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公开(公告)号:CN106133876A
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201580016327.0
申请日:2015-03-18
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/023 , G03F7/075 , G03F7/42 , H01L21/304 , H01L21/306
CPC classification number: H01L21/0272 , B08B3/08 , B08B7/0057 , G03F7/0233 , G03F7/0757 , G03F7/40 , G03F7/42 , G03F7/423 , G03F7/425 , G03F7/427 , H01L21/0206 , H01L21/266 , H01L21/3081 , H01L21/31058 , H01L21/31111 , H01L21/31116
Abstract: 一种半导体器件的制造方法,其包括下述工序:在基板1上得到含有聚硅氧烷的组合物的图案2a的工序;和在所述基板上形成离子杂质区域6的工序,所述半导体器件的制造方法的特征在于,在所述离子杂质区域的形成工序后,还包括于300~1,500℃对所述图案进行烧成的工序。由此,能够在半导体基板中形成离子杂质区域后将含有聚硅氧烷的组合物的图案2a的固化膜无残渣地容易地除去,因此,能够提高半导体器件制造中的成品率、缩短节拍时间。
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公开(公告)号:CN105122137A
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201480018021.4
申请日:2014-03-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F290/00 , G03F7/004 , G03F7/075 , G06F3/041
Abstract: 本发明的目的在于提供一种兼具能够获得高硬度,透明性、耐湿热性、密合性和耐化学性优异的固化膜,并且涂液的保存稳定性良好,保存中密合性和耐化学性不降低这样的多种性能的能够碱性显影的感光性树脂组合物,提供一种感光性树脂组合物,是含有(A)碱溶性树脂、(D)金属螯合物和(E)硅烷化合物的感光性树脂组合物,上述(A)碱溶性树脂为特定范围的双键当量的碱溶性树脂,上述(D)金属螯合物为特定结构的化合物,上述(E)硅烷化合物为特定结构的四官能硅烷或硅烷低聚物。
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公开(公告)号:CN102667625A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080058514.2
申请日:2010-12-20
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: C08G77/14 , C08G77/70 , C09D183/06 , G03F7/0757
Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物,其特征在于,是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、(c)溶剂的正型感光性组合物,(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率,以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计,为20%~80%,并且包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。通过本发明的正型感光性组合物,可以提供具有高耐热性、高透明性的特性,并且能够以高灵敏度形成高分辨率的图案的正型感光性组合物。此外,可以用于由本发明的正型感光性组合物形成的TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、芯材、包层材等的固化膜、以及具有该固化膜的显示元件、半导体元件、固体摄像元件、光波导等的元件。
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公开(公告)号:CN119894987A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202380066626.X
申请日:2023-09-06
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L101/02 , B32B27/00 , B32B27/18 , C08G73/10 , C08J5/18 , C08K3/013 , C08K5/1515 , C08K5/17 , C08L79/08 , H01L21/683
Abstract: 本发明是以提供即使在‑50℃左右的极低温下也将构件彼此接合的密合性优异,具有高的冷热循环可靠性的膜作为课题而提出的。本发明为一种膜,是含有(SA)粘合剂树脂和(SD)导热性填料的膜,该(SD)导热性填料包含(SD1)第1导热性填料和(SD2)第2导热性填料,该(SD1)第1导热性填料的平均一次粒径为1.0~200μm,该(SD2)第2导热性填料的平均一次粒径为0.010μm以上且小于1.0μm,所述膜的‑50℃下的剪切应变为0.70~20,25℃下的导热率为0.10~5.0W/(m·K)。
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公开(公告)号:CN118923228A
公开(公告)日:2024-11-08
申请号:CN202380029273.6
申请日:2023-03-24
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H10K59/122 , G02B5/20 , G03F7/004 , G09F9/30 , H10K50/816 , H10K50/818 , H10K50/842 , H10K59/173 , H10K59/38 , H10K71/60 , H10K85/10 , H10K102/10
Abstract: 本发明的课题在于提供一种有机EL显示器,在获得所期望的电流密度时,具有能够进行低电压驱动的优异的发光特性,并且兼具发光元件的高可靠性。一种显示装置,具有基板、第一电极、第二电极、像素分割层、包含发光层的有机层,所述显示装置中,像素分割层包含(D‑DL)着色剂,像素分割层的每1μm膜厚的可见光线的波长下的光学浓度为0.5~3.0,在俯视下具有多个像素部,在所述像素部中与所述包含发光层的有机层相接的一侧的所述第一电极的距表面而言深度3nm的位置处,通过飞行时间二次离子质谱法所测定的硫离子(S‑)的检测强度、氯离子(Cl‑)的检测强度、溴离子(Br‑)的检测强度、及氯离子(Cl‑)的检测强度与溴离子(Br‑)的检测强度的总和满足特定的通式所表示的关系。
