双光束干涉仪
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1025757C

    公开(公告)日:1994-08-24

    申请号:CN91109595.0

    申请日:1991-09-28

    Inventor: 吉川治

    CPC classification number: G01J3/4532

    Abstract: 一种双光束干涉仪包括:两立方角镜相对且共用一或两镜面而形成一整体的两镜面组,并被驱动而在包括两相对棱边的平面或包括由两公共镜面所形成的棱边的平面上作往复转动,一分束片被设在两立方角镜的前面以反射部分入射光并导向两立方角镜的一个,同时,透射入射光的余下部分并导向两立方角镜的另一个,从而在从立方角镜反射出的光分量之间产生干涉。按照本发明,组装时可简化调整并能在有温度变化和振动干扰时稳定地工作。

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