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公开(公告)号:CN1441255A
公开(公告)日:2003-09-10
申请号:CN03106406.X
申请日:2003-02-24
申请人: ENI技术公司
发明人: 大卫·J·考牟
IPC分类号: G01R21/133 , H05H1/30
CPC分类号: H01J37/32082 , G01R19/0061 , H01J37/32935
摘要: 本发明提出了一种射频(RF)探测头装置,用来测量一条采样传输线内的RF信号的电压和电流。这种探测头装置包括:一个导电外壳,一条在导电外壳内的母线,一对安装在导电外壳上的、配置成通过母线将RF信号传入和传出外壳的连接器,一个在外壳内的电压传感器板,以及一个在外壳内的电流传感器板。电压传感器板具有一个响应母线周围的电场、产生一个表示该电场的均方根(RMS)值的第一DC输出的第一模拟处理器。电流传感器板具有一个响应母线周围的磁场、产生一个表示该磁场的RMS值的第二DC输出的第二模拟处理器。
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公开(公告)号:CN1375061A
公开(公告)日:2002-10-16
申请号:CN00809238.9
申请日:2000-04-21
申请人: 布鲁斯·T·威廉姆斯
发明人: 布鲁斯·T·威廉姆斯
IPC分类号: G01R19/00
CPC分类号: G01R29/24 , G01R19/0061
摘要: 一种浮动平板离子监视系统和方法,其中离子收集器组件(50)包括呈一定空间关系的离子导电表面(52)和屏蔽表面(62),离子导电表面位于接收撞击离子的位置,并且电势施加在屏蔽表面(62)上,该表面复制并跟随离子导电表面(52)上的电压。因此建立起离子导电表面(52)与屏蔽表面(62)之间的电容并且独立于离子收集器组件(50)的物理结构。为此提供单位增益连接运算放大器(90)并将其正输入(92)与离子导电表面(52)连接而将其反相输入(94)与屏蔽表面(62)连接。连接放大器输出的指示器监视离子导电表面(52)上的电压。电压基准施加在电学建立的电容(98)上从而使电压标称值无需等于或大于离子导电表面上出现的电压限。所施加电压基准的大小可以改变电学建立电容(98)大小的方式变化。
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公开(公告)号:CN105651855B
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201610049673.5
申请日:2012-05-31
申请人: 株式会社岛津制作所
CPC分类号: G01N27/62 , G01N27/70 , G01N30/64 , G01R19/0061
摘要: 本发明涉及一种放电电离电流检测器。作为被覆用于引起低频阻挡放电的金属制的等离子体生成用电极(4、5、6)的表面的圆筒管(2),使用OH含量为5ppm以下的低OH含量的石英玻璃。在低频阻挡放电中,明确了如下情况:电介质所包含的源自OH的H、O在较长的期间内放出到等离子体气体中,这是基线电流增加的主要原因,通过使用低OH含量的石英玻璃,能够大幅降低基线电流,由此还能够改善S/N、检测界限。
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公开(公告)号:CN108318726A
公开(公告)日:2018-07-24
申请号:CN201810010985.4
申请日:2018-01-05
申请人: 北京航空航天大学
CPC分类号: G01R15/246 , G01R19/0061 , G01R19/08
摘要: 本发明公开了一种法拉第探针,涉及航天器械技术领域,以解决现有技术在测量过程中随着探针在空间中的移动,位置误差也会随之改变,而无法在评估不同位置的束电流密度时对存在的位置误差进行修正的技术问题。本发明所述的法拉第探针,包括:绝缘快门上底座和绝缘快门下底座,绝缘快门上底座和绝缘快门下底座之间且周向安装有多个绝缘片,每个绝缘片对应设有一个外齿行星齿轮,多个外齿行星齿轮啮合有一个内齿行星齿轮;绝缘快门下底座上安装有裸露式法拉第探针。
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公开(公告)号:CN108303578A
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201810008694.1
申请日:2018-01-04
申请人: 北京航空航天大学
CPC分类号: G01R15/246 , G01R19/0061 , G01R19/08
摘要: 本发明提供了一种电推力器空间羽流检测装置,属于电推进器等离子体测量领域,该电推力器空间羽流检测装置包括底座、法拉第探针、磁场线圈筒和保护壳;法拉第探针两侧分别设置有磁通量同向设置的磁场线圈筒,保护壳与底座相连接,保护壳具有用以通过入射离子的轴线垂直于磁场线圈筒磁通方向的入射孔;磁场线圈筒形成的磁场能够屏蔽经过入射孔的非轴向入射离子,以使法拉第探针能够能到精确空间束电流密度,从而提高法拉第探针测量精度。
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公开(公告)号:CN108020702A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201711039267.1
申请日:2017-10-27
申请人: 横河电机株式会社
发明人: 竹中一马
CPC分类号: G01R15/181 , G01R15/18 , G01R15/185 , G01R15/20 , G01R15/202 , G01R15/205 , G01R15/207 , G01R19/0061 , G01R19/0092 , G01R33/0005 , G01R33/0041 , G01R33/02 , G01R33/07