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公开(公告)号:CN117999515A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202280063717.3
申请日:2022-09-21
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供兼具曝光时的敏感度提高、显影后的开口图案尺寸的窄掩模偏置抑制及优异的半色调特性的感光性组合物、以及能够提高显示装置中的发光元件的可靠性、提高电子部件的耐迁移性的固化膜。为了实现上述目的,本发明的感光性组合物为满足以下的条件(α)或条件(β)的感光性组合物,所述感光性组合物的全部固态成分中的双键当量为600~6,000g/mol。条件(α):含有下述(I)的化合物及/或下述(II)的化合物(I)具有特定的(WA)弱酸性基团及自由基聚合性基团的化合物(II)具有特定的(WA)弱酸性基团的化合物及具有自由基聚合性基团的化合物条件(β):含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物及(C)感光剂
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公开(公告)号:CN114830826A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202080086525.5
申请日:2020-12-11
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H05B33/28 , H05B33/12 , H01L51/50 , H05B33/22 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/075 , G03F7/20 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H05B33/02 , H05B33/10
Abstract: 根据本发明的第一方式的感光性树脂组合物,能抑制高温预烘烤条件下的显影后的残渣、以及抑制显影后的图案剥离。此外,能提供具有可以低电压驱动的优异的发光特性、并且发光元件的可靠性优异的有机EL显示器中合适地具备的固化膜。感光性树脂组合物,其含有(A)碱溶性树脂及(C)感光剂,进一步含有(F1)具有磷原子、及碳原子数为6~30的1~2价的脂肪族基团的化合物,及/或(FB)具有磷原子、及三甲铵乙内酯结构的三甲铵乙内酯化合物。根据本发明的第二方式的有机EL显示器,能提供具有在得到所期望的电流密度时可以低电压驱动的优异的发光特性、并且发光元件的可靠性优异的有机EL显示器。有机EL显示器,其在第1电极的最表层具有至少含铟的透明导电性氧化膜层,从该透明导电性氧化膜层的表面起深度为3nm的位置处的、磷离子(P‑)的检测强度为特定强度。
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公开(公告)号:CN114127638A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202080048657.9
申请日:2020-07-09
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/031 , G03F7/027 , G03F7/037 , G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/038 , G03F7/09 , G03F7/00 , H01L21/77 , H01L27/32
Abstract: 本发明以获得高灵敏度、半色调特性优异、显影后可以形成低锥形形状的图案、且能够抑制热固化后的图案开口部的残渣附着的负型感光性树脂组合物作为目的。一种负型感光性树脂组合物,其含有(A)碱溶性树脂、和作为(C1)光聚合引发剂的2种以上(C1‑1)肟酯系光聚合引发剂,该(C1‑1)肟酯系光聚合引发剂至少包含(C1‑1a)含有稠合多环式骨架的光聚合引发剂、和(C1‑1b)含有稠合多环式杂环骨架的光聚合引发剂,该(C1‑1a)含有稠合多环式骨架的光聚合引发剂包含特定结构,并且该(C1‑1a)含有稠合多环式骨架的光聚合引发剂具有在该稠合多环式骨架上结合了肟酯结构、或肟酯羰基结构的结构,且该(C1‑1b)含有稠合多环式杂环骨架的光聚合引发剂具有在该稠合多环式杂环骨架上结合了肟酯结构、或肟酯羰基结构的结构。
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公开(公告)号:CN112375400A
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN202011297632.0
申请日:2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09B57/12 , C09B57/00 , C09B67/08 , C09B67/46 , C09B5/62 , C09B7/08 , C09B67/22 , G03F7/004 , G03F7/037 , H01L27/32 , H01L51/52
Abstract: 本申请涉及黑色颜料及其制造方法、颜料分散液、感光性组合物及其固化物。本发明提供能够在抑制显影残渣产生的情况下将像素分割层形成图案的黑色颜料。黑色颜料具有:包含(a)选自由苯并二呋喃酮系黑色颜料、苝系黑色颜料、偶氮系黑色颜料及它们的异构体组成的组中的至少一种有机黑色颜料的核;和(b)包含二氧化硅、金属氧化物及/或金属氢氧化物的被覆层。
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公开(公告)号:CN109642089B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201780050820.3
申请日:2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09B67/08 , C09B57/00 , C09B67/20 , C09B67/46 , C09B67/54 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/037 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供能够在抑制显影残渣产生的情况下将像素分割层形成图案的黑色颜料。黑色颜料具有:包含(a)选自由苯并二呋喃酮系黑色颜料、苝系黑色颜料、偶氮系黑色颜料及它们的异构体组成的组中的至少一种有机黑色颜料的核;和(b)包含二氧化硅、金属氧化物及/或金属氢氧化物的被覆层。
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