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公开(公告)号：CN113917783B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202111214914.4
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN117222941A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202280025354.4
申请日：2022-03-29
Applicant: 三井化学株式会社
Inventor： 小野阳介
IPC: G03F1/62
Abstract: 本发明提供能够抑制由防护膜组件的内外压力差引起的防护膜的破损的防护膜组件。防护膜组件(10A)具备具有开口部(H12A)的支撑框(12A)和防护膜(11A)。防护膜具有覆盖开口部的自支撑膜区域(RA)。自支撑膜区域包含曝光用区域(RA1)和围绕曝光用区域的周缘区域(RA2)。周缘区域具有膜厚大于曝光用区域的膜厚的厚膜部(TA)。防护膜组件满足下述(i)或(ii)。(i)支撑框为矩形状的框体，厚膜部至少位于上述周缘区域中的一对预定的长边区域。(ii)支撑框为正方形状的框体，厚膜部至少位于上述周缘区域中的一对预定的第一中央区域以及一对预定的第二中央区域。
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公开(公告)号：CN113917783A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111214914.4
申请日：2015-09-17
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。
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公开(公告)号：CN107003602B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201680003768.1
申请日：2016-01-22
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 防护膜组件存在如下的问题：在制造过程中由于各种各样的原因而被尘埃等污染，特别是在修整时、对防护膜组件膜进行各种加工时，尘埃等附着的风险高。对此，本发明提供一种使尘埃等的附着减少的EUV用防护膜组件的制造方法。一种防护膜组件的制造方法，其特征在于，在基板上形成防护膜组件膜，修整基板，以及在修整后至少去除基板的一部分。此外，在去除基板的一部分之前，至少去除附着于防护膜组件膜表面的粒子。
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公开(公告)号：CN112154376A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201980031898.X
申请日：2019-06-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/673
Abstract: 提供支撑框、在该支撑框上设置有极紫外光光刻用的防护膜的防护膜组件、和支撑框的制造方法、以及使用它们的曝光原版和曝光装置，该支撑框在通气孔上设置有能够容易装卸的过滤器，并能够设置极紫外光光刻用的防护膜。提供的防护膜组件用支撑框，具有第一支撑框部、第二支撑框部和过滤器，所述过滤器具有平板状的框形状，被所述第一支撑框部和所述第二支撑框部夹持，所述第一支撑框部具有：第一主体部，具有平板状的框形状；以及第一卡合部，从所述第一主体部向所述防护膜组件用支撑框的厚度方向突出，所述第二支撑框部具有：第二主体部，具有平板状的框形状；以及第二卡合部，配置在所述第二主体部的沿所述防护膜组件用支撑框的厚度方向设置的凹部，并与所述第一卡合部卡合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106796391B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201580046926.7
申请日：2015-09-18
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/64 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：配置有防护膜的第1框体；支持上述第1框体的第2框体；贯通上述第1框体的贯通孔；以及在上述第1框体的配置有上述防护膜的面侧覆盖上述贯通孔的过滤器。上述贯通孔可以贯通上述防护膜，上述过滤器可以配置在上述防护膜上。此外，上述过滤器可以与上述防护膜相邻地配置在上述第1框体上。
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公开(公告)号：CN103842399A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280048389.6
申请日：2012-10-05
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: C09K3/10 , C08G18/2081 , C08G18/3876 , C08G18/757 , C08G18/7621 , C08G18/7671 , C08G2190/00 , C09D175/04 , G02B1/04 , H01L51/5253 , C08G18/2063 , H05B33/02 , C08L75/04 , C08L81/00
Abstract: 本发明的聚合性组合物含有（A）异氰酸酯化合物、（B）选自4，8或4，7或5，7－二巯基甲基－1，11－二巯基－3，6，9－三硫杂十一烷、4－巯基甲基－1，8－二巯基－3，6－二硫杂辛烷、季戊四醇四巯基乙酸酯、季戊四醇四巯基丙酸酯、2，5－双（巯基甲基）－1，4－二噻烷、双（巯基乙基）硫醚、1，1，3，3－四（巯基甲基硫基）丙烷、4，6－双（巯基甲基硫基）－1，3－二噻烷、2－（2，2－双（巯基甲基硫基）乙基）－1，3－二硫杂环丁烷中的至少一种的硫醇化合物、和（C）有机强碱盐。
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公开(公告)号：CN102666676A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080050850.2
申请日：2010-11-11
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08J5/18 , C08G18/38 , G02B5/30 , G02F1/1335
CPC classification number: C08J5/18 , B29C41/003 , B29D11/00788 , B29K2075/00 , B29L2011/00 , C08G18/3876 , C08G18/7621 , C08G18/7642 , C08G18/7671 , C08J2375/04 , C09D175/04 , G02B1/111 , G02B1/18 , G02B5/021 , G02B5/045 , G02B5/0841 , G02B5/208 , G02B5/3033 , G02B5/3083 , Y10T428/31551
Abstract: 本发明的膜的特征在于，由具有硫代氨基甲酸酯键的树脂构成，该树脂中含有的硫与氮的摩尔比(S/N)为0.8以上、小于3。根据本发明的发明提供一种在高折射率、低双折射率及透光性的均衡性方面优异的膜，进而，该膜在韧性、刚性、尺寸稳定性等机械特性的均衡性方面优异，加工时的变形等的影响极小，另外在耐溶剂性方面也优异。
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公开(公告)号：CN118020023A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280061342.7
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明的防护膜组件具备防护膜组件框、支撑于上述防护膜组件框的一个端面的防护膜、以及设于上述防护膜组件框的另一个端面的粘着层，并且满足下述式(1)。式(1)：[A60℃]≥4.0gf/mm2。式(1)中，[A60℃]表示将防护膜组件制成试验用层叠体时的第一剥离强度。试验用层叠体是通过将防护膜组件以粘着层与石英玻璃基板的表面接触的方式载置在石英玻璃基板上、并且在预定的条件下将载荷保持在防护膜组件上而获得的。第一剥离强度表示在预定的条件下，使用标准型万能试验机将试验用层叠体所含的防护膜组件从上述石英玻璃基板剥离时所需要的每单位粘接面积的载荷。
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公开(公告)号：CN117916661A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202280060629.8
申请日：2022-09-12
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F1/62 , C09J7/38 , C09J133/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种更不易产生释气的防护膜组件。本公开的防护膜组件(10)具备：防护膜组件框架(14)；防护膜(12)，其被支撑于所述防护膜组件框架(14)的一个端面；以及粘着层(15)，其设置于所述防护膜组件框架(14)的另一个端面。所述粘着层(15)的由下述式(A)表示的膨润度为200％以下。式(A)：[(从所述粘着层采集的10mg试验片的浸渍后质量)/10mg]×100。所述式(A)中，所述浸渍后质量表示使所述试验片在毛细管柱GC浓度为99.0％以上的癸烷溶液10ml中浸渍6小时后的所述试验片的质量。
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