激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

    激光振荡装置
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110036544A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201780074812.2

    申请日:2017-03-01

    Abstract: 具有:多个激光介质(1、2),它们所发出的激光束的波长不同;衍射光栅(3),其使从多个激光介质(1、2)射入的多个激光束重叠地射出;部分反射镜(4),其对从衍射光栅(3)射出的多个激光束的一部分进行反射而使其返回至衍射光栅(3),使剩余部分透过;以及多个透镜(5、6),它们分别配置于多个激光介质(1、2)的每一个和衍射光栅(3)之间,多个透镜(5、6)各自针对在多个激光介质(1、2)和衍射光栅(3)之间形成的每个光路进行配置,使来自多个激光介质(1、2)的激光束在向衍射光栅(3)的入射面上以同一外径进行重叠。

    激光加工装置
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1286654A

    公开(公告)日:2001-03-07

    申请号:CN97182515.7

    申请日:1997-12-26

    Abstract: 本发明揭示一种激光加工装置,包括变化由激光振荡器输出的激光的方向的偏转装置,以及使由前述偏转装置射入的激光折射而在加工对象工件上成像的聚焦透镜。在这种激光加工装置中,组入根据聚焦透镜温度、使由多片的透镜组成的聚焦透镜的透镜间的相对位置变化的透镜位置调整装置,根据聚焦透镜温度、使多片的透镜间的相对位置变化、以便根据透镜位置调整装置、消除透镜的折射率的温度变化。

    气体激光装置
    40.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205452776U

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201390001204.6

    申请日:2013-12-27

    Abstract: 本实用新型提供一种气体激光装置,其通过使激光通过被放电激发的激光气体,来进行光放大,其具有第1放电电极对(11、12)及第2放电电极对(13、14)、至少2个反射镜(43、44、45、46)和遮蔽部件(51),其中,所述第1放电电极对及所述第2放电电极对沿着激光的光轴排列配置,所述至少2个反射镜隔着由所述第1放电电极对(11、12)规定的第1放电区域(21)及由所述第2放电电极对(13、14)规定的第2放电区域(22)相向配置,对由于激光气体而放大的激光进行反射,所述遮蔽部件设置于所述第1放电电极对(11、12)和所述第2放电电极对(13、14)之间,从放电电极的电极面向激光的光轴突出。采用这种结构,能够以简单的结构来有效抑制寄生振荡。

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