含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790264A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780060031.8

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: C07D251/34 C08G8/36 C08G65/34 G03F7/032

    Abstract: 本发明目的在于,提供流动性优异、固化物的耐热性及耐干蚀刻性高的含酚羟基树脂、含有其的固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供如下的含酚羟基树脂,其为下述结构式(1)(式中X表示碳原子数1~14的烃基。R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者。m为0、1或2,n为0或1~4的整数。)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物,且多分散系数(Mw/Mn)为1.01~1.30的范围。

    酚醛清漆型酚醛树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、及涂膜

    公开(公告)号:CN107001550A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580064208.2

    申请日:2015-10-08

    Abstract: 提供耐热性优异、且对g射线、h射线及i射线的曝光波长的吸光度低、高灵敏度的感光性组合物、抗蚀材料、其涂膜、及适合于这些用途的酚醛清漆型酚醛树脂及其制造方法。具体而言,提供一种酚醛清漆型酚醛树脂,其特征在于,其是使酚系三核体化合物(A)与甲醛在酸催化剂下进行反应而得到的,所述酚系三核体化合物(A)包含通过二烷基取代苯酚与含羟基芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A1)、以及通过在2,3位、2,5位、3,4位、或3,5位的位置具有烷基的二烷基取代苯酚与不具有羟基的芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A2),并且前述酚系三核体化合物(A1)与前述酚系三核体化合物(A2)的摩尔比为20:80~90:10。

    正型光致抗蚀剂组合物
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103270451A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201180054438.2

    申请日:2011-10-25

    CPC classification number: G03F7/004 C08G8/04 C08G8/20 C08L61/12 G03F7/0236

    Abstract: 本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物,其特征在于,其含有将下述通式(1)或(2)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性,能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。(式中,R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基。另外,m、n和p分别独立地为0~4的整数,q为1~(5-p)的整数,s为1~(9-p)的整数。)

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