公开(公告)号：CN100566153C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200610107707.8

申请日：2006-07-20

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 木原芳一 ,  小山内胜则 ,  广川行夫 ,  苏武正树

IPC: H03H9/25 ,  H03H9/145

CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/02921

Abstract: 一种SAW装置，包括单晶压电基板(由例如LiTaO3或LiNbO3制成)，和由主要包含Al的材料形成并位于压电基板上的交叉指状电极(IDT)。压电基板包含添加剂(例如，Fe、Mn、Cu、Ti)，并具有绕X轴从Y轴向Z轴旋转42°到48°(更理想的是，46°±0.3°)范围内的角度取向。IDT具有7%到11%的标准厚度h/λ(h：电极厚度，λ：IDT电极间距)。可表示出SAW装置的更合适的基板切割角度以改善其电学特性，该SAW装置使用含有添加剂的压电基板。

公开(公告)号：CN1667946A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN200510053543.0

申请日：2005-03-08

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 苏武正树 ,  小山内胜则

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/72 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02921 ,  H03H9/02984 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/0576 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/725

Abstract: 本发明提供可以抑制特性变坏的弹性表面波元件、弹性表面波装置、双工器以及弹性表面波元件的制造方法。本弹性表面波元件的特征在于，具有压电性基板和在压电性基板上形成的IDT电极，压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×1010Ω·cm，小于等于1.5×1014Ω·cm。这样的弹性表面波元件，具有体积阻抗率低的压电性基板，其体积阻抗率被降低到小于等于1.5×1014Ω·cm。所以，在这种弹性表面波元件上，由于可以抑制在IDT电极之间发生放电，所以可明显地抑制特性恶化的事态发生。另外，由于压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×1010Ω·cm，所以可避免IDT电极之间发生短路的事态发生。