摘要: 一种电流测定装置,其具有:低频测量用传感器,其对由于被测定电流而产生的磁场进行测定;高频测量用传感器,其以使得所述低频测量用传感器和磁感方向大致平行的方式配置,对所述磁场进行测定,产生将施加于所述低频测量用传感器的所述磁场抵消的磁场;负反馈电路,其基于由所述低频测量用传感器测定出的所述磁场,对流过所述高频测量用传感器的电流进行控制;低通滤波器,其配置于所述负反馈电路内,对流过所述高频测量用传感器的、由所述负反馈电路控制的所述电流的频率特性进行调整;以及输出部,其基于流过所述高频测量用传感器的所述电流,输出所述被测定电流的测定值。
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公开(公告)号:CN106664788A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580045070.1
申请日:2015-08-18
申请人: 全面熔合有限公司
发明人: 瑞安·沃尔特·青德勒 , 乔纳森·达米安·弗雷泽
IPC分类号: H05H1/00
CPC分类号: H05H1/04 , G01R19/0061 , G01R33/028 , G21B1/057 , G21B1/21 , H05H1/0087 , Y02E30/128
摘要: 公开了用于生成和约束紧凑环的系统的示例。该系统包括:等离子体生成器,用于生成磁化等离子体;通量保持器,用于容纳紧凑环;电源,用于提供电流脉冲;以及控制器,用于主动控制脉冲的电流分布以将等离子体的q分布保持在预定范围内。公开了通过控制电流脉冲的电流分布来控制磁化等离子体的磁寿命的方法的示例。
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公开(公告)号:CN105651855A
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201610049673.5
申请日:2012-05-31
申请人: 株式会社岛津制作所
CPC分类号: G01N27/62 , G01N27/70 , G01N30/64 , G01R19/0061
摘要: 本发明涉及一种放电电离电流检测器。作为被覆用于引起低频阻挡放电的金属制的等离子体生成用电极(4、5、6)的表面的圆筒管(2),使用OH含量为5ppm以下的低OH含量的石英玻璃。在低频阻挡放电中,明确了如下情况:电介质所包含的源自OH的H、O在较长的期间内放出到等离子体气体中,这是基线电流增加的主要原因,通过使用低OH含量的石英玻璃,能够大幅降低基线电流,由此还能够改善S/N、检测界限。
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公开(公告)号:CN104245217A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380017026.0
申请日:2013-03-11
申请人: 亚琛工业大学公共权力公司 , AIXACCT系统股份有限公司
IPC分类号: B23K15/00 , G01T1/29 , H01J37/244 , H01J37/31
CPC分类号: G01R19/0061 , B23K15/0013 , B23K15/0026 , G21K1/04 , H01J37/244 , H01J37/3007 , H01J37/3053 , H01J37/31 , H01J37/315 , H01J2237/24514 , H01J2237/24542 , H01J2237/303
摘要: 本发明涉及一种计算带电粒子束的射束参数的方法,一种测量装置及带电粒子束装置。通过偏转单元(3)将带电粒子束装置(1)的带电粒子束(4)引导至装备在孔隙装置(7)上的具有一个或多个狭缝孔隙(8)的狭缝孔隙机构处。确定穿过狭缝孔隙机构的电子束部分的测量面坐标。根据测量面坐标,孔隙装置自动移动,使得设置在孔隙装置中的测量孔隙(9)移动到预先确定的测量参考点上。射束参数测量需要借助测量孔隙。在适合本方法的测量装置(5)中,狭缝孔隙机构包括至少两个互不平行的狭缝孔隙部分(12、13、15、16),这些狭缝孔隙部分可以属于单一连续的狭缝孔隙。
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公开(公告)号:CN102472774B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201080032648.7
申请日:2010-06-30
申请人: MKS仪器股份有限公司
发明人: W·R·弗莱切
CPC分类号: G01R19/0061 , G01R15/09 , G01R15/165 , G01R19/0023 , H03F3/45475 , H03F2200/261 , H03F2203/45138 , H03F2203/45518 , H03F2203/45522 , H03F2203/45528 , H03F2203/45534 , H03F2203/45536
摘要: 用于测量电流的方法以及装置包括如果第一电压在预定电平以下,则感测放大器的输出处的第一电压、以及基于第一电压和第一电阻元件的电阻计算电流,该第一电阻元件电耦合在放大器的反相输入和放大器的输出之间。该方法还包括如果从放大器输出的电压在预定电平以上,则感测缓冲器的输出处的第二电压、以及基于第一和第二电压以及第一电阻元件和第二电阻元件的电阻计算电流,该第二电阻元件电耦合在放大器的反相输入和缓冲器的输入之间,并且还通过至少一个二极管电耦合到放大器的输出。
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