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公开(公告)号：CN105917535A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480073215.4
申请日：2014-12-04
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S5/4012 , G01J1/4257 , G02B6/42 , G02B6/4214 , G02B6/4215 , H01S5/14 , H01S5/4062 , H01S5/4087
Abstract: 一种半导体激光器装置，其具有外部谐振器，该外部谐振器具备下述部件而构成：半导体激光器的发光点(2a、2b)，该半导体激光器射出波长不同的多条光束；耦合光学系统(5)，其将从半导体激光器射出的多条光束在空间上叠加；波长色散元件(6)，其将叠加后的多条光束通过波长色散而叠加为一条光束；以及部分反射镜(7)，其将一条光束的一部分反射而返回至波长色散元件，在该半导体激光器装置中，在将一条光束在波长色散时分离为多条的方向的波长色散元件的宽度设为波长色散元件宽度，将建立了正规振荡时的光束设为正规振荡光束时，波长色散元件宽度是与正规振荡光束的宽度相同的大小。
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公开(公告)号：CN102470481A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200980160034.4
申请日：2009-07-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/36 , B23K26/146
Abstract: 目的在于提供一种在通过激光来对基板上的薄膜进行划线加工的情况下不需要大型的集尘器、大量的清洗液而正确地进行微细的划线加工的激光加工方法以及装置。通过透镜(102)对来自激光光源(160)的激光(101)进行聚光、从配管(111)的窗部(147)导入、在清洗液(112)中进行传播来从喷嘴(113)进行照射，并且以聚光的激光(101)的光轴为大致中心、以不与聚光的激光光束(101)接触的大小的内径设置的喷嘴(113)喷射从液流控制部(170)供给的清洗液(112)来进行划线加工。
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公开(公告)号：CN101617447B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200780045720.8
申请日：2007-12-06
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/08045 , G02F1/353 , G02F1/37 , G02F2001/3503 , G02F2001/3507 , G02F2001/354 , H01S3/08 , H01S3/08072
Abstract: 本发明提供一种固体激光装置，其在具有2个固体激光元件(21、22)的对称谐振器的固体激光元件(21、22)之间，配置焦距为f的2枚凸透镜(61、62)和90度旋光元件(5)，2枚透镜(61、62)的间隔小于2f，各透镜(61、62)与邻接的固体激光元件(21、22)的中心之间的距离大致为f，该固体激光装置可以稳定地进行高输出、优选大于或等于100W的横向单模振荡。另外，还提供一种波长变换激光装置，其还具有Q开关(3)和偏振元件(4)，通过使所输出的基波激光向非线性元件(91、92)入射而进行波长变换，以在高频、优选大约100kHz下得到高输出的高次谐波激光。
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公开(公告)号：CN1601332A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN200410078735.2
申请日：2004-09-17
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01S3/109 , G02F2001/3503 , G02F2001/3505 , G02F2001/354 , H01S3/005 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 本发明提供一种波长变换激光装置，该装置能取得使由波长变换结晶进行波长变换后、从出射窗射出的波长变换激光的出射方向靠近通过波长变换结晶的激光的光轴方向，并且当使波长变换结晶移动时，能减少由波长变换结晶进行波长变换后、从出射窗射出的波长变换激光的光轴偏移。
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公开(公告)号：CN113615014B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN201980094640.4
申请日：2019-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 特征在于，具有：多个半导体激光元件(1011、1012)，其射出波长彼此不同的激光(2001、2002)；部分反射元件(104)，其与多个半导体激光元件(1011、1012)构成外部谐振器的两端；透射型波长色散元件(103)，其在多个半导体激光元件(1011、1012)及部分反射元件(104)之间的激光的光路上，配置于多个激光(2001、2002)重叠起来的位置，具有波长色散性，通过在包含多个激光(2001、2002)的光轴的第1面(XY面)内，使多个激光(2001、2002)的行进方向变化，从而使多个激光共有光轴、进行耦合；以及非对称折射光学元件(105)，其配置于透射型波长色散元件(103)及部分反射元件(104)之间的光路上，与包含于第1面(XY面)且与激光的光轴正交的方向即第1朝向(D1)上的位置变化相伴地，从内部通过的距离即元件内通过距离减少。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113615014A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201980094640.4
