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公开(公告)号：CN209691733U
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201920560679.8
申请日：2019-04-23
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
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公开(公告)号：CN213878016U
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202022988280.5
申请日：2020-12-10
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： H01J37/20
摘要： 本实用新型公开了一种变径式扫描电镜用柱状样品台，属于扫描电镜技术领域，其特征在于，自下而上依次包括：样品台底座、金属叶片和活动柱状圆环，样品台底座包括圆柱形的底座本体，在底座本体的上表面中心位置开设有圆形槽，在底座本体的上表面开设有均匀分布的2N个直盲孔；在底座本体的下表面中心位置开设有连接紧固螺钉B用的螺纹孔；金属叶片为2N个，每个金属叶片的下表面固定有与直盲孔配合用的固定销钉每个金属叶片的上表面固定有活动销钉；所述活动柱状圆环上表面内侧开设有与活动销钉配合的滑行轨道，所述活动柱状圆环的外侧壁开设有水平螺纹孔，在水平螺纹孔内安装有紧固螺钉A，所述活动柱状圆环的内径大于样品台底座的外径。
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公开(公告)号：CN213878015U
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202022987863.6
申请日：2020-12-10
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： H01J37/20
摘要： 本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台，属于扫描电镜测试技术领域，包括圆柱形的样品台本体；在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道；每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道，每条滑道的一端位于样品台本体的侧面，每条滑道的长度小于样品台本体的半径；所述直线与样品台本体的一条直径重合；在每条滑道上安装有一根立柱，所述立柱包括与所述滑道配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；在所述立杆上套接有压片；在所述立杆上开设有与螺母配合的外螺纹，所述滑道的轴截面成凸字形。本实用新型不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。
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公开(公告)号：CN211403119U
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201920519600.7
申请日：2019-04-17
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。该固定夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。
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公开(公告)号：CN209980011U
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201920524111.0
申请日：2019-04-17
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。
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公开(公告)号：CN209957885U
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201920524375.6
申请日：2019-04-17
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
摘要： 本实用新型涉及半导体激光器技术领域，公开了一种用于光学腔面镀膜设备的载具，包括两个结构相同且对称连接的凹形夹具；凹形夹具是具有一定厚度的方形块体；块体的上端中心向下开设有一个长度为d的凹槽；bar条的长度为D，D＞d；两个凹形夹具之间设有空隙；空隙内插有两组与空隙等厚的垫片；两组垫片设在凹槽的左右两侧；两组垫片之间的距离W大于凹槽的长度d，且W＝D。本实用新型通过将bar条插入带有凹槽的凹形夹具之间，使bar条的正反面均能够得到蒸镀，提高了蒸镀效率；此外凹形夹具之间的空隙大小可变，通过更换不同厚度的垫片，就可对待蒸镀的bar条厚度和数量进行调节，适用范围广。
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公开(公告)号：CN217702961U
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202221392521.2
申请日：2022-05-26
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： B24B41/06 , B24B41/00 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 本实用新型公开了一种光学及半导体器件端面磨抛夹具，属于光学器件磨抛技术领域，包括固定待磨抛器件的夹片；其特征在于，还包括外壳，所述外壳上开设有放置待磨抛器件的放置孔，在所述外壳上安装有：调节夹片和固定待磨抛器件之间距离的螺丝；带动螺丝沿直线运动的动力杆；所述动力杆与夹片之间为垂直关系；带动第一动力杆同步运动的转动杆；其中：所述转动杆和动力杆之间通过联动机构连接；所述动力杆和转动杆之间为平行关系。本实用新型通过一个动力杆带动螺丝进退，进而实现对夹片的运动控制，保证了夹片受力的均匀性。
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公开(公告)号：CN210457675U
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201920565559.7
申请日：2019-04-23
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： C02F9/02 , C02F103/04
摘要： 本实用新型涉及一种纯水系统一级浓缩水回收再利用系统，包括原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器、纯水水箱和浓缩水水箱，所述原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器和纯水水箱依次通过管线串联连接，所述精密过滤器的废水出口通过管线连接浓缩水水箱入口，所述浓缩水水箱出口通过浓缩水管线连接自来水管线，浓缩水管线上安装有恒压变频泵，浓缩水水箱上设置有低液位传感器和高液位传感器，自来水管线上设置有电磁阀，低液位传感器和高液位传感器通过控制器分别电连接恒压变频泵和电磁阀。本实用新型实现了真正意义浓缩水零排放，节约了自来水用水量，又防止浓缩水断水或故障这样自来水就作为备用状态。
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公开(公告)号：CN210198999U
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201920976449.X
申请日：2019-06-25
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： G01N23/2251 , C23C16/44
摘要： 本实用新型涉及一种化学气相沉积和扫描电镜联用设备，包括扫描电镜样品室外壳、扫描电镜样品室、电子束镜筒、样品台、温度控制器、加热棒、热电偶、压差光阑和气体注入系统，温度控制器通过控制线与加热棒和热电偶连接，加热棒和热电偶均设置在样品台内；压差光阑位于电子束镜筒出口处；气体注入系统包括气体注入系统外壳和气体管道，气体注入系统外壳固定在扫描电镜样品室外壳上，气体管道固定在气体注入系统外壳内且两端均穿过气体注入系统外壳，气体管道上设有流量计和针阀，气体管道出口侧延伸至样品台上方。该设备可以实现对材料生长过程实时观测其形貌变化，从而精确控制材料生长和揭示材料生长机理，在物理学和材料学领域有很大应用前景。
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公开(公告)号：CN210197554U
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201920979869.3
申请日：2019-06-25
申请人： 天津华慧芯科技集团有限公司
IPC分类号： F24F5/00 , F24F7/06 , F24F13/28 , F24F11/89 , F24F11/84 , F24F110/10 , F24F110/40
摘要： 本实用新型涉及一种电子束操作间精密空调系统，包括新风管道、风机过滤机组、电加热系统、干盘管降温系统、中温水循环系统和控制柜；电加热系统安装在风机过滤机组的进风口处，操作间内安装有温度传感器和风压表；干盘管降温系统安装在操作间的回风夹道内，干盘管降温系统与中温水循环系统连通，中温水循环系统的供水管路上依次设置有温度传感器、储水罐、循环水泵和止回阀，电子束操作间的回风夹道内和顶棚内均安装有温度传感器；各个温度传感器、及风压表均通过导线与控制柜连接；控制柜控制中温水循环系统和电加热系统的工作状态。本实用新型能够实现满足使用空间内的温湿度精确控制，减小温度控制精度波动和能源浪费。
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