公开(公告)号：CN111025446B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201911262179.7

申请日：2019-12-10

Applicant: 西安应用光学研究所

Inventor： 刘永强 ,  金柯 ,  王慧娜 ,  杨崇民 ,  韩俊 ,  杨海成 ,  王颖辉 ,  董莹 ,  刘青龙 ,  刘新武

IPC: G02B5/18 ,  H05K9/00

Abstract: 本发明提出一种红外二元光学器件及电磁屏蔽网栅制备方法，利用透明导电氧化物材料在不同加热温度下电阻率不同的现象，采用高能粒子束直写技术按照设计图案加热薄膜特定位置制备非刻蚀二元红外衍射光学元件及电磁屏蔽网栅。该方法具有工艺简单，不需要刻蚀，成本低，光散射小及易制备器件结构深宽比要求大的器件的优点。

公开(公告)号：CN109828324B

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN201910037528.9

申请日：2019-01-15

Applicant: 西安应用光学研究所

Inventor： 王松林 ,  陶忠 ,  杨崇民 ,  朱筱群 ,  米高园 ,  张建付 ,  李明伟 ,  刘青龙 ,  师建涛 ,  刘永强

IPC: G02B1/116 ,  G02B1/14 ,  G02B1/16

Abstract: 本发明提出一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构，由透明基片和五种薄膜材料制备的十二层薄膜叠加构成；从透明基片开始，由内向外第1层为透明导电膜层；第2层为金属电极薄膜，镀制在透明导电膜层的边缘以及透明基底的侧面；第3层至第11层中的奇数层为三氧化二钛膜层、偶数层为二氧化硅膜层，第12层为氮氧化铝膜层。本发明具有对1064nm激光高透过、对频率为2GHz～18GHz的雷达波高效屏蔽功能，且具有很强的环境适应性，能够经受吹尘、淋雨、附着力、湿热、摩擦、盐雾等环境试验，可用于雷达隐身光电系统中的1064nm激光窗口，使具有雷达波高效屏蔽功能的激光窗口能够在0°～80°的宽角度范围内正常使用，在恶劣的环境中能够正常工作并保护系统内部器件。