申请日：2019-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 特征在于，具有：多个半导体激光元件(1011、1012)，其射出波长彼此不同的激光(2001、2002)；部分反射元件(104)，其与多个半导体激光元件(1011、1012)构成外部谐振器的两端；透射型波长色散元件(103)，其在多个半导体激光元件(1011、1012)及部分反射元件(104)之间的激光的光路上，配置于多个激光(2001、2002)重叠起来的位置，具有波长色散性，通过在包含多个激光(2001、2002)的光轴的第1面(XY面)内，使多个激光(2001、2002)的行进方向变化，从而使多个激光共有光轴、进行耦合；以及非对称折射光学元件(105)，其配置于透射型波长色散元件(103)及部分反射元件(104)之间的光路上，与包含于第1面(XY面)且与激光的光轴正交的方向即第1朝向(D1)上的位置变化相伴地，从内部通过的距离即元件内通过距离减少。
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公开(公告)号：CN110337763B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201780077849.0
申请日：2017-01-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/14
Abstract: 本发明提供一种激光装置(100－1)，其与产生波长彼此不同的激光束的多个激光介质(11)，使从多个激光介质(11)各自射出的激光束通过重叠透镜(2)在分散元件(3)上重叠为1个而进行耦合，在该激光装置(100－1)中，分散元件(3)配置在通过重叠透镜(2)将多个激光束重叠为1个的位置，并且使多个激光束的一部分作为第1激光束而向激光介质(11)侧返回，使多个激光束的一部分作为具有1个光轴的第2激光束而输出。
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公开(公告)号：CN110036543A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780074525.1
申请日：2017-02-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/082
Abstract: 激光振荡装置(100)具备外部共振器(10)，该外部共振器(10)由激光介质(11、12)和部分反射镜(14)构成，该激光介质(11、12)发出的激光束的波长不同，该部分反射镜(14)使激光束的一部分透过并且对剩余进行反射而返回至激光介质(11、12)侧，在外部共振器(10)的内部配置有：衍射光栅(13)，其将从激光介质(11、12)发出的波长不同的多个激光束重叠为1个，使其进行波长耦合而向部分反射镜(14)射出；以及棱镜(15)，其配置于激光介质(11、12)和衍射光栅(13)之间，将多个激光束在衍射光栅(13)之上重叠为1个，并且形成顶角的2个面的一个是入射面，另一个面是出射面。
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公开(公告)号：CN105940577A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580006615.8
申请日：2015-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/40 , H01S5/0683 , B23K26/06 , B23K26/70
CPC classification number: H01S5/4012 , B23K26/0613 , B23K26/705 , C03B23/20 , H01S3/08059 , H01S5/06825 , H01S5/0683 , H01S5/14 , H01S5/143 , H01S5/4025 , H01S5/4062 , H01S5/4087
Abstract: 提供一种光束耦合装置等，该光束耦合装置使来自多个光源以及1个或多个预备光源的光束射入至光束耦合光学系统，在经过光束耦合元件后进行耦合而输出，其中，对所述多个光源的故障进行检测，使所述各光源、预备光源以及所述光束耦合光学系统之中的至少一部分移动，取代发生了故障的所述光源的光束而从所述预备光源使光束射入至所述光束耦合光学系统，并在所述光束耦合元件后的光路与来自所述多个光源的光束耦合。
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公开(公告)号：CN102893409A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201080066804.1
申请日：2010-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/18 , H01L31/02363 , Y02E10/50
Abstract: 为了高速且高精度地形成逆金字塔状的纹理构造，利用抗蚀刻膜的激光构图和湿蚀刻而在使用了单晶硅的光电动势装置表面形成防反射纹理时，使用脉冲激光和激光波束分支部件，在成为所期望的金字塔状凹部的底面的正方形的对角线方向上加工多个激光孔，使各正方形之间的激光孔的间距大于所述对角线上的间距。
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