化学式1-2中，Ar1和Ar2各自独立地为碳原子数6～30的二价芳烃基，R2为氢原子或碳原子数1～6的烷基，Ar1和Ar2各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，n为1～190的整数。