垂直型氮化镓肖特基二极管

    公开(公告)号:CN110582852A

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201880026850.5

    申请日:2018-03-27

    摘要: 一种垂直型肖特基二极管,包括:欧姆接触;第一外延N型氮化镓层,其物理接触所述欧姆接触并且具有第一掺杂浓度,以及第二外延N型氮化镓层,其物理接触所述第一外延N型氮化镓层并且具有比所述第一掺杂浓度低的第二掺杂浓度。该垂直型肖特基二极管还包括:第一边缘终端区域和第二边缘终端区域,其耦合至所述第二外延N型氮化镓层并且由所述第二外延N型氮化镓层的一部分将彼此分离;以及肖特基接触,其耦合至所述第二外延N型氮化镓层的一部分并且耦合至所述第一边缘终端区域和所述第二边缘终端区域。

    用于垂直型功率器件的方法和系统

    公开(公告)号:CN110291645A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201780086400.0

    申请日:2017-12-20

    摘要: 一种形成半导体器件的方法,该方法包括:提供工程化衬底。所述工程化衬底包括多晶陶瓷芯、封装所述多晶陶瓷芯的阻挡层、耦合至所述阻挡层的键合层,以及耦合至所述键合层的实质单晶硅层。所述方法还包括:形成耦合至所述工程化衬底的肖特基二极管。所述肖特基二极管具有顶表面和底表面,该底表面耦合至所述实质单晶硅层。所述方法还包括:形成耦合至所述肖特基二极管的所述顶表面的肖特基接触;形成耦合至所述肖特基接触的金属镀层;移除所述工程化衬底,以暴露所述肖特基二极管的底表面;以及在所述肖特基二极管的所述底表面上形成欧姆接触。